TH40899A - สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ - Google Patents
สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศInfo
- Publication number
- TH40899A TH40899A TH9901000404A TH9901000404A TH40899A TH 40899 A TH40899 A TH 40899A TH 9901000404 A TH9901000404 A TH 9901000404A TH 9901000404 A TH9901000404 A TH 9901000404A TH 40899 A TH40899 A TH 40899A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- panels
- covering
- cover
- special nature
- conforming
- Prior art date
Links
Abstract
DC60 (24/02/42) สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอของสารเคลือบชนิดใดๆ บน แผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังดังกล่าวเป็นชนิดที่รวมถึงแผงปกปิด (22) อย่างน้อยสองแผง ซึ่งแผง หนึ่งสามารถเคลื่อนที่ได้ โดยที่แผงปกปิด (22) ทั้งสองแผงซึ่งตั้งแต่นี้เป็นต้นไปจะถูกอ้างถึงเพื่อความ สะดวกเพียงว่าแผงปกปิดด้านข้างเท่านั้น จะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญและในลักษณะที่อยู่ ภายใต้การควบคุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) นั้น จะเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างตำแหน่งทั้งสองจะ มีค่าน้อยที่สุดและตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด การประดิษฐ์นี้จะ รวมถึงสารเคลือบต่างๆ ที่ต่อต้านการสะท้อนสำหรับเลนส์ที่ใช้กับดวงตา สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอของสารเคลือบชนิดใดๆ บน แผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังดังกล่าวเป็นชนิดที่รวมถึงแผงปกปิด (22) อย่างน้อยสองแผงซึ่งแผง หนึ่งสามารถเคลื่อนที่ได้ โดยที่แผงปกปิด (22) ทั้งสองแผงซึ่งตั้งแต่นี้เป็นต้นไปจะถูกอ้างถึงเพื่อความ สะดวกเพียงว่าแผงปกปิดด้านข้างเท่านั้น จะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญและในลักษณะที่อยู่ ภายใต้การควบคุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) นั้น จะเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้แก่ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างตำแหน่งทั้งสองจะ มีค่าน้อยที่สุดและตำแหน่งที่ขยายห่างกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด การประดิษฐ์นี้จะ รวมถึงสารเคลือบต่างๆ ที่ต่อต้านการสะท้อนสำหรับเลนส์ที่ใช้กับดวงตา
Claims (24)
1. สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกัน โดยการกลายเป็นไอของสาร เคลือบชนิดใดๆ บนแผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังรวมถึงแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) อย่างน้อย สองแผง ซึ่งอย่างน้อยที่สุดแผงหนึ่งของแผงปกปิดทางด้านข้างดังกล่าวสามารถเคลื่อนที่ได้ แผงปก ปิดทางด้านข้างดังกล่าวจะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญ และจะได้รับการหมุนรอบแกน ให้เข้ากับฐาน (24) เพื่อสร้างแผงปกปิดที่สามที่ถูกยึดอยู่กับที่ตามการหมุนรอบแกน ภายใต้การควบ คุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้ แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ดังกล่าวจะมีค่า น้อยที่สุด และตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด
2. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผง จะรวมถึงแขนเหวี่ยง (32) ซึ่งเคลื่อนที่ได้ บนฐาน (24) และซึ่งยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับบรรดาแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ผ่านการจัดเรียงที่ คล้ายกับรังดุม (33) ซึ่งรังดุม (34) ของมันมีลักษณะโดยรวมเป็นมุมเฉียงซึ่งกันและกัน
3. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ชิ้นส่วนกลาง ของแขนเหวี่ยง (32) ถูกยึดแน่นเข้ากับแป้นเกลียว (35) ซึ่งถูกยึดเกี่ยวระหว่างกับแท่งเกลียว (36) ที่ ได้รับการติดตั้งโดยสามารถหมุนได้บนฐาน(24)
4. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แต่ละแผงของ แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงถูกติดแบบถอดออกได้เข้ากับคานรองรับ (54) ซึ่งได้รับการ หมุนรอบแกนให้เข้ากับฐาน (24) และซึ่งตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันของพวกมันจะทำหน้าที่ผ่าน ทางส่วนนี้
5. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง รังดุม (34) ของ การจัดเรียงที่คล้ายกับรังดุม(33) ที่ซึ่งแขนเหวี่ยง (32) ได้รับการยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับแผงปกปิด ทางด้านข้าง (22) จะก่อรูปเป็นช่องเปิดที่ถูกทำขึ้นในบริเวณเฉพาะที่อยู่ในคานรองรับ (54) ที่ซึ่งแผง ปกปิดทางด้านข้าง (22) ถูกติดเข้าไป และแขนเหวี่ยง (32) จะรองรับหมุด (55) ไว้ในความสัมพันธ์ ที่สอดคล้องกันซึ่งได้รับการเชื่อมต่อเข้าไปในรังดุม (34)
6. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง คานรองรับ (54) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองจะขยายออกไปอย่างน้อยในส่วนหนึ่งที่อยู่ บนด้านที่หนึ่งของฐาน (24) และแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ที่สอดคล้องกันจะขยายออกไปอย่าง น้อยเป็นบางส่วนออกจากอีกด้านหนึ่งของฐาน (24) ดังกล่าว
7. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง สำหรับการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอ ของสารเคลือบบนแผ่นฐาน ที่ภายในตัวมันจะมีส่วนรองรับ (12) ที่สามารถหมุนได้ ที่มีตำแหน่ง ต่างๆ (14)ซึ่งแต่ละตำแหน่งได้รับการดัดแปลงเพื่อให้รับแผ่นฐาน (10)ที่จะได้รับการปฏิบัติบำรุง, แหล่งของอีมิตเตอร์ (13) ที่ซึ่งวัสดุที่จะถูกทับถมกันจากบริเวณนั้น ถูกทำให้กลายเป็นไอ และสิ่งปิด บัง (16) ที่ปฏิบัติงานอยู่ระหว่างส่วนรองรับ(12) และแหล่งของอีมิตเตอร์ (13) โดยมีลักษณะ พิเศษ ที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) จะเป็นสิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2
8. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) มีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับส่วนรองรับ (12)
9. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 8 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งแกนเครื่องมือ (P) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ของมันจะอยู่ห่างจาก แกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12) เป็นระยะที่ไกลกว่าพื้นที่ซึ่งตัวขับเร้าร่วมกัน (23) ของพวก มันกระทำอยู่บนตัวพวกมัน
10. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) ขยายออกไปในลักษณะของคานยื่นจากส่วนยึดติด (20) ที่ถูกยึดอยู่กับที่ซึ่ง อยู่รอบแกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12)
11. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงของสิ่งปิดบัง (16) สามารถเข้าถึงได้จากภายนอก
12. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 11 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิดทาง ด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงมีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับฐาน (24)
13. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 12 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้นแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสซึ่งกันและกันอย่างน้อยในบริเวณที่ เฉพาะที่
14.สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 13 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้น แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสกันเฉพาะที่จุดหนึ่ง ในพื้นที่ของมุม (62) และช่องห่าง (E) ที่อยู่ระหว่างพวกมันก็จะมีขอบโดยรอบ โดยรวมทั้งหมดเป็นรูปสามเหลี่ยม ในภาพรวม
15. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง มันมีระนาบ สมมาตรที่สัมพันธ์กับการที่แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะเคลื่อนที่ได้โดยสัมพันธ์ซึ่ง กันและกันในทิศตรงกันข้าม
16. วิธีการผลิตสารเคลือบแบบหลายระดับชั้นสำหรับการปฏิบัติบำรุงให้กับแผ่น ฐาน (10) ชุดหนึ่งโดยากรทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ ซึ่งเป็นชนิดที่แผ่นฐาน (10) ได้รับการจัด วางในสิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง เพื่อการทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ (11) ซึ่งบรรจุไว้ ด้วยสิ่งปิดบัง(16) โดยมีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) เป็นสิ่งปิดบังที่มีพื้นที่ผิวที่สามารถ เปลี่ยนแปลงได้ ในลักษณะที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 และพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16) ได้รับ การดัดแปรเพื่อทำเกิดการทับถมกันของระดับชั้นต่างๆแต่ละชั้น
17. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ เพื่อที่ว่าผลที่ได้ของการปฏิบัติบำรุงของแผ่นฐาน (10) นั้น จะเป็นการ ปฏิบัติบำรุงที่ต่อต้านการสะท้อน
18. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ ที่เป็นวัสดุที่แตกต่างกันอย่างน้อยสองชั้น
19. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ได้รับความร้อนก่อนการทับถมของสารเคลือบ
20. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) จะต้องผ่านการระดมยิ่งด้วยไอออนก่อนการทับถมของสารเคลือบ
21. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 20 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ความเข้มข้น ของการระดมยิงด้วยไอออนได้รับการปรับแต่งโดยการดัดแปรพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16)
22. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง การทับถมของ สารเคลือบได้รับการช่วยเหลือจากการระดมยิงด้วยไอออน
23. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิด (22) สองแผงสามารถเคลื่อนที่ได้
24. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ที่ได้รับการปฏิบัติบำรุงเป็นเลนส์ที่ใช้กับดวงตา
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH40899A true TH40899A (th) | 2000-10-25 |
| TH40899A3 TH40899A3 (th) | 2000-10-25 |
| TH21668C3 TH21668C3 (th) | 2007-03-30 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6063200A (en) | Three-dimensional micro fabrication device for filamentary substrates | |
| US20190341237A1 (en) | Shutter mechanism for target, and film-forming device provided with same | |
| JPH031378B2 (th) | ||
| JP2020506299A (ja) | 蒸着マスク、oledパネル及びシステム並びに蒸着監視方法 | |
| JP4267202B2 (ja) | 真空蒸着法に使用される均しマスク | |
| DE112014003194B4 (de) | Verfahren zu Bearbeitung einer Probe in einem mindestens zwei Partikelstrahlen erzeugenden Gerät und Gerät zur Durchführung des Verfahrens | |
| JP2002505444A5 (th) | ||
| JP2019517623A5 (th) | ||
| JP2000275140A (ja) | 基板検査装置 | |
| TWI819116B (zh) | 具有至少一個可調節樣品支架的裝置以及改變支架傾斜角的方法和製備薄片的方法 | |
| JPH09134894A (ja) | 半導体バー切断によるレーザ製造のための装置および方法 | |
| TWI827905B (zh) | 磁控濺射鍍膜裝置及其工作方法 | |
| TH40899A3 (th) | สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ | |
| TH21668C3 (th) | สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ | |
| DE10145201C1 (de) | Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekrümmter Oberfläche durch Pulsmagnetron-Zerstäuben | |
| US2781282A (en) | Method and apparatus for masking support bodies | |
| US20110236601A1 (en) | Method for Depositing a Material | |
| TW201907028A (zh) | 成膜裝置、遮罩框架、對準方法 | |
| KR102750970B1 (ko) | 기판처리장치용 캐리어 | |
| US12270099B2 (en) | Film-forming device, film-forming unit, and film-forming method | |
| TWI849280B (zh) | 磁控濺射鍍膜裝置及其工作方法 | |
| JPH07305167A (ja) | スパッタリング装置 | |
| KR102398067B1 (ko) | 정전 척 | |
| TWI397596B (zh) | 鍍膜裝置及其所使用之鍍膜傘架遮罩 | |
| KR20220075618A (ko) | 기판 고정부를 구비한 증착 장치 |