TH56873B - ตัวกรองสารเคมี - Google Patents

ตัวกรองสารเคมี

Info

Publication number
TH56873B
TH56873B TH101004035A TH0101004035A TH56873B TH 56873 B TH56873 B TH 56873B TH 101004035 A TH101004035 A TH 101004035A TH 0101004035 A TH0101004035 A TH 0101004035A TH 56873 B TH56873 B TH 56873B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
unit
housing
chemical filters
gas
concentration
Prior art date
Application number
TH101004035A
Other languages
English (en)
Inventor
นายมูเนฮิโร ยามาโมโตะ นายมาซายูกิ ซูมิโอกะ นายได อารามากิ นายโนบูยูกิ ฮิกาชิโนะ
Original Assignee
นิตตะ คอร์ปอเรชั่น
Filing date
Publication date
Application filed by นิตตะ คอร์ปอเรชั่น filed Critical นิตตะ คอร์ปอเรชั่น
Publication of TH56873B publication Critical patent/TH56873B/th

Links

Abstract

ตัวกรองสารเคมีจะรวมถึงตัวเรือนของหน่วยและสารดูดซับที่อยู่ในตัวเรือนของหน่วยนี้ สารดูดซับนี้สำหรับดูดซับแก๊ส ตัวกรองสารเคมีนี้จะทำให้แก๊สที่ผ่านการทำให้บริสุทธิ์แล้วนี้มีความ เข้มข้นของแอมโมเนียมและความเข้มข้นของแก๊สอินทรีย์ซึ่งมีจุดเดือดประมาณ 150 องศาเซลเซียส หรือสูงกว่านั้นประมาณ 1 ส่วนต่อพันล้านส่วน (โดยปริมาตร) หรือน้อยกว่านั้นตามลำดับ แก๊สที่ ผ่านการทำให้บริสุทธิ์แล้วนี้จะใช้ได้สำหรับระบบการผลิตสารกึ่งตัวนำโดยไม่ทำให้เกิดอุปสรรคที่ เกี่ยวกับมลทินหรือสิ่งอื่นๆ ในทำนองเดียวกัน

Claims (2)

1. ตัวกรองสารเคมีซึ่งประกอบรวมด้วย ตัวเรือนของหน่วย สารดูดซับที่อยู่ในตัวเรือนของ หน่วยดังกล่าวและสารดูดซับดังกล่าวดูดซับแก๊ส ด้วยเหตุนี้ทำให้ตัวกรองสารเคมีดังกล่าวจ่ายแก๊ส ซึ่งมีความเข้มข้นของแอมโมเนียประมาณ 1 ส่วนต่อพันล้านส่วน (โดยปริมาตร) หรือน้อยกว่านั้น และความเข้มข้นของแก๊สอินทรีย์ซึ่งมีจุดเดือดประมาณ 150 องศาเซลเซียสหรือสูงกว่านั้นประมาณ 1 ส่วนต่อพันล้านส่วน (โดยปริมาตร) หรือน้อยกว่านั้น
2. ตัวกรองสารเคมีตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งตัวเรือนของหน่วยดังกล่าวได้รับก
TH101004035A 2001-10-02 ตัวกรองสารเคมี TH56873B (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH56873B true TH56873B (th) 2003-06-20

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Oschatz et al. A search for selectivity to enable CO 2 capture with porous adsorbents
Pu et al. 2-Mercaptobenzothiazole-bonded silica gel as selective adsorbent for preconcentration of gold, platinum and palladium prior to their simultaneous inductively coupled plasma optical emission spectrometric determination
DE3581756D1 (de) Ammoniakentfernung aus abwasser.
ATE381378T1 (de) Vorrichtung zur regeneration von adsorptionsmitteln
ATE311248T1 (de) Adsorptionsmittel und adsorptives trennungsverfahren
WO2005081722A3 (en) Sorption method, device, and system
ATE284753T1 (de) Selektiver zeolith-x für argon/sauerstoff
KR960040426A (ko) 휘발성유기물의 회수방법
KR102034860B1 (ko) 아민을 포함하는 기체의 고순도화 공정
KR20060052051A (ko) 배기가스의 처리 방법 및 처리 장치
WO1999022845A3 (de) Verfahren und vorrichtung zur rückgewinnung von gasen
FI982849A (fi) Menetelmä ammoniakkikaasun erottamiseksi ja talteenottamiseksi
JP2008188493A (ja) 水処理装置
TH56873B (th) ตัวกรองสารเคมี
BR112013012620A8 (pt) dispositivo de filtro e processo para purificação de um fluxo de gás
JP2009291676A (ja) 溶剤精製装置
JP4035109B2 (ja) 神経毒ガスの選択的濾過および濃縮
KR102176439B1 (ko) 이산화탄소 포집 공정용 아민 흡착제
CA2265083A1 (en) Method and apparatus for processing polluted gas containing harmful substances
RU1787505C (ru) Способ улавливани аммиака
JPS52113360A (en) Fluctuation equalization of fluid concentration
RU2159146C2 (ru) Способ очистки газов от гексафторида селена
SU1747130A1 (ru) Способ очистки газов от ртути
SU762940A1 (ru) Способ очистки газовых сред 1
JP2776545B2 (ja) 炭素繊維製吸着剤およびその製造方法