TH53675A - วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดยการวัดด้วยสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน - Google Patents

วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดยการวัดด้วยสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน

Info

Publication number
TH53675A
TH53675A TH201000020A TH0201000020A TH53675A TH 53675 A TH53675 A TH 53675A TH 201000020 A TH201000020 A TH 201000020A TH 0201000020 A TH0201000020 A TH 0201000020A TH 53675 A TH53675 A TH 53675A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
helium
argon
mixture
gas
method under
Prior art date
Application number
TH201000020A
Other languages
English (en)
Inventor
ซุสชี นายมาร์โก
สไตแม็ก นายโรเบิร์ต
พุสแตร์ล่า นายลูกา
โบนุสชี นายอันโตนีโอ
Original Assignee
แซส เก็ตเตอร์ส เอสพีเอ
นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายบุญมา เตชะวณิช
Filing date
Publication date
Application filed by แซส เก็ตเตอร์ส เอสพีเอ, นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายบุญมา เตชะวณิช filed Critical แซส เก็ตเตอร์ส เอสพีเอ
Publication of TH53675A publication Critical patent/TH53675A/th

Links

Abstract

DC60 (20/02/45) จะบรรยายถึงวิธีการสำหรับวิเคราะห์เชิงปริมาณความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดย วิถีทางของสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้ สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการใช้อาร์กอนที่ผ่าน การทำให้บริสุทธิ์แล้วร่วมกับฮีเลียมซึ่งจะต้องได้รับการ วิเคราะห์สำหรับการก่อเกิดสิ่งตัวอย่าง หรือ อาร์กอนบ ริสุทธิ์ในฐานะแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของเครื่องวัด หรือ ประการสุดท้าย ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนที่ผ่านการทำ ให้บริสุทธิ์ แล้วทั้งสำหรับแก๊สตัวอย่างและสำหรับแก๊สไหลทวน จะบรรยายถึงวิธีการสำหรับวิเคราะห์เชิงปริมาณความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดย วิถีทาางของสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้ สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการใช้อาร์กอนที่ผ่าน การทำให้บริสุทธิ์แล้วร่วมกับฮีเลียมซึ่งจะต้องได้รับการ วิเคราะห์สำหรับการก่อเกิดสิ่งตัวอย่าง หรือ อาร์กอนบ ริสุทธิ์ในฐานะแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของเครื่องวัด หรือ ประการสุดท้าย ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนที่ผ่านการทำ ให้บริสุทธิ์ แล้วทั้งสำหรับแก๊สตัวอย่างและสำหรับแก๊สไหลทวน

Claims (9)

1. วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลืยมโดยวิธีทางสเปกโทรมิเตอร์ แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการดำเนินการวิเคราะห์หนึ่งในภาวะต่อไปนี้ - การใช้แก๊สผสมระหว่างฮีเลียม- อาร์กอนที่ก่อเกิดขึ้นมา จากฮีเลียมที่มีปริมาณบรรจุของ สารเจือปนที่จะได้รับการ กำหนดหาและอาร์กอนบริสุทธิ์ เป็นแก๊สตัวอย่าง แก๊สผสมดัง กล่าวมี อาร์กอนจาก 0.1 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ และฮีเลียม บริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของ สเปกโตสโกปีแบบใช้ การเคลื่อนย้ายไอออน หรือ - การใช้ฮีเลียมที่มีปริมาณบรรจุของสารเจือปนที่จะได้รับ การกำหนดหาหรือแก๊สผสมของ ฮีเลียมเช่นนี้กับอาร์กอนบ ริสุทธิ์ เป็นแก๊สตัวอย่าง แก๊สผสมดังกล่าวมีอาร์กอนจาก 0.1 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ และอาร์กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวน ในเขตการแยกสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพ เคลื่อนย้ายไอออน - การใช้แก๊สผสมระหว่างฮีเลียมซึ่งมีปริมาณบรรจุของสารเจือ ปนที่ได้รับการกำหนดหา และอาร์กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สตัวอย่าง และแก๊สผสมระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนซึ่งไม่มีสารเจือปนเป็น แก๊สไหลทวน โดยที่แก๊สผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอน ที่ประกอบรวมอยู่ระหว่าง 10 และ 80 เปอร์เซ็นต์
2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่ง เมื่อฮีเลียมหรือ แก๊สผสมของฮีเลียมได้รับการนำมาใช้เป็น แก๊สตัวอย่างและอาร์ กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวน อัตราส่วนระหว่างอัตราการไหล ของแก๊สไหล ทวนและอัตราการไหลของแก๊สตัวอย่างจะเท่ากับหรือ มากกว่า 10
3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่ง อัตราส่วนดังกล่าว จะประกอบรวมอยู่ระหว่าง 15 และ 20
4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งเมื่อใช้ทั้งแก๊สผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนเป็นแก๊สตัวอย่าง และแก๊สไหลทวน ของ ผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอนประกอบรวมอยู่ระหว่าง 30 และ 40 เปอร์เซ็นต์
5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งเมื่อใช้ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนสองชนิดเป็น แก๊สตัวอย่างและแก๊สไหล ทวน ของผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอนเหมือนกัน
6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งจะทำให้ได้มาซึ่งของ ผสมดังกล่าวโดยการใช้ระบบ (10) ที่ซึ่งการไหลของฮีเลียม ซึ่งมีสารเจือปนซึ่งมาจากท่อ (11) และการไหลของอาร์กอนบ ริสุทธิ์ซึ่งมาจาก ท่อ (12) จะได้รับการผสมในท่อ (13) โดย การตรวจสอบอัตราส่วนการผสมโดยวิถีทางชิ้นส่วน ควบคุมอัตราการ ไหล (C) โดยการแบ่งของผสมที่ทำให้ได้มานี้เป็นสองส่วนที่ ลำเลียงเข้าไปในท่อ ทุตยภูมิ (13' ; 13 " ) สองท่ออย่างเป็น ลำดับ โดยการลำ เลียงส่วนหนึ่งของแก๊สในท่อทุตยภูมิดังกล่าว ท่อที่หนึ่ง (13') ไปโดยไม่มีการปฏิบัติอื่นต่อไปอีกไปยังเขตปฏิกิริยา (14) ของเครื่องวัดไอเอ็มเอส (15) และการลำเลียงส่วนของท่อ ในท่อทุตยภูมิดังกล่าวท่อที่สอง (13") ไปยังระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ซึ่งจะขจัดสารเจือปนทั้งหมดที่ปรากฏอยู่ใน ส่วนนี้ของของผสม และเป็นแก๊สไหลทวน ในลำดับต่อไปยังเขตการ แยก (17) ของเครื่องวัดไอเอ็มเอส (15)
7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมด้วย สารทำให้บริสุทธิ์ ซึ่งมีเกทเทอร์อัลลอยที่มีเซอร์โคเนียมหรือไททาเนียมเป็น พื้นฐาน
8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมด้วย สารทำให้บริสุทธิ์ ซึ่งมีเกทเทอร์อัลลอยที่มีนิกเกิลเป็นพื้นฐาน
9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมต่อไป อีกด้วยเบดสารเร่ง ปฏิกิริยาของแพลเลเดียมออกไซด์
TH201000020A 2002-01-04 วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดยการวัดด้วยสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน TH53675A (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH53675A true TH53675A (th) 2002-11-05

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0619311B2 (ja) 多成分同時測定用ガス分析装置
CN102183610B (zh) 7n电子级超纯氨的分析方法
JPH02273525A (ja) 低濃度ガス混合物の製造方法およびそのための装置
EP0469437B1 (en) Method of and apparatus for preparing calibration gas
JP4400973B2 (ja) ガス中の微量不純物の分析方法及び装置
Assonov et al. A new method to determine the 17O isotopic abundance in CO2 using oxygen isotope exchange with a solid oxide
Zhang et al. Rubidium purification via a single chemical column and its isotope measurement on geological standard materials by MC-ICP-MS
Demarcke et al. Laboratory studies in support of the detection of sesquiterpenes by proton-transfer-reaction-mass-spectrometry
JP3260828B2 (ja) 微量不純物の分析方法
Edtbauer et al. Theory and practical examples of the quantification of CH4, CO, O2, and CO2 with an advanced proton-transfer-reaction/selective-reagent-ionization instrument (PTR/SRI-MS)
US20100310419A1 (en) Method for supplying gas mixtures for an analyzer
KR20010067371A (ko) 가스중의 불순물의 분석방법 및 장치
JP2006023137A (ja) 微量水素分子及び水素同位体分子分離分析装置
WO2021205953A1 (ja) 流れ分析装置及び流れ分析方法
RU2003122334A (ru) Способ измерения концентрации примесей в азоте, водороде и кислороде методом спектрометрии подвижности ионов
US20040111222A1 (en) Method for measuring the concentration of water in Argon, Hydrogen, Nitrogen and Helium by ionization mobility spectrometry
KR100809131B1 (ko) 이온 이동 분광분석에 의해 질소 내의 메탄 및 수소의농도를 측정하는 방법
US20020104368A1 (en) Process and device for the detection of hydrocarbons in a gas
JP2006275844A (ja) 大気ガスの測定方法及び装置
JP2002228636A (ja) ガス中の微量不純物の分析方法
JP2002122570A (ja) ガス中の微量不純物の分析方法及び装置
JP2000074882A (ja) ガス中の微量不純物の分析方法及び装置
Kawano et al. Infinitesimal concentration hydrogen Analyzer using trace reduction detector (TRD)
Kishi et al. Analysis of semiconductor-grade HCl with the ELAN DRC ICP-MS: elimination of chloride-based interferences
EP4517332A1 (en) Flow analysis device and flow analysis method