TH51084B - วิธีการและเวเฟอร์สำหรับการรักษาแผ่นยึดประสานที่สะอาดอย่างยิ่งไว้บนเวเฟอร์ - Google Patents

Abstract

DC60 (07/10/46) การประดิษฐ์นี้จะบรรยายถึงเวเฟอร์ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยที่มีแผ่นยึดประสาน ที่สะอาดอย่างยิ่งบนดาย ซึ่งจะปรับปรุงความ แข็งแรงของการยึดประสานลวด และทำให้เกิดผลผลิตที่สูง และ ความแน่นอนที่มากยิ่งขึ้นของดายกึ่งตัวนำที่ถูกบรรจุ เป็น แพคเกจ เวเฟอร์ที่สะอาดซึ่งพร้อมสำหรับการตัดเป็น ก้อนสี่เหลี่ยมจะถูกเคลือบ ด้วยแผ่นฟิล์มที่ไม่มีไอออนที่ละ ลายน้ำได้ซึ่งเป็นฉนวนที่กำจัดออกได้ ซึ่งจะเพิ่มรอยตัด ด้วยเลื่อยที่สะอาด และลด การสะสม แผ่นฟิล์มป้องกันจะถูกทำ ให้แข็งโดย ความร้อน และจะต้านทานต่อการกำจัดออกด้วยน้ำ ระบายความร้อนน้ำที่นำมาใช้ใน เลื่อยสำหรับตัดเป็นก้อนสี่ เหลี่ยม อย่างไรก็ตาม หลังจากการตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยม แผ่นฟิล์มป้องกันจะกำจัดออกได้ในเครื่องล้างเวเฟอร์ที่ใช้ น้ำที่ถูกกำจัดไอออนที่อุ่นซึ่ง มีแรงดันสูง หลังจากการ กำจัดแผ่นฟิล์มป้องกัน แผ่นขั้วไฟฟ้าก็แทบจะสะอาด เท่ากับ ก่อนการตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยม แผ่นฟิล์มอาจจะนำมาใช้เป็น ชั้นป้องกันจนกว่า เวเฟอร์ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยจะพร้อมใช้งาน การประดิษฐ์นี้จะบรรยายถึงเวเฟอร์ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยที่มีแผ่นยึดประสาน ที่สะอาดอย่างยิ่งบนดาย ซึ่งจะปรับปรุงความ แข็งแรงของการยึดประสานลวด และทำให้เกิดผลผลิตที่สูง และ ความแน่นอนที่มากยิ่งขึ้นของดายกึ่งตัวนำที่ถูกบรรจุ เป็น แพคเกจ เวเฟอร์ที่สะอาดซึ่งพร้อมสำหรับการตัดเป็น ก้อนสี่เหลี่ยมจะถูกเคลือบ ด้วยแผ่นฟิล์มที่ไม่มีไอออนที่ละ ลายน้ำได้ซึ่งเป็นฉนวนที่กำจัดออกได้ ซึ่งจะเพิ่มรอยตัด ด้วยเลื่อยที่สะอาด และลด การสะสม แผ่นฟิล์มป้องกันจะถูกทำ ให้แข็งโดย ความร้อน และจะต้านทานต่อการกำจัดออกด้วยน้ำ ระบายความร้อนน้ำที่นำมาใช้ใน เลื่อยสำหรับตัดเป็นก้อนสี่ เหลี่ยม อย่างไรก็ตาม หลังจากการตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยม แผ่นฟิล์มป้องกันจะกำจัดออกได้ในเครื่องล้างเวเฟอร์ที่ใช้ น้ำที่ถูกกำจัดไอออนที่อุ่นซึ่ง มีแรงดันสูง หลังจากการ กำจัดแผ่นฟิล์มป้องกัน แผ่นขั้วไฟฟ้าก็แทบจะสะอาด เท่ากับ ก่อนการตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยม แผ่นฟิล์มอาจจะนำมาใช้เป็น ชั้นป้องกันจนกว่า เวเฟอร์ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยจะพร้อมใช้งาน

Claims (1)

1. วิธีการป้องกันแผ่นยึดประสานของเวเฟอร์จากฝุ่นซิลิคอนเวเฟอร์และ การปนเปื้อนในระหว่างการแยกออกหรือการตัด เป็นก้อนสี่เหลี่ยม ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนอันได้แก่ การจัดให้มีเวเฟอร์ที่สะอาดที่จะถูกตัดด้วยเลื่อยที่ถูก ติดตั้งบนเทปสำหรับ การตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยม การเติมแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ซึ่งถูกทำให้แข็งที่เป็น กลางลงบนผิวหน้าของ เวเฟอร์ที่จะถูกตัด การตัดด้วยเลื่อยให้ผ่านแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ดังกล่าว และเวเฟอร์ดังกล่าว และให้เข้าไปในเทปสำหรับการตัดเป็นก้อน สี่เหลี่ยมดังกล่าวเป็นบางส่วน การระบายความร้อนเวเฟอร์ดังกล่าวด้วยน้ำเย็นที่สะอาดขณะ ที่มีการตัด เวเฟอร์ด้วยเลื่อยโดยไม่มีการกำจัดแผ่นฟิล์มที่ ละลายน้ำได้ออก การล้างเวเฟอร์ดังกล่าวในเครื่องล้างเวเฟอร์โดยใช้น้ำที่ ถูกกำจัดไอออนซึ่งอุ่น และมีแรงดันสูงเพื่อกำจัดแผ่นฟิล์ม ที่ละลายน้ำได้ซึ่งถูกทำให้แข็งที่เป็นกลางดังกล่าว จากผิว หน้าของดายที่ตัดด้วยเลื่อยแล้วแต่ละอัน และจากรอยตัดที่ ถูกตัดด้วยเลื่อยใน เวเฟอร์ดังกล่าวและ การทำให้เวเฟอร์ดังกล่าวแห้งก่อนที่จะนำดายแต่ละอันออก จากเวเฟอร์ ดังกล่าวที่ถูกติดตั้งบนเทปสำหรับการตัดเป็นก้อน สี่เหลี่ยมดังกล่าว 2. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่น้ำเย็นที่ สะอาดดังกล่าวจะประกอบ ด้วยน้ำที่ไม่ถูกกำจัดไอออนซึ่งโดย ปกติจะเกิดปฏิกิริยากับแผ่นยึดประสานที่ถูกเปิด ให้เห็นของ ดายดังกล่าวถ้าไม่ได้รับการป้องกันโดยแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำ ได้ซึ่งถูกทำให้ แข็งที่เป็นกลาง 3. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ขั้นตอนการ เติมแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำ ได้ซึ่งถูกทำให้แข็งที่เป็นกลางจะ ประกอบด้วยขั้นตอนการเติมของเหลวที่หนืดอย่าง สม่ำเสมอลงบน ผิวหน้าด้านบนของเวเฟอร์ดังกล่าว และ การทำให้แผ่นฟิล์มดังกล่าวแข็งและแห้ง 4. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 3 โดยที่ขั้นตอนการ ทำให้แผ่นฟิล์มดังกล่าว แข็งและแห้งจะประกอบด้วยการเปิดให้ แผ่นฟิล์มดังกล่าวสัมผัสกับรังสีอัลตราไวโอเล็ต (UV) หรือ อินฟราเรด (IR) 5. วิธีการดังที่ระบุไว้ใน ข้อถือสิทธิ 1 โดยที่ขั้นตอนการ เติมแผ่นฟิล์มลงบน ผิวหน้าของเวเฟอร์จะประกอบด้วยการเติมเจล ที่หนืด, แป้งเหนียว หรือของเหลว 6. วิธีการป้องกันแผ่นยึดประสานของเวเฟอร์จากฝุ่น ซิลิคอนเวเฟอร์และ การปนเปื้อนในระหว่างการแยกจากเวเฟอร์โดย ปฏิบัติการตัดด้วยเลื่อย ซึ่งประกอบ ด้วยขั้นตอนอันได้แก่ การติดตั้งเวเฟอร์ที่สะอาดที่จะถูกตัดด้วยเลื่อยเข้าไปใน ดายบนเทปสำหรับ การตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยมที่หนึ่ง การเติมแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ซึ่งถูกทำให้แข็งได้ที่ เป็นกลางที่หนึ่งลงบน ผิวหน้าด้านบนของเวเฟอร์ที่จะถูกตัด ด้วยเลื่อย การทำให้แผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้แข็งเพื่อป้องกันมิให้มัน ละลายในน้ำเย็น การตัดด้วยเลื่อยให้ผ่านแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ดังกล่าว และให้เข้าไปใน เวเฟอร์ดังกล่าวเป็นบางส่วน การล้างเวเฟอร์ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยดังกล่าวในเครื่อง ล้างเวเฟอร์เพื่อกำจัดฝุ่น เวเฟอร์และแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำ ได้ การทำให้เวเฟอร์ที่ตัดด้วยเลื่อยและล้างแล้วดังกล่าวแห้ง การเติมแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ซึ่งถูกทำให้แข็งได้ที่ เป็นกลางที่สองลงบน ผิวหน้าด้านบนของเวเฟอร์ และลงไปในรอย ตัดที่ถูกตัดด้วยเลื่อยของเวเฟอร์ดังกล่าว การทำให้แผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ซึ่งถูกทำให้แข็งได้ที่ เป็นกลางที่สองดังกล่าว แข็งตัวและแห้ง การเติมเทปสำหรับขัดด้านหลังลงบนแผ่นฟิล์มที่สองดังกล่าว การกำจัดเทปสำหรับการตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยมดังกล่าวจาก ด้านล่างของเวเฟอร์ ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยเป็นบางส่วนดังกล่าว การกำจัดส่วนหนึ่งของด้านล่างของเวเฟอร์ดังกล่าวเพื่อ แยกเวเฟอร์ให้เป็นดาย แต่ละอันซึ่งมีขอบที่สะอาดขอบยิ่งยวด บนดาย การล้างเวเฟอร์ที่ถูกตัดด้วยเลื่อยดังกล่าวในเครื่อง ล้างเวเฟอร์เพื่อกำจัดฝุ่น เวเฟอร์ การทำให้เวเฟอร์ที่ตัดด้วยเลื่อยและล้างแล้วแห้ง การติดตั้งเวเฟอร์ที่แห้งที่ตัดด้วยเลื่อยและล้างแล้วลงบน เทปสำหรับการตัดเป็น ก้อนสี่เหลี่ยมที่สอง และ การกำจัดเทปสำหรับขัดด้านหลังดังกล่าวและแผ่นฟิล์มที่ละ ลายน้ำได้ซึ่งถูกทำ ให้แข็งได้ที่เป็นกลางดังกล่าวหนึ่งแผ่น หรือมากกว่านั้นจากเวเฟอร์ดังกล่าวเพื่อจัดให้มี ดายแต่ละ อันที่มีขอบที่ไม่มีเสี้ยนและรอยร้าว 7. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 6 โดยที่ขั้นตอนการ กำจัดส่วนหนึ่งของ ด้านล่างของเวเฟอร์ดังกล่าวจะประกอบด้วย กัดขึ้นรูปหรือการขัดด้านหลัง 8. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 6 โดยที่ขั้นตอนการ ล้างเวเฟอร์ตัดด้วยเลื่อย และล้างแล้วดังกล่าวหลังจากการ กำจัดส่วนหนึ่งของด้านล่างเวเฟอร์ดังกล่าวจะ ประกอบด้วย การ ล้างด้วยน้ำเย็นที่สะอาดเพื่อจะได้ไม่เป็นการกำจัดแผ่น ฟิล์มที่ละลาย น้ำได้หนึ่งแผ่นหรือมากกว่านั้นออก 9. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 6 โดยที่ขั้นตอนการ กำจัดแผ่นฟิล์มที่ละลาย น้ำได้ซึ่งถูกทำให้แข็งได้ที่เป็น กลางดังกล่าวหนึ่งแผ่นหรือมากกว่านั้นจากเวเฟอร์ ดังกล่าวจะ ประกอบด้วยการล้างเวเฟอร์ดังกล่าวในเครื่องล้างเวเฟอร์ที่ ใช้น้ำที่ถูกกำจัด ไอออนที่มีแรงดันสูงเพื่อกำจัดแผ่นฟิล์ม ที่ละลายน้ำได้และสิ่งปนเปื้อนทั้งหมดบนนั้น 1 0. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 6 โดยที่ขั้นตอน ของการตัดด้วยเลื่อยให้ ผ่านแผ่นฟิล์มที่ละลายน้ำได้ดัง กล่าว และให้เข้าไปในเวเฟอร์ดังกล่าวเป็นบางส่วน ยังจะรวม ถึงการป้อนกระแสของน้ำระบายความร้อนที่เป็นกลางซึ่งสะอาด ได้แก่ ใบเลื่อยของเลื่อยสำหรับตัดเป็นก้อนสี่เหลี่ยม และ ให้แก่เวเฟอร์ที่กำลังถูกตัด 1

1. วิธีการดังที่ระบุไว้ในข้อถือสิทธิ 10 โดยที่น้ำระบาย ความร้อนที่เป็นกลางซึ่ง สะอาดดังกล่าวจะประกอบด้วยน้ำประปา ที่ถูกกรองและทำให้สะอาดแล้ว