TH42372A - - Google Patents
Info
- Publication number
- TH42372A TH42372A TH9601001840A TH9601001840A TH42372A TH 42372 A TH42372 A TH 42372A TH 9601001840 A TH9601001840 A TH 9601001840A TH 9601001840 A TH9601001840 A TH 9601001840A TH 42372 A TH42372 A TH 42372A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- hci
- high purity
- vapor
- flow
- purify
- Prior art date
Links
Abstract
เตรียม HCI ที่ทำให้มีความบริสุทธิ์สูง เพื่อใช้ในการผลิตขึ้น ณ. ที่ใช้ โดยการ ดึงไอ HCI จากที่เก็บ HCI เหลว และการล้างไอที่กรองแล้วในเครื่องล้างด้วย น้ำที่มีพีเอชต่ำ
Claims (1)
1. ระบบย่อย ณ. ที่ใช้ ในโรงงานผลิตอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ เพื่อการรีเอ เจนต์ที่มีความบริสุทธิ์สูงระดับอัลตรา ที่ประกอบ ด้วย HCI ต่อการดำเนินการการผลิตสาร กึ่งตัวนำ ที่ประกอบ ด้วย : แหล่งการระเหยแรกที่ต่ออยู่เพื่อรองรับแหล่งของเหลว HCI และเพื่อให้ กระแสไอ HCI จากที่นั้น ; กระแสไอ HCI ที่กล่าวแล้วต่ออยู่เพื่อผ่านไปยังหน่วยเครื่อง ทำให้บริสุทธิ์ จากไอออนซึ่งให้ปริมาตรการหมุนเวียนกลับของ น้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง ที่มีความเข้มข้นสูง ของกรดไฮโดร คลอริก ที่สัมผัแท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH42372A true TH42372A (th) | 2001-01-10 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| BG48454A3 (en) | Device and method for multistep washing of suspensions in counter- flow | |
| ATE292605T1 (de) | Vorrichtung zum entwässern von schlamm | |
| CN105600995A (zh) | 一种膜曝气与膜吸收耦合工艺的高氨氮废水资源化零排放处理方法及装置 | |
| TH42372A (th) | ||
| RU94012920A (ru) | Способ очистки сточных вод и технологических растворов от ионов некеля и меди методом ионного обмена | |
| GB1464230A (en) | Cleaning of flue gas involving electrolytic treatment | |
| CN210980160U (zh) | 一种空气净化消毒装置 | |
| JPS57207518A (en) | Liquid filtering device | |
| CN210128654U (zh) | 一种半闭路循环冷却水系统 | |
| RU94022973A (ru) | Способ очистки природных вод | |
| CN208055052U (zh) | 一种便于清理的除油除盐污水处理设备 | |
| KR200319923Y1 (ko) | 압축 순환식 기체용해장치 | |
| CN219984068U (zh) | 一种纯化水机 | |
| CN218492627U (zh) | 一种多功能不锈钢水箱 | |
| CN215783234U (zh) | 二氧化氯发生器 | |
| CN216236114U (zh) | 一种利用载气增湿处理含盐废水的系统 | |
| CN220714833U (zh) | 一种具有废水处理功能的多效蒸发器 | |
| CN208166731U (zh) | 一种硬水处理装置 | |
| CN219950762U (zh) | 血液低温操作台冷凝水处理装置 | |
| KR950020970A (ko) | 반도체 웻-스테이션 장비의 필터 클리닝 장치 | |
| CN213326992U (zh) | 抗菌制剂生产用纯水机 | |
| CN213895492U (zh) | 一种利用低温烟气实现脱硫废水零排放的工艺装置 | |
| CN215756798U (zh) | 游泳馆训练池水处理系统 | |
| CN213294906U (zh) | 一种电镀溶液自动净化系统 | |
| KR0125272Y1 (ko) | 정수기 |