TH44310A - วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ - Google Patents

Abstract

DC60 (23/05/43) วิธีการนี้จัดให้มีวิธีการสร้างอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งน้ำเสียที่ถูกให้กำเนิดโดยขั้นตอน การแปรรูปสารกึ่งตัวนำจะถูกกรองเพื่อให้สะอาด ในวิธีการนี้ สารที่แยกออกได้ 12 ซึ่ง ถูกดักจับโดยฟิล์มกรองที่หนึ่ง 10 จะถูกใช้ในรูปฟิล์มกรองที่สอง 13 และจะป้องกันการ อุดตันของฟิลม์กรองที่หนึ่ง 10 และแรงภายนอก ตัวอย่างเช่น ฟอง จะถูกป้อนไปยังฟิลม์ กรองที่สอง 13 เพื่อรักษาระดับความจุในการกรอง เมื่อสารที่แยกออกได้ถูกผสมกับน้ำ ที่ถูกกรอง น้ำที่ถูกกรองจะถูกทำให้หมุนเวียนซ้ำอีกครั้งไปยังถัง ซึ่งน้ำเสียจะถูกจัดเก็บ และหลังจากที่ถูกตรวจสอบว่าอัตราสารฝังในเป็นไปตามที่ต้องการ การกรองจะเริ่มต้น ใหม่อีกครั้ง วิธีการนี้จัดให้มีวิธีการสร้างอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งน้ำเสียที่ถูกให้กำเนิดโดยขั้นตอน การแปรรูปสารกึ่งตัวนำจะถูกกรองเพื่อให้สะอาด ในวิธีการนี้ สารที่แยกออกได้ 12 ซึ่ง ถูกดักจับโดยฟิล์มกรองที่หนึ่ง 10 จะถูกใช้ในรูปฟิล์มกรองที่สอง 13 และจะป้องกันการ อุดตันของฟิลม์กรองที่หนึ่ง 10 และแรงภายนอก ตัวอย่างเช่น ฟอง จะถูกป้อนไปยังฟิลม์ กรองที่สอง13 เพื่อรักษาระดับความจุในการกรอง เมื่อสารที่แยกออกได้ถูกผสมกับน้ำ ที่ถูกกรอง น้ำที่ถูกกรองจะถูกทำให้หมุนเวียนซ้ำอีกครั้งไปยังถัง ซึ่งน้ำเสียจะถูกจัดเก็บ และหลังจากที่ถูกตรวจสอบว่าอัตราสารฝังในเป็นไปตามที่ต้องการ การกรองจะเริ่มต้น ใหม่อีกครั้ง

Claims (5)

1. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำ ซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ การกำจัดของเสียที่ได้จากการแปรรูปในของไหล โดยให้ของไหลดังกล่าวไหล ผ่านเครื่องกรอง เครื่องกรองดังกล่าวประกอบด้วยอย่างน้อยที่สุดส่วนของของเสียที่ได้จากการ แปรรูปที่ถูกทำให้กำเนิดในขั้นตอนการแปรรูปสารกึ่งตัวนำโดยใช้ของไหล 2. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตำนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งขั้นตอนการแปรรูปสารกึ่ง ตัวนำจะประกอบด้วยขั้นตอนการแปรรูปทางกลสารกึ่งตัวนำโดยใช้ของไหล 3. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 2 ซึ่งขั้นตอนการแปรรูปทางกล สารกึ่งตัวนำจะประกอบด้วยการขัดหรือการฝนโดยใช้ของไหล 4. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งยังคงประกอบด้วยขั้นตอนดัง ต่อไปนี้ การจัดเตรียมเครื่องกรองโดยให้ของไหล ที่มีสารที่แยกออกได้ไหลผ่านเครื่อง กรองที่หนึ่ง และพอกสะสมการที่แยกออกได้บนผิวหน้าเครื่องกรองที่หนึ่งเพื่อสร้างเครื่องกรองที่ สอง และ การกรองสารที่แยกออกได้โดยให้ของไหลไหลผ่านเครื่องกรอง และดังนั้นจึง สามารถกำจัดสารที่แยกออกได้ออกจากของไหล 5. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งขั้นตอนในการจัดเตรียม เครื่องกรองจะประกอบด้วยขั้นตอนดังต่อไปนี้ การผ่านของไหลที่มีสารที่แยกออกได้ไหลผ่านเครื่องกรองที่หนึ่ง และพอกสะสม สารที่แยกออกได้บนผิวหน้าเครื่องกรองที่หนึ่งเพื่อสร้างเครื่องกรองที่สอง ในขณะที่ทำการ หมุนเวียน 6. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งขั้นตอนการกรองดังกล่าวจะ ประกอบด้วยขั้นตอนการกรองของไหล ในขณะที่ทำการดูดโดยผ่านเครื่องกรอง 7. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งยังคงประกอบด้วยขั้นตอน การป้อนแรงภายนอกไปยังผิวหน้าของเครื่องกรอง เพื่อที่ว่าส่วนประกอบของเครื่องกรองที่สอง สามารถเลื่อนได้ 8. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอกดังกล่าวจะประกอบด้วยขั้นตอนการป้อนแรงภายนอก โดยไม่ต่อเนื่องสม่ำเสมอ 9. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอก ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการป้อนกระแสไหลของก๊าซตามแนวผิวหน้าของเครื่อง กรองที่หนึ่ง 1 0. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอก ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการป้อนแรง เพื่อทำให้ส่วนที่เป็นส่วนประกอบของ เครื่องกรองที่สองถูกปลดปล่อยออก 1 1. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอก ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการควบคุมแรงเพื่อให้ความหนาของเครื่องกรองที่สอง คงที่ 1 2. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งเครื่องกรองดังกล่าวจะถูกจัด วางในทิศทางที่ตั้งฉาก และแรงภายนอกดังกล่าวจะประกอบด้วยแรงยกระดับของฟอง 1 3. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอก ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการทำให้เกิความสั่นสะเทือนของกล 1 4. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอก ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการให้กำเนิดคลื่นเสียง 1 5. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 7 ซึ่งขั้นตอนการป้อนแรง ภายนอก ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการให้กำเนิดกระแสการไหลของของไหล 1 6.วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งเครื่องกรองที่หนึ่งดังกล่าวมี เครื่องกรองประเภทที่เป็นถุง ซึ่งช่องเผื่อจะถูกสร้าง ซึ่งท่อดูดสำหรับดูดจะถูกแทรกลงในนั้น 1 7. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งเครื่องกรองที่สองดังกล่าวจะ ประกอบด้วย Si 1 8. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งเครื่องกรองที่สองดังกล่าว ส่วนใหญ่จะประกอบด้วย Si ประเภทที่เป็นสะเก็ดขนาดเล็ก 1 9. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งขั้นตอนการแปรรูปสารกึ่ง ตัวนำจะประกอบด้วยขั้นตอนการตัดเป็นก้อน 2 0. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งขั้นตอนการแปรรูปสารกึ่ง ตัวนำจะประกอบด้วยขั้นตอนการขัดแบบกระจกเงา 2 1. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งขั้นตอนการแปรรูปสารกึ่ง ตัวนำจะประกอบด้วยขั้นตอนการฝนด้านหลัง 2 2. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 4 ซึ่งเครื่องกรองที่สองจะ ประกอบด้วยของเสียที่ได้จากการแปรรูปที่มีขนาดแตกต่างกัน 2 3. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของเสียที่ได้จากการแปรรูป จะประกอบด้วย อนุภาคที่มีขนาดแตกต่างกัน และเครื่องกรองดังกล่าวจะประกอบขึ้นด้วยรูขนาด เล็กซึ่งใหญ่กว่าขนาดที่เล็กที่สุดของอนุภาคและเล็กกว่าขนาดที่ใหญ่ที่สุดของอนุภาค 2 4. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งขั้นตอนดังกล่าวของการ กำจัดจะประกอบด้วยขั้นตอนการ หมุนเวียนของไหลเป็นเวลาที่คงที่ตั้งแต่เริ่มการกำจัดของเสียที่ได้ จากการแปรรูป 2 5. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 24 ซึ่งขั้นตอนการหมุนเวียน ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการตรวจจับระดับการรวมตัวของของเสียที่ได้จากการแปรรูปที่ถูก รวมเข้าในของไหลที่ไหลผ่านเครื่องกรอง และการหยุดการหมุนเวียนของไหลที่จุดของเวลาเมื่อ ระดับที่ถูกตรวจจับลดลงต่ำกว่าค่าคงที่ 2 6. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 25 ซึ่งขั้นตอนการหมุนเวียน ดังกล่าว จะประกอบด้วยขั้นตอนการตรวจจับระดับการรวมตัวของสารที่แยกออกได้ที่ถูกรวมเข้า ในของไหลที่ไหลผ่านเครื่องกรอง และการเริ่มการหมุนเวียนของไหลอีกครั้งที่จุดของเวลา เมื่อ ระดับที่ถูกตรวจจับมีค่าเกินค่าคงที่ที่สอง 2 7. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งเครื่องกรองที่หนึ่งดังกล่าวทำ ด้วยโพลิเมอร์ชั้นสูงที่เป็นโพลีโอเลฟิน 2 8. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งเครื่องกรองที่หนึ่งดังกล่าวจะ มีผิวหน้าที่ไม่เรียบ 2 9. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของเสียที่ได้จากการแปรรูป ดังกล่าวจะประกอบด้วยสารช่วยแปรรูปที่ถูกใช้สำหรับการแปรรูปทางกล 3 0. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของไหลดังกล่าว จะถูกนำ กลับมาใช้ใหม่หลังจากการกำจัดของเสียที่ได้จากการแปรรูป 3

1. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของเสียที่ได้จากการแปรรูป ดังกล่าวจะประกอบด้วย โลหะผสม วัสดุที่แยกออกได้เป็นอินทรีย์และอนินทรีย์ 3

2. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งของเสียที่ได้จากการแปรรูป ดังกล่าวจะประกอบด้วย Si, ออกไซด์ของ Si, AI, SiGe วัสดุอินทรีย์ และแก้วอย่างน้อยหนึ่งชนิด 3

3. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งเครื่องกรองดังกล่าวจะ ประกอบด้วย อย่างน้อยส่วนหนึ่งของของเสียที่ได้จากการแปรรูป ที่เกิดขึ้นในขั้นตอนการแปรรูป สารกึ่งตัวนำโดยใช้ของไหล เมื่อการเฉือนก้อนที่เป็นผลึกให้เป็นในรูปเวเฟอร์ หรือเมื่อการตัดเป็น ก้อน การฝนด้านหลัง หรือการขัดถูเวเฟอร์กึ่งตัวนำ 3

4. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 1 ยังคงประกอบด้วยขั้นตอนการ แยกของเสียจากเครื่องกรอง เมื่อถังน้ำดิบที่มีของเสียที่เป็นซิลิคอนของเวฟอร์กึ่งตัวนำไปถึงความ เข้มข้นที่กำหนดไว้ล่วงหน้า 3

5. วิธีการผลิตอุปกรณ์กึ่งตัวนำตามข้อถือสิทธิ 34 ซึ่งของไหลดังกล่าวจะถูกนำ กลับมาใช้ใหม่หลังจากของเสียที่ได้จากการแปรรูปถูกกำจัดจากที่นั่น