TH53675A - Method for determining the concentration of dopants in helium by measurement with ion-transport spectrometers. - Google Patents

Method for determining the concentration of dopants in helium by measurement with ion-transport spectrometers.

Info

Publication number
TH53675A
TH53675A TH201000020A TH0201000020A TH53675A TH 53675 A TH53675 A TH 53675A TH 201000020 A TH201000020 A TH 201000020A TH 0201000020 A TH0201000020 A TH 0201000020A TH 53675 A TH53675 A TH 53675A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
helium
argon
mixture
gas
method under
Prior art date
Application number
TH201000020A
Other languages
Thai (th)
Inventor
ซุสชี นายมาร์โก
สไตแม็ก นายโรเบิร์ต
พุสแตร์ล่า นายลูกา
โบนุสชี นายอันโตนีโอ
Original Assignee
แซส เก็ตเตอร์ส เอสพีเอ
นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายบุญมา เตชะวณิช
Filing date
Publication date
Application filed by แซส เก็ตเตอร์ส เอสพีเอ, นางสาวปรับโยชน์ ศรีกิจจาภรณ์, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายบุญมา เตชะวณิช filed Critical แซส เก็ตเตอร์ส เอสพีเอ
Publication of TH53675A publication Critical patent/TH53675A/en

Links

Abstract

DC60 (20/02/45) จะบรรยายถึงวิธีการสำหรับวิเคราะห์เชิงปริมาณความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดย วิถีทางของสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้ สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการใช้อาร์กอนที่ผ่าน การทำให้บริสุทธิ์แล้วร่วมกับฮีเลียมซึ่งจะต้องได้รับการ วิเคราะห์สำหรับการก่อเกิดสิ่งตัวอย่าง หรือ อาร์กอนบ ริสุทธิ์ในฐานะแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของเครื่องวัด หรือ ประการสุดท้าย ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนที่ผ่านการทำ ให้บริสุทธิ์ แล้วทั้งสำหรับแก๊สตัวอย่างและสำหรับแก๊สไหลทวน จะบรรยายถึงวิธีการสำหรับวิเคราะห์เชิงปริมาณความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลียมโดย วิถีทาางของสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้ สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการใช้อาร์กอนที่ผ่าน การทำให้บริสุทธิ์แล้วร่วมกับฮีเลียมซึ่งจะต้องได้รับการ วิเคราะห์สำหรับการก่อเกิดสิ่งตัวอย่าง หรือ อาร์กอนบ ริสุทธิ์ในฐานะแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของเครื่องวัด หรือ ประการสุดท้าย ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนที่ผ่านการทำ ให้บริสุทธิ์ แล้วทั้งสำหรับแก๊สตัวอย่างและสำหรับแก๊สไหลทวน DC60 (20/02/45) describes a method for quantitative analysis of the contamination concentration in helium by Trajectory of a used spectrometer Ion transport condition Which consists of using argon that is passed Purification is then combined with helium, which has to be treated. Analyzed for the occurrence of sample or pure argon as a counterflow gas in the meter separation zone, or finally, a purified helium-argon mixture, both for the sample gas and for the flow gas. against Describe a method for quantitative analysis of helium dopant concentrations. Trajectory of a used spectrometer Ion transport condition Which consists of using argon that is passed Purification is then combined with helium, which has to be treated. Analyzed for the occurrence of sample or pure argon as a counterflow gas in the meter separation zone, or finally, a purified helium-argon mixture, both for the sample gas and for the flow gas. against

Claims (9)

1. วิธีการสำหรับการวัดค่าความเข้มข้นของสารเจือปนในฮีเลืยมโดยวิธีทางสเปกโทรมิเตอร์ แบบใช้สภาพเคลื่อนย้ายไอออน ซึ่งประกอบด้วยการดำเนินการวิเคราะห์หนึ่งในภาวะต่อไปนี้ - การใช้แก๊สผสมระหว่างฮีเลียม- อาร์กอนที่ก่อเกิดขึ้นมา จากฮีเลียมที่มีปริมาณบรรจุของ สารเจือปนที่จะได้รับการ กำหนดหาและอาร์กอนบริสุทธิ์ เป็นแก๊สตัวอย่าง แก๊สผสมดัง กล่าวมี อาร์กอนจาก 0.1 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ และฮีเลียม บริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวนในเขตการแยกของ สเปกโตสโกปีแบบใช้ การเคลื่อนย้ายไอออน หรือ - การใช้ฮีเลียมที่มีปริมาณบรรจุของสารเจือปนที่จะได้รับ การกำหนดหาหรือแก๊สผสมของ ฮีเลียมเช่นนี้กับอาร์กอนบ ริสุทธิ์ เป็นแก๊สตัวอย่าง แก๊สผสมดังกล่าวมีอาร์กอนจาก 0.1 ถึง 50 เปอร์เซ็นต์ และอาร์กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวน ในเขตการแยกสเปกโทรมิเตอร์แบบใช้สภาพ เคลื่อนย้ายไอออน - การใช้แก๊สผสมระหว่างฮีเลียมซึ่งมีปริมาณบรรจุของสารเจือ ปนที่ได้รับการกำหนดหา และอาร์กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สตัวอย่าง และแก๊สผสมระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนซึ่งไม่มีสารเจือปนเป็น แก๊สไหลทวน โดยที่แก๊สผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอน ที่ประกอบรวมอยู่ระหว่าง 10 และ 80 เปอร์เซ็นต์1. The method for measuring the concentration of impurities in helium using ion-transfer spectroscopy involves performing the analysis under one of the following conditions: - Using a helium-argon mixture formed from helium containing the impurities to be determined and pure argon as the sample gas. This mixture contains argon from 0.1 to 50 percent, and pure helium as the counterflow gas in the ion-transfer spectroscopy separation zone. Or - Using helium containing the impurities to be determined or such a helium mixture with pure argon as the sample gas. This mixture contains argon from 0.1 to 50 percent, and pure argon as the counterflow gas in the ion-transfer spectroscopy separation zone. - Using a helium mixture containing the determined impurities and pure argon as the sample gas. And a pure helium-argon mixture flows upstream, with the argon concentration ranging from 10 to 80 percent. 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่ง เมื่อฮีเลียมหรือ แก๊สผสมของฮีเลียมได้รับการนำมาใช้เป็น แก๊สตัวอย่างและอาร์ กอนบริสุทธิ์เป็นแก๊สไหลทวน อัตราส่วนระหว่างอัตราการไหล ของแก๊สไหล ทวนและอัตราการไหลของแก๊สตัวอย่างจะเท่ากับหรือ มากกว่า 102. The method under Claim 1, whereby helium or a mixture of helium gases is used as the sample gas and pure argon as the counterflow gas, the ratio between the counterflow gas flow rate and the sample gas flow rate is equal to or greater than 10. 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 2 ที่ซึ่ง อัตราส่วนดังกล่าว จะประกอบรวมอยู่ระหว่าง 15 และ 203. The method under claim 2, where the ratio shall consist of between 15 and 20. 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งเมื่อใช้ทั้งแก๊สผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนเป็นแก๊สตัวอย่าง และแก๊สไหลทวน ของ ผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอนประกอบรวมอยู่ระหว่าง 30 และ 40 เปอร์เซ็นต์4. The method under claim 1 where, using both a helium-argon mixture as the sample gas and a counterflow gas, the mixture contains a total argon concentration between 30 and 40 percent. 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งเมื่อใช้ของผสม ระหว่างฮีเลียม-อาร์กอนสองชนิดเป็น แก๊สตัวอย่างและแก๊สไหล ทวน ของผสมดังกล่าวมีความเข้มข้นของอาร์กอนเหมือนกัน5. The method under Claim 1 in which, when using two helium-argon mixtures as sample and upstream gases, the mixture has the same concentration of argon. 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งจะทำให้ได้มาซึ่งของ ผสมดังกล่าวโดยการใช้ระบบ (10) ที่ซึ่งการไหลของฮีเลียม ซึ่งมีสารเจือปนซึ่งมาจากท่อ (11) และการไหลของอาร์กอนบ ริสุทธิ์ซึ่งมาจาก ท่อ (12) จะได้รับการผสมในท่อ (13) โดย การตรวจสอบอัตราส่วนการผสมโดยวิถีทางชิ้นส่วน ควบคุมอัตราการ ไหล (C) โดยการแบ่งของผสมที่ทำให้ได้มานี้เป็นสองส่วนที่ ลำเลียงเข้าไปในท่อ ทุตยภูมิ (13' ; 13 " ) สองท่ออย่างเป็น ลำดับ โดยการลำ เลียงส่วนหนึ่งของแก๊สในท่อทุตยภูมิดังกล่าว ท่อที่หนึ่ง (13') ไปโดยไม่มีการปฏิบัติอื่นต่อไปอีกไปยังเขตปฏิกิริยา (14) ของเครื่องวัดไอเอ็มเอส (15) และการลำเลียงส่วนของท่อ ในท่อทุตยภูมิดังกล่าวท่อที่สอง (13") ไปยังระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ซึ่งจะขจัดสารเจือปนทั้งหมดที่ปรากฏอยู่ใน ส่วนนี้ของของผสม และเป็นแก๊สไหลทวน ในลำดับต่อไปยังเขตการ แยก (17) ของเครื่องวัดไอเอ็มเอส (15)6. The method under claim 5 to obtain such mixture is by using a system (10) in which the impured helium flow from tube (11) and pure argon flow from tube (12) are mixed in tube (13) by monitoring the mixing ratio by a flow control part (C) by dividing the resulting mixture into two parts that are sequentially conveyed into two secondary tubes (13'; 13"), with a portion of the gas in the first secondary tube (13') being conveyed without further treatment to the reaction zone (14) of the IMS meter (15), and a portion of the gas in the second secondary tube (13") being conveyed to the purification system (16) where all impurities present in this part of the mixture are removed and the gas is subsequently reverse-flowed to the separation zone (17) of the IMS meter (15). 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมด้วย สารทำให้บริสุทธิ์ ซึ่งมีเกทเทอร์อัลลอยที่มีเซอร์โคเนียมหรือไททาเนียมเป็น พื้นฐาน7. The method under claim 6 in which the purification system (16) shall consist of a purification agent which is a zirconium or titanium-based getter alloy. 8. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมด้วย สารทำให้บริสุทธิ์ ซึ่งมีเกทเทอร์อัลลอยที่มีนิกเกิลเป็นพื้นฐาน8. The method under claim 6 in which the purification system (16) shall consist of a purification agent which is a nickel-based getter alloy. 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งระบบการทำให้ บริสุทธิ์ (16) ดังกล่าวจะประกอบรวมต่อไป อีกด้วยเบดสารเร่ง ปฏิกิริยาของแพลเลเดียมออกไซด์9. The method under claim 5 in which the purification system (16) is further incorporated with a palladium oxide catalyst bed.
TH201000020A 2002-01-04 Method for determining the concentration of dopants in helium by measurement with ion-transport spectrometers. TH53675A (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH53675A true TH53675A (en) 2002-11-05

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0619311B2 (en) Gas analyzer for multi-component simultaneous measurement
CN102183610B (en) Method for analyzing 7N electronic grade ultrapure ammonia
JPH02273525A (en) Manufacture of low concentration gas mixture and apparatus therefor
EP0469437B1 (en) Method of and apparatus for preparing calibration gas
JP4400973B2 (en) Method and apparatus for analyzing trace impurities in gas
Assonov et al. A new method to determine the 17O isotopic abundance in CO2 using oxygen isotope exchange with a solid oxide
Zhang et al. Rubidium purification via a single chemical column and its isotope measurement on geological standard materials by MC-ICP-MS
Demarcke et al. Laboratory studies in support of the detection of sesquiterpenes by proton-transfer-reaction-mass-spectrometry
JP3260828B2 (en) Analysis method for trace impurities
Edtbauer et al. Theory and practical examples of the quantification of CH4, CO, O2, and CO2 with an advanced proton-transfer-reaction/selective-reagent-ionization instrument (PTR/SRI-MS)
US20100310419A1 (en) Method for supplying gas mixtures for an analyzer
KR20010067371A (en) Method for analyzing impurities contained in gas and apparatus therefor
JP2006023137A (en) Trace hydrogen molecule and hydrogen isotope molecular separation analyzer
WO2021205953A1 (en) Flow analysis device and flow analysis method
RU2003122334A (en) METHOD FOR MEASURING CONCENTRATION OF IMPURITIES IN NITROGEN, HYDROGEN AND OXYGEN BY ION MOBILITY SPECTROMETRY METHOD
US20040111222A1 (en) Method for measuring the concentration of water in Argon, Hydrogen, Nitrogen and Helium by ionization mobility spectrometry
KR100809131B1 (en) Method for measuring the concentration of methane and hydrogen in nitrogen by ion transfer spectroscopy
US20020104368A1 (en) Process and device for the detection of hydrocarbons in a gas
JP2006275844A (en) Method and apparatus for measuring atmospheric gas
JP2002228636A (en) Analysis of trace impurities in gas
JP2002122570A (en) Method and apparatus for analyzing trace impurities in gas
JP2000074882A (en) Method and apparatus for analyzing trace impurities in gas
Kawano et al. Infinitesimal concentration hydrogen Analyzer using trace reduction detector (TRD)
Kishi et al. Analysis of semiconductor-grade HCl with the ELAN DRC ICP-MS: elimination of chloride-based interferences
EP4517332A1 (en) Flow analysis device and flow analysis method