TH40899A - A covering for dispersion to be deposited by vaporization in a vacuum. - Google Patents

A covering for dispersion to be deposited by vaporization in a vacuum.

Info

Publication number
TH40899A
TH40899A TH9901000404A TH9901000404A TH40899A TH 40899 A TH40899 A TH 40899A TH 9901000404 A TH9901000404 A TH 9901000404A TH 9901000404 A TH9901000404 A TH 9901000404A TH 40899 A TH40899 A TH 40899A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
panels
covering
cover
special nature
conforming
Prior art date
Application number
TH9901000404A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH21668C3 (en
TH40899A3 (en
Inventor
ไบเน็ท นายโอลิเวอร์
Original Assignee
แอสซิเลอร์ อินเตอร์เนชั่นแนล
Filing date
Publication date
Application filed by แอสซิเลอร์ อินเตอร์เนชั่นแนล filed Critical แอสซิเลอร์ อินเตอร์เนชั่นแนล
Publication of TH40899A publication Critical patent/TH40899A/en
Publication of TH40899A3 publication Critical patent/TH40899A3/en
Publication of TH21668C3 publication Critical patent/TH21668C3/en

Links

Abstract

DC60 (24/02/42) สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอของสารเคลือบชนิดใดๆ บน แผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังดังกล่าวเป็นชนิดที่รวมถึงแผงปกปิด (22) อย่างน้อยสองแผง ซึ่งแผง หนึ่งสามารถเคลื่อนที่ได้ โดยที่แผงปกปิด (22) ทั้งสองแผงซึ่งตั้งแต่นี้เป็นต้นไปจะถูกอ้างถึงเพื่อความ สะดวกเพียงว่าแผงปกปิดด้านข้างเท่านั้น จะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญและในลักษณะที่อยู่ ภายใต้การควบคุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) นั้น จะเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างตำแหน่งทั้งสองจะ มีค่าน้อยที่สุดและตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด การประดิษฐ์นี้จะ รวมถึงสารเคลือบต่างๆ ที่ต่อต้านการสะท้อนสำหรับเลนส์ที่ใช้กับดวงตา สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอของสารเคลือบชนิดใดๆ บน แผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังดังกล่าวเป็นชนิดที่รวมถึงแผงปกปิด (22) อย่างน้อยสองแผงซึ่งแผง หนึ่งสามารถเคลื่อนที่ได้ โดยที่แผงปกปิด (22) ทั้งสองแผงซึ่งตั้งแต่นี้เป็นต้นไปจะถูกอ้างถึงเพื่อความ สะดวกเพียงว่าแผงปกปิดด้านข้างเท่านั้น จะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญและในลักษณะที่อยู่ ภายใต้การควบคุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) นั้น จะเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้แก่ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างตำแหน่งทั้งสองจะ มีค่าน้อยที่สุดและตำแหน่งที่ขยายห่างกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด การประดิษฐ์นี้จะ รวมถึงสารเคลือบต่างๆ ที่ต่อต้านการสะท้อนสำหรับเลนส์ที่ใช้กับดวงตาDC60 (24/02/42) An enclosed device used to control the vaporization of any coating on any substrate, whereby such enclosed device includes at least two enclosed panels (22), one of which is movable, whereby the two enclosed panels (22) hereafter referred for convenience only to the side panels, are of primary co-plane nature and, under the control of a common actuator (23), move continuously between two end positions: a position closed together where the gap (E) between them is minimal and a position separated where the gap (E) between them is maximum. This invention includes anti-reflective coatings for ocular lenses. An enclosed device used to control the vaporization of any coating on any substrate, whereby such enclosed device includes at least two enclosed panels (22), one of which is movable, whereby the two enclosed panels (22) hereafter referred for convenience only to the side panels, are of primary co-plane nature and, under the control of a common actuator (23), move continuously between two end positions: a position closed together where the gap (E) between them is minimal and a position separated where the gap (E) between them is maximum. This invention includes anti-reflective coatings for ocular lenses. It will have a co-planar characteristic, and under the control of a shared actuator (23), it will move continuously between two terminal positions: a closed position where the gap (E) between the two positions is minimal, and a widened position where the gap (E) is maximum. This invention will include anti-reflective coatings for lenses used on the eye.

Claims (24)

1. สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกัน โดยการกลายเป็นไอของสาร เคลือบชนิดใดๆ บนแผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังรวมถึงแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) อย่างน้อย สองแผง ซึ่งอย่างน้อยที่สุดแผงหนึ่งของแผงปกปิดทางด้านข้างดังกล่าวสามารถเคลื่อนที่ได้ แผงปก ปิดทางด้านข้างดังกล่าวจะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญ และจะได้รับการหมุนรอบแกน ให้เข้ากับฐาน (24) เพื่อสร้างแผงปกปิดที่สามที่ถูกยึดอยู่กับที่ตามการหมุนรอบแกน ภายใต้การควบ คุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้ แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ดังกล่าวจะมีค่า น้อยที่สุด และตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด1. An obscuration used to control the vaporization of any coating on any substrate whereby the obscuration includes at least two side obscuration panels (22), at least one of which is movable. Such side obscuration panels are essentially coplanar and are rotated around an axis to the substrate (24) to create a third obscuration panel which is fixed by rotation under the control of a shared actuator (23) continuously between two end positions: the closed position where the gap (E) between such side obscuration panels (22) is minimal, and the extended position where the gap (E) is maximum. 2. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผง จะรวมถึงแขนเหวี่ยง (32) ซึ่งเคลื่อนที่ได้ บนฐาน (24) และซึ่งยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับบรรดาแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ผ่านการจัดเรียงที่ คล้ายกับรังดุม (33) ซึ่งรังดุม (34) ของมันมีลักษณะโดยรวมเป็นมุมเฉียงซึ่งกันและกัน2. The covering conforming to claim 1 is of a special nature in which the actuator (23), used in conjunction with both side covering panels (22), includes a movable swing arm (32) on a base (24) which is interconnected with the side covering panels (22) through a buttonhole-like arrangement (33) in which its buttonholes (34) are generally angled to each other. 3. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ชิ้นส่วนกลาง ของแขนเหวี่ยง (32) ถูกยึดแน่นเข้ากับแป้นเกลียว (35) ซึ่งถูกยึดเกี่ยวระหว่างกับแท่งเกลียว (36) ที่ ได้รับการติดตั้งโดยสามารถหมุนได้บนฐาน(24)3. The cover conforming to claim 2 is of the special nature in which the central part of the swing arm (32) is firmly fixed to a nut (35) which is interlocked with a threaded rod (36) that is mounted rotatably on a base (24). 4. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แต่ละแผงของ แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงถูกติดแบบถอดออกได้เข้ากับคานรองรับ (54) ซึ่งได้รับการ หมุนรอบแกนให้เข้ากับฐาน (24) และซึ่งตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันของพวกมันจะทำหน้าที่ผ่าน ทางส่วนนี้4. The covering conforming to claim 2 is of the special nature in which each of the two side covering panels (22) is removablely attached to the support beams (54) which are rotated around their axis to the base (24) and in which their shared actuator (23) acts through this section. 5. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง รังดุม (34) ของ การจัดเรียงที่คล้ายกับรังดุม(33) ที่ซึ่งแขนเหวี่ยง (32) ได้รับการยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับแผงปกปิด ทางด้านข้าง (22) จะก่อรูปเป็นช่องเปิดที่ถูกทำขึ้นในบริเวณเฉพาะที่อยู่ในคานรองรับ (54) ที่ซึ่งแผง ปกปิดทางด้านข้าง (22) ถูกติดเข้าไป และแขนเหวี่ยง (32) จะรองรับหมุด (55) ไว้ในความสัมพันธ์ ที่สอดคล้องกันซึ่งได้รับการเชื่อมต่อเข้าไปในรังดุม (34)5. The cover conforming to claim 4 is of a special nature in which buttonholes (34) of an arrangement similar to buttonholes (33) in which swing arms (32) are interlocked with each other to the side cover panel (22) form an opening made in a specific area in the support beam (54) in which the side cover panel (22) is attached and the swing arm (32) supports the pins (55) in a corresponding relationship which are connected into buttonholes (34). 6. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง คานรองรับ (54) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองจะขยายออกไปอย่างน้อยในส่วนหนึ่งที่อยู่ บนด้านที่หนึ่งของฐาน (24) และแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ที่สอดคล้องกันจะขยายออกไปอย่าง น้อยเป็นบางส่วนออกจากอีกด้านหนึ่งของฐาน (24) ดังกล่าว6. The covering conforming to claim 4 is of the special nature that the supporting beams (54) of each of the two side covering panels (22) extend at least partially onto one side of the base (24) and the corresponding side covering panel (22) extend at least partially off the other side of such base (24). 7. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง สำหรับการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอ ของสารเคลือบบนแผ่นฐาน ที่ภายในตัวมันจะมีส่วนรองรับ (12) ที่สามารถหมุนได้ ที่มีตำแหน่ง ต่างๆ (14)ซึ่งแต่ละตำแหน่งได้รับการดัดแปลงเพื่อให้รับแผ่นฐาน (10)ที่จะได้รับการปฏิบัติบำรุง, แหล่งของอีมิตเตอร์ (13) ที่ซึ่งวัสดุที่จะถูกทับถมกันจากบริเวณนั้น ถูกทำให้กลายเป็นไอ และสิ่งปิด บัง (16) ที่ปฏิบัติงานอยู่ระหว่างส่วนรองรับ(12) และแหล่งของอีมิตเตอร์ (13) โดยมีลักษณะ พิเศษ ที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) จะเป็นสิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 27. Enclosure for maintenance operation for vaporization of the substrate coating on the substrate plate, which contains a rotating support (12) with different positions (14), each position modified to receive the substrate plate (10) to be maintained, an emitter source (13) from which the material to be vaporized, and a cover (16) operating between the support (12) and the emitter source (13), with the special characteristic that the cover (16) is a cover conforming to claim 2. 8. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) มีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับส่วนรองรับ (12)8. The enclosure for maintenance operations consistent with claim 7 is of a special nature in which the enclosure (16) is essentially parallel to the support (12). 9. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 8 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งแกนเครื่องมือ (P) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ของมันจะอยู่ห่างจาก แกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12) เป็นระยะที่ไกลกว่าพื้นที่ซึ่งตัวขับเร้าร่วมกัน (23) ของพวก มันกระทำอยู่บนตัวพวกมัน9. The enclosures for maintenance operations in accordance with claim 8 are of a special nature in which the instrument axis (P) of each panel of its side cover (22) is located at a greater distance from the rotation axis (A) of the support (12) than the area on which their common actuators (23) act on them. 10. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) ขยายออกไปในลักษณะของคานยื่นจากส่วนยึดติด (20) ที่ถูกยึดอยู่กับที่ซึ่ง อยู่รอบแกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12)10. The enclosure for maintenance operations in accordance with claim 3 is of a special nature in which the enclosure (16) extends in the form of cantilever beams from the fixed attachment (20) which is positioned around the axis of rotation (A) of the support (12). 11. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงของสิ่งปิดบัง (16) สามารถเข้าถึงได้จากภายนอก11. The enclosure for maintenance operations in accordance with claim 7 is of a special nature in which the actuator (23), shared with the side cover panels (22), of both panels of the enclosure (16) is accessible from the outside. 12. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 11 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิดทาง ด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงมีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับฐาน (24)12. The covering conforming to claim 11 is characterized by the fact that both side covering panels (22) are characterized by their importance being parallel to the base (24). 13. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 12 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้นแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสซึ่งกันและกันอย่างน้อยในบริเวณที่ เฉพาะที่13. The covering conforming to claim 12 is of the special nature in which the covering positions are such that the two side covering panels (22) are in contact with each other at least in specific areas. 14.สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 13 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้น แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสกันเฉพาะที่จุดหนึ่ง ในพื้นที่ของมุม (62) และช่องห่าง (E) ที่อยู่ระหว่างพวกมันก็จะมีขอบโดยรอบ โดยรวมทั้งหมดเป็นรูปสามเหลี่ยม ในภาพรวม14. The covering conforming to claim 13 is of the special nature in which the two side covering panels (22) touch only at one point in the area of the corner (62), and the space (E) between them is bordered all around, forming a triangle in total. 15. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง มันมีระนาบ สมมาตรที่สัมพันธ์กับการที่แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะเคลื่อนที่ได้โดยสัมพันธ์ซึ่ง กันและกันในทิศตรงกันข้าม15. The covering conforming to claim 1 is of the kind in which it has a plane of symmetry with respect to which the two side covering panels (22) move relative to each other in opposite directions. 16. วิธีการผลิตสารเคลือบแบบหลายระดับชั้นสำหรับการปฏิบัติบำรุงให้กับแผ่น ฐาน (10) ชุดหนึ่งโดยากรทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ ซึ่งเป็นชนิดที่แผ่นฐาน (10) ได้รับการจัด วางในสิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง เพื่อการทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ (11) ซึ่งบรรจุไว้ ด้วยสิ่งปิดบัง(16) โดยมีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) เป็นสิ่งปิดบังที่มีพื้นที่ผิวที่สามารถ เปลี่ยนแปลงได้ ในลักษณะที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 และพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16) ได้รับ การดัดแปรเพื่อทำเกิดการทับถมกันของระดับชั้นต่างๆแต่ละชั้น16. A method for fabricating a multilayer coating for maintenance of a set of base plates (10) by vacuum vaporization, in which the base plates (10) are placed in a vacuum vaporization maintenance enclosure (11) which contains a cover (16) of the characteristic that the cover (16) is a cover with a variable surface area in accordance with Requisition 1 and the surface area of the cover (16) is modified to create the deposition of individual layers. 17. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ เพื่อที่ว่าผลที่ได้ของการปฏิบัติบำรุงของแผ่นฐาน (10) นั้น จะเป็นการ ปฏิบัติบำรุงที่ต่อต้านการสะท้อน17. The process consistent with claim 16 is of a special nature in which the coating consists of different layers so that the result of the maintenance of the base plate (10) is an anti-reflective maintenance. 18. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ ที่เป็นวัสดุที่แตกต่างกันอย่างน้อยสองชั้น18. The process consistent with claim 16 is characterized by the coating consisting of at least two distinct layers of different materials. 19. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ได้รับความร้อนก่อนการทับถมของสารเคลือบ19. The process consistent with claim 16 is characterized by the base plate (10) being heated before the coating is deposited. 20. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) จะต้องผ่านการระดมยิ่งด้วยไอออนก่อนการทับถมของสารเคลือบ20. The procedure consistent with claim 16 is of a special nature in which the base plate (10) must be ion-boosted before the deposition of the coating. 21. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 20 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ความเข้มข้น ของการระดมยิงด้วยไอออนได้รับการปรับแต่งโดยการดัดแปรพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16)21. The procedure consistent with claim 20 is characterized by the concentration of the ion bombardment being optimized by modifying the surface area of the covering (16). 22. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง การทับถมของ สารเคลือบได้รับการช่วยเหลือจากการระดมยิงด้วยไอออน22. The process conforming to claim 16 is characterized by the fact that the deposition of the coating is aided by ion bombardment. 23. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิด (22) สองแผงสามารถเคลื่อนที่ได้23. The procedure consistent with claim 16 is characterized by the fact that two of the concealing panels (22) are movable. 24. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ที่ได้รับการปฏิบัติบำรุงเป็นเลนส์ที่ใช้กับดวงตา24. The procedure consistent with claim 16 is of a special nature in which the treated base plate (10) is used as an ophthalmic lens.
TH9901000404A 1999-02-11 Diffuse shroud for deposition by vacuum vaporization. TH21668C3 (en)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH40899A true TH40899A (en) 2000-10-25
TH40899A3 TH40899A3 (en) 2000-10-25
TH21668C3 TH21668C3 (en) 2007-03-30

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6063200A (en) Three-dimensional micro fabrication device for filamentary substrates
US20190341237A1 (en) Shutter mechanism for target, and film-forming device provided with same
JPH031378B2 (en)
JP2020506299A (en) Evaporation mask, OLED panel and system, and evaporation monitoring method
JP4267202B2 (en) Leveling mask used in vacuum deposition
DE112014003194B4 (en) Method for processing a sample in a device generating at least two particle beams and device for carrying out the method
JP2002505444A5 (en)
JP2019517623A5 (en)
JP2000275140A (en) Substrate-inspecting device
TWI819116B (en) Device with at least one adjustable sample holder and method of changing holder tilt angle and method of preparing a lamella
JPH09134894A (en) Apparatus and method for laser production by semiconductor bar cutting
TWI827905B (en) Magnetron sputtering coating device and working method
TH40899A3 (en) Diffuse shroud for deposition by vacuum vaporization.
TH21668C3 (en) Diffuse shroud for deposition by vacuum vaporization.
DE10145201C1 (en) Device for coating substrates having a curved surface contains a pair of rectangular magnetron sources and substrate holders arranged in an evacuated chamber
US2781282A (en) Method and apparatus for masking support bodies
US20110236601A1 (en) Method for Depositing a Material
TW201907028A (en) Film forming device, mask frame, alignment method
KR102750970B1 (en) Carrier for Substrate Processing Apparatus
US12270099B2 (en) Film-forming device, film-forming unit, and film-forming method
TWI849280B (en) Magnetron sputtering coating device and working method thereof
JPH07305167A (en) Sputtering equipment
KR102398067B1 (en) Electrostatic chuck
TWI397596B (en) Sputtering device and spiutering umbrella stand mask using the same
KR20220075618A (en) Evaporation apparatus with substrate fixing part