TH44310A - วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ - Google Patents
วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำInfo
- Publication number
- TH44310A TH44310A TH1001022A TH0001001022A TH44310A TH 44310 A TH44310 A TH 44310A TH 1001022 A TH1001022 A TH 1001022A TH 0001001022 A TH0001001022 A TH 0001001022A TH 44310 A TH44310 A TH 44310A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- filter
- fluid
- manufacturing
- semiconductor
- semiconductors
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (23/05/43) วิธีการนี้จัดให้มีวิธีการสร้างอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งน้ำเสียที่ถูกให้กำเนิดโดยขั้นตอน การแปรรูปสารกึ่งตัวนำจะถูกกรองเพื่อให้สะอาด ในวิธีการนี้ สารที่แยกออกได้ 12 ซึ่ง ถูกดักจับโดยฟิล์มกรองที่หนึ่ง 10 จะถูกใช้ในรูปฟิล์มกรองที่สอง 13 และจะป้องกันการ อุดตันของฟิลม์กรองที่หนึ่ง 10 และแรงภายนอก ตัวอย่างเช่น ฟอง จะถูกป้อนไปยังฟิลม์ กรองที่สอง 13 เพื่อรักษาระดับความจุในการกรอง เมื่อสารที่แยกออกได้ถูกผสมกับน้ำ ที่ถูกกรอง น้ำที่ถูกกรองจะถูกทำให้หมุนเวียนซ้ำอีกครั้งไปยังถัง ซึ่งน้ำเสียจะถูกจัดเก็บ และหลังจากที่ถูกตรวจสอบว่าอัตราสารฝังในเป็นไปตามที่ต้องการ การกรองจะเริ่มต้น ใหม่อีกครั้ง วิธีการนี้จัดให้มีวิธีการสร้างอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งน้ำเสียที่ถูกให้กำเนิดโดยขั้นตอน การแปรรูปสารกึ่งตัวนำจะถูกกรองเพื่อให้สะอาด ในวิธีการนี้ สารที่แยกออกได้ 12 ซึ่ง ถูกดักจับโดยฟิล์มกรองที่หนึ่ง 10 จะถูกใช้ในรูปฟิล์มกรองที่สอง 13 และจะป้องกันการ อุดตันของฟิลม์กรองที่หนึ่ง 10 และแรงภายนอก ตัวอย่างเช่น ฟอง จะถูกป้อนไปยังฟิลม์ กรองที่สอง13 เพื่อรักษาระดับความจุในการกรอง เมื่อสารที่แยกออกได้ถูกผสมกับน้ำ ที่ถูกกรอง น้ำที่ถูกกรองจะถูกทำให้หมุนเวียนซ้ำอีกครั้งไปยังถัง ซึ่งน้ำเสียจะถูกจัดเก็บ และหลังจากที่ถูกตรวจสอบว่าอัตราสารฝังในเป็นไปตามที่ต้องการ การกรองจะเริ่มต้น ใหม่อีกครั้ง
Claims (5)
1. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของเสียที่ได้จากการแปรรูป ดังกล่าวจะประกอบด้วย โลหะผสม วัสดุที่แยกออกได้เป็นอินทรีย์และอนินทรีย์ 3
2. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของเสียที่ได้จากการแปรรูป ดังกล่าวจะประกอบด้วย Si, ออกไซด์ของ Si, AI, SiGe วัสดุอินทรีย์ และแก้วอย่างน้อยหนึ่งชนิด 3
3. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งเครื่องกรองดังกล่าวจะ ประกอบด้วย อย่างน้อยส่วนหนึ่งของของเสียที่ได้จากการแปรรูป ที่เกิดขึ้นในขั้นตอนการแปรรูป สารกึ่งตัวนำโดยใช้ของไหล เมื่อการเฉือนก้อนที่เป็นผลึกให้เป็นในรูปเวเฟอร์ หรือเมื่อการตัดเป็น ก้อน การฝนด้านหลัง หรือการขัดถูเวเฟอร์กึ่งตัวนำ 3
4. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ยังคงประกอบด้วยขั้นตอนการ แยกของเสียจากเครื่องกรอง เมื่อถังน้ำดิบที่มีของเสียที่เป็นซิลิคอนของเวฟอร์กึ่งตัวนำไปถึงความ เข้มข้นที่กำหนดไว้ล่วงหน้า 3
5. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 34 ซึ่งของไหลดังกล่าวจะถูกนำ กลับมาใช้ใหม่หลังจากของเสียที่ได้จากการแปรรูปถูกกำจัดจากที่นั่น
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TH44310A true TH44310A (th) | 2001-04-09 |
TH21859B TH21859B (th) | 2007-05-09 |
Family
ID=
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3291488B2 (ja) | 流体の被除去物除去方法 | |
KR101705494B1 (ko) | 고회수율 및 고품질의 음식물 쓰레기 유분 분리 장치의 유분 분리 방법 및 세정 방법 | |
KR101705493B1 (ko) | 고회수율 및 고품질의 음식물 쓰레기 유분 분리 장치 | |
JP2009113148A (ja) | 研磨スラリーのろ過方法並びに研磨材の回収方法及び回収装置 | |
JP5094573B2 (ja) | 緩速濾過装置 | |
JP2011104549A (ja) | ろ過システムおよびろ過方法 | |
JP2002050596A (ja) | 半導体結晶物の処理システムおよび半導体ウェハの処理システム | |
TH21859B (th) | วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ | |
TH44310A (th) | วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ | |
JP3773823B2 (ja) | 被除去物の再利用方法 | |
JP2004113940A (ja) | 移動床式ろ過装置及びその運転方法 | |
EP3088367B1 (en) | Method for cleaning water collected in a polymer plant | |
JP3315971B2 (ja) | 排水の再生システム | |
JP2001009723A (ja) | 研磨材の回収装置 | |
JP2002176016A (ja) | 被除去物の再利用方法 | |
JP2002137164A (ja) | 加工屑の回収方法 | |
JP3825648B2 (ja) | 流体の濾過方法 | |
JP2005021805A (ja) | 排水処理方法及び排水処理システム | |
JP2000229286A (ja) | 用水回収装置 | |
JP2005334992A (ja) | 廃液処理装置及び廃液処理方法、半導体装置の製造システム | |
US20080190867A1 (en) | System and method for treating wastewater | |
JPH0889709A (ja) | 液中に於ける混合物の分離除去方法 | |
JP2003326114A (ja) | 排水の濾過方法 | |
JP3306402B2 (ja) | 流体の被除去物回収方法 | |
TH44028A (th) | วิธีการกรองของไหล |