TH53675A - วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดยการวัดด้วยสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน - Google Patents
วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดยการวัดด้วยสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออนInfo
- Publication number
- TH53675A TH53675A TH201000020A TH0201000020A TH53675A TH 53675 A TH53675 A TH 53675A TH 201000020 A TH201000020 A TH 201000020A TH 0201000020 A TH0201000020 A TH 0201000020A TH 53675 A TH53675 A TH 53675A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- helium
- argon
- mixture
- gas
- method under
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (20/02/45) จะบรรยายถึงวิธีการสำหรับวิเคราะห์เชิงปริมาณความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดย วิถีทางของสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้ สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการใช้อาร์กอนที่ผ่าน การทำให้บริสุทธิ์แล้วร่วมกับฮีเลียมซึ่งจะต้องได้รับการ วิเคราะห์สำหรับการก่อเกิดสิ่งตัวอย่าง หรือ อาร์กอนบ ริสุทธิ์ในฐานะแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของเครื่องวัด หรือ ประการสุดท้าย ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนที่ผ่านการทำ ให้บริสุทธิ์ แล้วทั้งสำหรับแก๊สตัวอย่างและสำหรับแก๊สไหลทวน จะบรรยายถึงวิธีการสำหรับวิเคราะห์เชิงปริมาณความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดย วิถีทาางของสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้ สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการใช้อาร์กอนที่ผ่าน การทำให้บริสุทธิ์แล้วร่วมกับฮีเลียมซึ่งจะต้องได้รับการ วิเคราะห์สำหรับการก่อเกิดสิ่งตัวอย่าง หรือ อาร์กอนบ ริสุทธิ์ในฐานะแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของเครื่องวัด หรือ ประการสุดท้าย ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนที่ผ่านการทำ ให้บริสุทธิ์ แล้วทั้งสำหรับแก๊สตัวอย่างและสำหรับแก๊สไหลทวน
Claims (9)
1. วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลืยมโดยวิธีทางสเปกโทรมิเตอร์ แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการดำเนินการวิเคราะห์หนึ่งในภาวะต่อไปนี้ - การใช้แก๊สผสมระหว่างฮีเลียม- อาร์กอนที่ก่อเกิดขึ้นมา จากฮีเลียมที่มีปริมาณบรรจุของ สารเจือปนที่จะได้รับการ กำหนดหาและอาร์กอนบริสุทธิ์ เป็นแก๊สตัวอย่าง แก๊สผสมดัง กล่าวมี อาร์กอนจาก 0.1 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ และฮีเลียม บริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของ สเปกโตสโกปีแบบใช้ การเคลื่อนย้ายไอออน หรือ - การใช้ฮีเลียมที่มีปริมาณบรรจุของสารเจือปนที่จะได้รับ การกำหนดหาหรือแก๊สผสมของ ฮีเลียมเช่นนี้กับอาร์กอนบ ริสุทธิ์ เป็นแก๊สตัวอย่าง แก๊สผสมดังกล่าวมีอาร์กอนจาก 0.1 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ และอาร์กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวน ในเขตการแยกสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพ เคลื่อนย้ายไอออน - การใช้แก๊สผสมระหว่างฮีเลียมซึ่งมีปริมาณบรรจุของสารเจือ ปนที่ได้รับการกำหนดหา และอาร์กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สตัวอย่าง และแก๊สผสมระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนซึ่งไม่มีสารเจือปนเป็น แก๊สไหลทวน โดยที่แก๊สผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอน ที่ประกอบรวมอยู่ระหว่าง 10 และ 80 เปอร์เซ็นต์
2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่ง เมื่อฮีเลียมหรือ แก๊สผสมของฮีเลียมได้รับการนำมาใช้เป็น แก๊สตัวอย่างและอาร์ กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวน อัตราส่วนระหว่างอัตราการไหล ของแก๊สไหล ทวนและอัตราการไหลของแก๊สตัวอย่างจะเท่ากับหรือ มากกว่า 10
3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่ง อัตราส่วนดังกล่าว จะประกอบรวมอยู่ระหว่าง 15 และ 20
4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งเมื่อใช้ทั้งแก๊สผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนเป็นแก๊สตัวอย่าง และแก๊สไหลทวน ของ ผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอนประกอบรวมอยู่ระหว่าง 30 และ 40 เปอร์เซ็นต์
5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งเมื่อใช้ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนสองชนิดเป็น แก๊สตัวอย่างและแก๊สไหล ทวน ของผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอนเหมือนกัน
6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งจะทำให้ได้มาซึ่งของ ผสมดังกล่าวโดยการใช้ระบบ (10) ที่ซึ่งการไหลของฮีเลียม ซึ่งมีสารเจือปนซึ่งมาจากท่อ (11) และการไหลของอาร์กอนบ ริสุทธิ์ซึ่งมาจาก ท่อ (12) จะได้รับการผสมในท่อ (13) โดย การตรวจสอบอัตราส่วนการผสมโดยวิถีทางชิ้นส่วน ควบคุมอัตราการ ไหล (C) โดยการแบ่งของผสมที่ทำให้ได้มานี้เป็นสองส่วนที่ ลำเลียงเข้าไปในท่อ ทุตยภูมิ (13' ; 13 " ) สองท่ออย่างเป็น ลำดับ โดยการลำ เลียงส่วนหนึ่งของแก๊สในท่อทุตยภูมิดังกล่าว ท่อที่หนึ่ง (13') ไปโดยไม่มีการปฏิบัติอื่นต่อไปอีกไปยังเขตปฏิกิริยา (14) ของเครื่องวัดไอเอ็มเอส (15) และการลำเลียงส่วนของท่อ ในท่อทุตยภูมิดังกล่าวท่อที่สอง (13") ไปยังระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ซึ่งจะขจัดสารเจือปนทั้งหมดที่ปรากฏอยู่ใน ส่วนนี้ของของผสม และเป็นแก๊สไหลทวน ในลำดับต่อไปยังเขตการ แยก (17) ของเครื่องวัดไอเอ็มเอส (15)
7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมด้วย สารทำให้บริสุทธิ์ ซึ่งมีเกทเทอร์อัลลอยที่มีเซอร์โคเนียมหรือไททาเนียมเป็น พื้นฐาน
8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมด้วย สารทำให้บริสุทธิ์ ซึ่งมีเกทเทอร์อัลลอยที่มีนิกเกิลเป็นพื้นฐาน
9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมต่อไป อีกด้วยเบดสารเร่ง ปฏิกิริยาของแพลเลเดียมออกไซด์
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH53675A true TH53675A (th) | 2002-11-05 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0619311B2 (ja) | 多成分同時測定用ガス分析装置 | |
| CN102183610B (zh) | 7n电子级超纯氨的分析方法 | |
| JPH02273525A (ja) | 低濃度ガス混合物の製造方法およびそのための装置 | |
| EP0469437B1 (en) | Method of and apparatus for preparing calibration gas | |
| JP4400973B2 (ja) | ガス中の微量不純物の分析方法及び装置 | |
| Assonov et al. | A new method to determine the 17O isotopic abundance in CO2 using oxygen isotope exchange with a solid oxide | |
| Zhang et al. | Rubidium purification via a single chemical column and its isotope measurement on geological standard materials by MC-ICP-MS | |
| Demarcke et al. | Laboratory studies in support of the detection of sesquiterpenes by proton-transfer-reaction-mass-spectrometry | |
| JP3260828B2 (ja) | 微量不純物の分析方法 | |
| Edtbauer et al. | Theory and practical examples of the quantification of CH4, CO, O2, and CO2 with an advanced proton-transfer-reaction/selective-reagent-ionization instrument (PTR/SRI-MS) | |
| US20100310419A1 (en) | Method for supplying gas mixtures for an analyzer | |
| KR20010067371A (ko) | 가스중의 불순물의 분석방법 및 장치 | |
| JP2006023137A (ja) | 微量水素分子及び水素同位体分子分離分析装置 | |
| WO2021205953A1 (ja) | 流れ分析装置及び流れ分析方法 | |
| RU2003122334A (ru) | Способ измерения концентрации примесей в азоте, водороде и кислороде методом спектрометрии подвижности ионов | |
| US20040111222A1 (en) | Method for measuring the concentration of water in Argon, Hydrogen, Nitrogen and Helium by ionization mobility spectrometry | |
| KR100809131B1 (ko) | 이온 이동 분광분석에 의해 질소 내의 메탄 및 수소의농도를 측정하는 방법 | |
| US20020104368A1 (en) | Process and device for the detection of hydrocarbons in a gas | |
| JP2006275844A (ja) | 大気ガスの測定方法及び装置 | |
| JP2002228636A (ja) | ガス中の微量不純物の分析方法 | |
| JP2002122570A (ja) | ガス中の微量不純物の分析方法及び装置 | |
| JP2000074882A (ja) | ガス中の微量不純物の分析方法及び装置 | |
| Kawano et al. | Infinitesimal concentration hydrogen Analyzer using trace reduction detector (TRD) | |
| Kishi et al. | Analysis of semiconductor-grade HCl with the ELAN DRC ICP-MS: elimination of chloride-based interferences | |
| EP4517332A1 (en) | Flow analysis device and flow analysis method |