TH52119A - วิธีการสำหรับผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็ก - Google Patents
วิธีการสำหรับผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็กInfo
- Publication number
- TH52119A TH52119A TH101002200A TH0101002200A TH52119A TH 52119 A TH52119 A TH 52119A TH 101002200 A TH101002200 A TH 101002200A TH 0101002200 A TH0101002200 A TH 0101002200A TH 52119 A TH52119 A TH 52119A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- glass
- glass substrate
- polish
- magnetic
- substrate
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract 8
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract 3
- 238000009991 scouring Methods 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
Abstract
DC60 (20/08/44) วิธีการสำหรับผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็กที่ประกอบ ด้วยขั้นตอนต่าง ๆ คือ การประกบแผ่นขัดถูสำหรับตรวจ แก้ไว้ระหว่างฐานรองขัดด้านบน กับด้านล่างของอุปกรณ์ขัดเงา สองด้านสำหรับขัดเงาซับสเตรตแก้วในขณะเดียวกันก็ทำ การสวม ประกบฐานรองขัดด้านบนและด้านล่างเหล่านี้กับอุปกรณ์ขัดเงา การหมุนฐานรอง ขัดด้านบนและด้านล่างในทิศทางตรงข้ามกันในขณะ เดียวกันก็ทำการจ่ายน้ำหล่อเย็นเพื่อ ขัดเงาพื้นผิวของฐาน รองขัด เหล่านี้ให้มีความแบนราบของพื้นผิวที่ระดับไม่เกินกว่า 30 ไมครอน จากนั้นจึงทำการติดผ้าขัดถูกับฐานรองขัดด้านบนและ ด้านล่างตามลำดับ หลัง จากนั้นจึงขัดเงาพื้นผิวของซับสเตรต แก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็กซ้ำอีก วิธีการผลิตตาม การ ประดิษฐ์นี้ช่วยให้สามารถผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึก แม่เหล็กได้อย่างดีเยี่ยม ซับสเตรตแก้วดังกล่าวจะไม่มี ระดับการเกิดรอยย่นที่ขอบมากนักแม้กระทั่งในพื้นที่รอบวง ของพื้นผิวของซับส เตรตแก้วที่อยู่บนด้านชั้นสื่อบันทึกแม่เหล็ก ซับสเตรตแก้ว ดังกล่าวยัง มีความราบเรียบหรือความแบนราบและความสม่ำเสมอ ของพื้นผิวที่ดีเยี่ยมอีกด้วยแม้ กระทั่งในพื้นที่ที่อยู่ใน บริเวณรอบวงด้านนอกสุดที่อยู่บนด้านชั้นบันทึกแม่เหล็กและ ซับส เตรตแก้วดังกล่าวก็ไม่มีข้อบกพร่องที่พื้นผิวเป็นจำนวน มากอีกด้วย วิธีการำสหรับผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็กที่ประกอบ ด้วยขั้นตอนต่าง ๆ คือ การประกบแผ่นขัดถูสำหรับตรวจ แก้ไว้ระหว่างฐานรองขัดด้านบน กับด้านล่างของอุปกรณ์ขัดเงา สองด้านสำหรับขัดเงาซับสเตรตแก้วในขณะเดียวกันก็ทำ การสวม ประกบฐานร่องขัดด้านบนและด้านล่างเหล่านี้กับอุปกรณ์ขัดเงา การหมุนฐานรอง ขัดด้านบนและด้านล่างในทิศทางตรงข้ามกันในขณะ เดียวกันก็ทำการจ่ายน้ำหล่อเย็นเพื่อ ขัดเงาพื้นผิวของฐาน รองขัด เหล่านี้ให้มีความแบนราบของพื้นผิวที่ระดับไม่เกินกว่า 30 ไมครอน จากนั้นจึงทำการติดผ้าขัดถูกับฐานรองขัดด้านบนและ ด้านล่างตามลำดับ หลัง จากนั้นจึงขัดเงาพื้นผิวของซับสเตรต แก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็กซ้ำอีก วิธีการผลิตตาม การ ประดิษฐ์นี้ช่วยให้สามารถผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึก แม่เหล็กได้อย่างดีเยี่ยม ซับสเตรตแก้วดังกล่าวจะไม่มี ระดับการเกิดรอยย่นที่ขอบมากนักแม้กระทั่งในพื้นที่รอบวง ของพื้นผิวของซับส เตรตแก้วที่อยู่บนด้านชั้นสื่อบันทึกแม่เหล็ก ซับสเตรตแก้ว ดังกล่าวยัง มีความราบเรียบหรือความแบนราบและความสม่ำเสมอ ของพื้นผิวที่ดีเยี่ยมอีกด้วยแม้ กระทั่งในพื้นที่ที่อยู่ใน บริเวณรอบวงด้านนอกสุดที่อยู่บนด้านชั้นบันทึกแม่เหล็กและ ซับส เตรตแก้วดังกล่าวก็ไม่มีข้อบกพร่องที่พื้นผิวเป็นจำนวน มากอีกด้วย
Claims (1)
1. วิธีการสำหรับผลิตซับสเตรทแก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็กที่ประกอบ ด้วยขั้นตอนต่าง ๆ คือ การประกบแผ่นขัดถูสำหรับ ตรวจแก้ไว้ระหว่างฐานรองขัดด้านบน กับด้านล่างของอุปกรณ์ขัด เงาสองด้านสำหรับขัดเงาซับสเตรตแก้วในขณะเดียวกันก็ทำ การ สวมประกบฐานรองขัดด้านบนและด้านล่างเหล่านี้กับอุปกรณ์ขัด เงา การหมุนฐานรอง ขัดด้านบนและด้านล่างในทิศทางตรงข้ามกัน ในขณะเดียวกันก็ทำการจ่ายน้ำหล่อเย็นเพื่อ ขัดเงาพื้นผิวของ ฐานรองขัด เหล่านี้ให้มีความแบนราบของพื้นผิวที่ระดับไม่เกินกว่า 30 ไมครอน จากนั้นจึงทำการติดผ้าขัแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH52119A true TH52119A (th) | 2002-07-19 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8182315B2 (en) | Chemical mechanical polishing pad and dresser | |
| JP2842865B1 (ja) | 研磨装置 | |
| JP3645528B2 (ja) | 研磨方法及び半導体装置の製造方法 | |
| JPS63162155A (ja) | 研磨のための工作物取付け方法 | |
| JPH11300600A (ja) | ケミカルマシンポリッシャの研磨盤用研磨ドレッサ | |
| TWI289889B (en) | Method of polishing wafer and polishing pad for polishing wafer | |
| JP2000288922A (ja) | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 | |
| US6942552B2 (en) | Disc repair system | |
| US8485869B2 (en) | Polishing material having polishing particles and method for making the same | |
| US7198549B2 (en) | Continuous contour polishing of a multi-material surface | |
| JP5585269B2 (ja) | 磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法 | |
| JP2000288921A (ja) | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 | |
| TH52119A (th) | วิธีการสำหรับผลิตซับสเตรตแก้วสำหรับสื่อบันทึกแม่เหล็ก | |
| MY117080A (en) | Method for the production of glass substrates for magnetic recording medium | |
| JP2000288920A (ja) | 研磨用キャリア及び研磨方法並びに情報記録媒体用基板の製造方法 | |
| JPH03295017A (ja) | 磁気ヘッドスライダーの製造方法 | |
| JPH10249737A (ja) | 磁気記録媒体用基板の研磨用パッド及び研磨方法 | |
| JPH09277159A (ja) | 研磨方法及び研磨装置 | |
| JP2002355756A (ja) | 被研磨物保持用のバッキング材 | |
| JPH11277445A (ja) | 基板研磨用砥石及び研磨装置 | |
| KR100886603B1 (ko) | 웨이퍼 연마 장치 및 웨이퍼 연마 방법 | |
| JP3601937B2 (ja) | 表面平坦化方法および表面平坦化装置 | |
| JP2889292B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JP2002307308A (ja) | ケミカルマシンポリッシャの研磨盤用研磨ドレッサ | |
| JP4057322B2 (ja) | 研磨剤及び研磨方法 |