TH63603B - ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศ - Google Patents

Abstract

DC60 (10/01/61) การประดิษฐ์นี้ได้ให้ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศชุดหนึ่งที่เคลือบสารเคลือบลงบน ซับสเทรทหนึ่ง,ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศนั้นประกอบด้วยห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศภายใน ห้องสูญญากาศ;กลุ่มของหน่วยจับหมุนที่จับซับสเทรทเป็นวัสดุเคลือบไว้ในสถานะหมุน;และ กลไกการหมุนที่วนรอบกลุ่มของหน่วยจับหมุนรอบแกนหมุนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน; โดยที่กลุ่มของหน่วยจับหมุนถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่ม ในลักษณะที่พลังงานจะถูกจ่ายให้กับหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของ กลุ่มที่สัมพันธ์กันมีศักย์ไฟฟ้าต่างกัน ตัวอย่างเช่น กลุ่มที่สัมพันธ์กันจะสลับกันมีสถานะซึ่ง หน่วยจับหมุนเป็นคาโทด และทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดทำงานที่มีบทบาทพื้นฐานในการผลิต พลาสมาประจุเรืองแสง (พลาสมาประจุเรืองแสง) และสถานะซึ่งหน่วยจับหมุนทำหน้าที่เป็น อิเล็กโทรดตรงข้าม การประดิษฐ์นี้ได้ให้ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศชุดหนึ่งที่เคลือบสารเคลือบลงบน ซับสเทรทหนึ่ง,ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศนั้นประกอบด้วย:ห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศภายใน ห้องสูญญากาศ;กลุ่มของหน่วยจับหมุนที่จับซับสเทรทเป็นวัสดุเคลือบไว้ในสถานะหมุน;และ กลไกการหมุนที่วนรอบกลุ่มของหน่วยจับหมุนรอบแกนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน;โดยที่กลุ่มของหน่วยจับหมุนถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่ม ในลักษณะที่พลังงานจะถูกจ่ายให้กับหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของ กลุ่มที่สัมพันธ์กันมีศักย์ไฟฟ้าต่างกัน ตัวอย่างเช่น กลุ่มที่สัมพันธ์กันจะสลับกันมีสถานะซึ่ง หน่วยจับหมุนเป็นคาโทด และทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดทำงานที่มีบทบาทพื้นฐานในการผลิต พลาสมาประจุเรืองแสง(พลาสมาประจุเรืองแสง)และสถานะซึ่งหน่วยจับหมุนทำหน้าที่เป็น อิเล็กโทรดตรงข้าม:

Claims (1)

1. ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไขใหม่ 17/7/2560 1.ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศที่ประกอบด้วย: ห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญญากาศ ภายในห้องสูญญากาศ; หน่วยจับหมุนจำนวนมากซึ่งแต่ละหน่วยจับซับสเทรทเป็นวัสดุเคลือบ ในขณะที่หมุน; และ กลไกการหมุนที่วนรอบหน่วยจับหมุนจำนวนมากรอบแกนหมุนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน, โดยที่ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศจะทับถมสาร เคลือบบนซับสเตรทที่ถูกจับโดบหน่วยจับหมุนด้านในห้องสูญญากาศ โดยมีลักษณะเฉพาะคือ โดยที่หน่วยจับหมุนจำนวนมากถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่มเพื่อที่พลังงานจะถูกจ่ายไป ยังหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของกลุ่มต่างๆ ที่สัมพันธ์กันจะมีศักย์ไฟฟ้า ไม่เท่ากัน ----------------------------------------------------------------------------------------------- (เดิม)

1.ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศชุดหนึ่งที่เคลือบสารเคลือบลงบน ซับสเทรท,ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศที่ประกอบด้วย: ห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศ ภายในห้องสูญญากาศ; กลุ่มของหน่วยจับหมุนที่มีกลุ่มของแกนหมุนที่ถูกจัดให้ขนานกัน และจับซับสเทรท เป็นวัสดุเคลือบ ในขณะที่หมุนรอบแกนหมุนที่สัมพันธ์กัน;และ กลไกการหมุนที่วนรอบกลุ่มของหน่วยจับหมุนรอบแกนหมุนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน, โดยที่กลุ่มของหน่วยจับหมุนถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่มเพื่อที่พลังงานจะถูกจ่าย ไปยังหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของกลุ่มต่างๆ ที่สัมพันธ์กันจะมี ศักย์ไฟฟ้าไม่เท่ากัน