TH146808A - ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศ - Google Patents
ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศInfo
- Publication number
- TH146808A TH146808A TH1401000059A TH1401000059A TH146808A TH 146808 A TH146808 A TH 146808A TH 1401000059 A TH1401000059 A TH 1401000059A TH 1401000059 A TH1401000059 A TH 1401000059A TH 146808 A TH146808 A TH 146808A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- vacuum
- coating
- rotating
- groups
- spindle
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract 7
- 238000009987 spinning Methods 0.000 claims abstract 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract 8
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims abstract 8
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 claims abstract 5
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 2
Abstract
DC60 (10/01/61) การประดิษฐ์นี้ได้ให้ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศชุดหนึ่งที่เคลือบสารเคลือบลงบน ซับสเทรทหนึ่ง,ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศนั้นประกอบด้วยห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศภายใน ห้องสูญญากาศ;กลุ่มของหน่วยจับหมุนที่จับซับสเทรทเป็นวัสดุเคลือบไว้ในสถานะหมุน;และ กลไกการหมุนที่วนรอบกลุ่มของหน่วยจับหมุนรอบแกนหมุนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน; โดยที่กลุ่มของหน่วยจับหมุนถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่ม ในลักษณะที่พลังงานจะถูกจ่ายให้กับหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของ กลุ่มที่สัมพันธ์กันมีศักย์ไฟฟ้าต่างกัน ตัวอย่างเช่น กลุ่มที่สัมพันธ์กันจะสลับกันมีสถานะซึ่ง หน่วยจับหมุนเป็นคาโทด และทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดทำงานที่มีบทบาทพื้นฐานในการผลิต พลาสมาประจุเรืองแสง (พลาสมาประจุเรืองแสง) และสถานะซึ่งหน่วยจับหมุนทำหน้าที่เป็น อิเล็กโทรดตรงข้าม การประดิษฐ์นี้ได้ให้ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศชุดหนึ่งที่เคลือบสารเคลือบลงบน ซับสเทรทหนึ่ง,ชุดอุปกรณ์เคลือบในสูญญากาศนั้นประกอบด้วย:ห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศภายใน ห้องสูญญากาศ;กลุ่มของหน่วยจับหมุนที่จับซับสเทรทเป็นวัสดุเคลือบไว้ในสถานะหมุน;และ กลไกการหมุนที่วนรอบกลุ่มของหน่วยจับหมุนรอบแกนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน;โดยที่กลุ่มของหน่วยจับหมุนถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่ม ในลักษณะที่พลังงานจะถูกจ่ายให้กับหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของ กลุ่มที่สัมพันธ์กันมีศักย์ไฟฟ้าต่างกัน ตัวอย่างเช่น กลุ่มที่สัมพันธ์กันจะสลับกันมีสถานะซึ่ง หน่วยจับหมุนเป็นคาโทด และทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดทำงานที่มีบทบาทพื้นฐานในการผลิต พลาสมาประจุเรืองแสง(พลาสมาประจุเรืองแสง)และสถานะซึ่งหน่วยจับหมุนทำหน้าที่เป็น อิเล็กโทรดตรงข้าม:
Claims (1)
- ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :แก้ไขใหม่ 17/7/2560 1.ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศที่ประกอบด้วย: ห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญญากาศ ภายในห้องสูญญากาศ; หน่วยจับหมุนจำนวนมากซึ่งแต่ละหน่วยจับซับสเทรทเป็นวัสดุเคลือบ ในขณะที่หมุน; และ กลไกการหมุนที่วนรอบหน่วยจับหมุนจำนวนมากรอบแกนหมุนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน, โดยที่ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศจะทับถมสาร เคลือบบนซับสเตรทที่ถูกจับโดบหน่วยจับหมุนด้านในห้องสูญญากาศ โดยมีลักษณะเฉพาะคือ โดยที่หน่วยจับหมุนจำนวนมากถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่มเพื่อที่พลังงานจะถูกจ่ายไป ยังหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของกลุ่มต่างๆ ที่สัมพันธ์กันจะมีศักย์ไฟฟ้า ไม่เท่ากัน ----------------------------------------------------------------------------------------------- (เดิม) 1.ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศชุดหนึ่งที่เคลือบสารเคลือบลงบน ซับสเทรท,ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศที่ประกอบด้วย: ห้องสูญญากาศหนึ่งห้อง; หน่วยไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศที่ดำเนินปฏิบัติการไล่อากาศออกจนเป็นสูญากาศ ภายในห้องสูญญากาศ; กลุ่มของหน่วยจับหมุนที่มีกลุ่มของแกนหมุนที่ถูกจัดให้ขนานกัน และจับซับสเทรท เป็นวัสดุเคลือบ ในขณะที่หมุนรอบแกนหมุนที่สัมพันธ์กัน;และ กลไกการหมุนที่วนรอบกลุ่มของหน่วยจับหมุนรอบแกนหมุนที่ขนานกับแกนหมุนของ หน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กัน, โดยที่กลุ่มของหน่วยจับหมุนถูกแบ่งออกเป็นกลุ่มหลายๆ กลุ่มเพื่อที่พลังงานจะถูกจ่าย ไปยังหน่วยจับหมุนที่สัมพันธ์กันในลักษณะที่หน่วยจับหมุนของกลุ่มต่างๆ ที่สัมพันธ์กันจะมี ศักย์ไฟฟ้าไม่เท่ากัน
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH146808A true TH146808A (th) | 2016-03-04 |
| TH63603B TH63603B (th) | 2018-07-11 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2013513239A5 (th) | ||
| CN103649370B (zh) | 真空成膜装置 | |
| EP2940183A1 (en) | In-line plasma cvd device | |
| MX376834B (es) | Aparato de procesamiento de pvd y metodo de procesamiento de pvd. | |
| BR112013001158A2 (pt) | processo de obtenção de um material compreendendo um substrato munido de um revestimento | |
| EP2738288A1 (en) | Plasma cvd device | |
| CN104372544A (zh) | 滚筒蒸纱架型蒸纱机 | |
| WO2013022306A3 (ko) | 플라즈마 발생장치, 플라즈마 발생장치용 회전 전극의 제조방법, 기판의 플라즈마 처리방법, 및 플라즈마를 이용한 혼합 구조의 박막 형성방법 | |
| WO2011056581A3 (en) | Rotary magnetron magnet bar and apparatus containing the same for high target utilization | |
| JP2015511667A5 (th) | ||
| CN111868050A (zh) | 用于制备有机电子器件的组合物、有机电子器件及应用 | |
| RU2013105476A (ru) | Антибактериальное медицинское изделие и способ его изготовления | |
| TH146808A (th) | ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศ | |
| CN103276354A (zh) | 一种在塑料工件上真空蒸镀铝膜的方法 | |
| CN203999799U (zh) | 台车用齿轮滚刀pvd涂层托架 | |
| JP2013044047A (ja) | 真空成膜装置 | |
| CN102086508B (zh) | 镀膜装置 | |
| WO2014103318A1 (ja) | プラズマｃｖｄ法による保護膜の形成方法 | |
| TH63603B (th) | ชุดอุปกรณ์สำหรับการเคลือบภายใต้สูญญากาศ | |
| CN201890924U (zh) | 一种等离子真空陶瓷镀膜装置 | |
| JP5634954B2 (ja) | プラズマｃｖｄ装置 | |
| WO2013034411A3 (en) | Vacuum coating apparatus | |
| JP2017525853A (ja) | 材料を基板上に堆積するためのアセンブリ及び方法 | |
| KR101562275B1 (ko) | 증착장치 | |
| WO2017072694A3 (en) | A process for coating polymeric substrates and paper |