Claims (4)
1. สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกัน โดยการกลายเป็นไอของสาร เคลือบชนิดใดๆ บนแผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังรวมถึงแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) อย่างน้อย สองแผง ซึ่งอย่างน้อยที่สุดแผงหนึ่งของแผงปกปิดทางด้านข้างดังกล่าวสามารถเคลื่อนที่ได้ แผงปก ปิดทางด้านข้างดังกล่าวจะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญ และจะได้รับการหมุนรอบแกน ให้เข้ากับฐาน (24) เพื่อสร้างแผงปกปิดที่สามที่ถูกยึดอยู่กับที่ตามการหมุนรอบแกน ภายใต้การควบ คุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้ แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ดังกล่าวจะมีค่า น้อยที่สุด และตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด 2. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผง จะรวมถึงแขนเหวี่ยง (32) ซึ่งเคลื่อนที่ได้ บนฐาน (24) และซึ่งยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับบรรดาแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ผ่านการจัดเรียงที่ คล้ายกับรังดุม (33) ซึ่งรังดุม (34) ของมันมีลักษณะโดยรวมเป็นมุมเฉียงซึ่งกันและกัน 3. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ชิ้นส่วนกลาง ของแขนเหวี่ยง (32) ถูกยึดแน่นเข้ากับแป้นเกลียว (35) ซึ่งถูกยึดเกี่ยวระหว่างกับแท่งเกลียว (36) ที่ ได้รับการติดตั้งโดยสามารถหมุนได้บนฐาน(24) 4. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แต่ละแผงของ แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงถูกติดแบบถอดออกได้เข้ากับคานรองรับ (54) ซึ่งได้รับการ หมุนรอบแกนให้เข้ากับฐาน (24) และซึ่งตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันของพวกมันจะทำหน้าที่ผ่าน ทางส่วนนี้ 5. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง รังดุม (34) ของ การจัดเรียงที่คล้ายกับรังดุม(33) ที่ซึ่งแขนเหวี่ยง (32) ได้รับการยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับแผงปกปิด ทางด้านข้าง (22) จะก่อรูปเป็นช่องเปิดที่ถูกทำขึ้นในบริเวณเฉพาะที่อยู่ในคานรองรับ (54) ที่ซึ่งแผง ปกปิดทางด้านข้าง (22) ถูกติดเข้าไป และแขนเหวี่ยง (32) จะรองรับหมุด (55) ไว้ในความสัมพันธ์ ที่สอดคล้องกันซึ่งได้รับการเชื่อมต่อเข้าไปในรังดุม (34) 6. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง คานรองรับ (54) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองจะขยายออกไปอย่างน้อยในส่วนหนึ่งที่อยู่ บนด้านที่หนึ่งของฐาน (24) และแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ที่สอดคล้องกันจะขยายออกไปอย่าง น้อยเป็นบางส่วนออกจากอีกด้านหนึ่งของฐาน (24) ดังกล่าว 7. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง สำหรับการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอ ของสารเคลือบบนแผ่นฐาน ที่ภายในตัวมันจะมีส่วนรองรับ (12) ที่สามารถหมุนได้ ที่มีตำแหน่ง ต่างๆ (14)ซึ่งแต่ละตำแหน่งได้รับการดัดแปลงเพื่อให้รับแผ่นฐาน (10)ที่จะได้รับการปฏิบัติบำรุง, แหล่งของอีมิตเตอร์ (13) ที่ซึ่งวัสดุที่จะถูกทับถมกันจากบริเวณนั้น ถูกทำให้กลายเป็นไอ และสิ่งปิด บัง (16) ที่ปฏิบัติงานอยู่ระหว่างส่วนรองรับ(12) และแหล่งของอีมิตเตอร์ (13) โดยมีลักษณะ พิเศษ ที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) จะเป็นสิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 8. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) มีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับส่วนรองรับ (12) 9. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 8 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งแกนเครื่องมือ (P) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ของมันจะอยู่ห่างจาก แกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12) เป็นระยะที่ไกลกว่าพื้นที่ซึ่งตัวขับเร้าร่วมกัน (23) ของพวก มันกระทำอยู่บนตัวพวกมัน 1 0. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) ขยายออกไปในลักษณะของคานยื่นจากส่วนยึดติด (20) ที่ถูกยึดอยู่กับที่ซึ่ง อยู่รอบแกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12) 1 1. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงของสิ่งปิดบัง (16) สามารถเข้าถึงได้จากภายนอก 1 2. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 11 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิดทาง ด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงมีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับฐาน (24) 1 3. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 12 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้นแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสซึ่งกันและกันอย่างน้อยในบริเวณที่ เฉพาะที่ 1 4.สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 13 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้น แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสกันเฉพาะที่จุดหนึ่ง ในพื้นที่ของมุม (62) และช่องห่าง (E) ที่อยู่ระหว่างพวกมันก็จะมีขอบโดยรอบ โดยรวมทั้งหมดเป็นรูปสามเหลี่ยม ในภาพรวม 1 5. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง มันมีระนาบ สมมาตรที่สัมพันธ์กับการที่แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะเคลื่อนที่ได้โดยสัมพันธ์ซึ่ง กันและกันในทิศตรงกันข้าม 1 6. วิธีการผลิตสารเคลือบแบบหลายระดับชั้นสำหรับการปฏิบัติบำรุงให้กับแผ่น ฐาน (10) ชุดหนึ่งโดยากรทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ ซึ่งเป็นชนิดที่แผ่นฐาน (10) ได้รับการจัด วางในสิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง เพื่อการทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ (11) ซึ่งบรรจุไว้ ด้วยสิ่งปิดบัง(16) โดยมีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) เป็นสิ่งปิดบังที่มีพื้นที่ผิวที่สามารถ เปลี่ยนแปลงได้ ในลักษณะที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 และพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16) ได้รับ การดัดแปรเพื่อทำเกิดการทับถมกันของระดับชั้นต่างๆแต่ละชั้น 1 7. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ เพื่อที่ว่าผลที่ได้ของการปฏิบัติบำรุงของแผ่นฐาน (10) นั้น จะเป็นการ ปฏิบัติบำรุงที่ต่อต้านการสะท้อน 1 8. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ ที่เป็นวัสดุที่แตกต่างกันอย่างน้อยสองชั้น 1 9. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ได้รับความร้อนก่อนการทับถมของสารเคลือบ 2 0. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) จะต้องผ่านการระดมยิ่งด้วยไอออนก่อนการทับถมของสารเคลือบ 21. a cloak that is used in the overlay control By vaporization of a substance Any kind of coating On any type of base plate Where the concealment includes at least two side panels (22), at least one of the side panels can be moved, such side panels are co-planed. Each other is important And it gets rotated around the axis To the base (24) to form a third concealment panel fixed in accordance with the rotation around the axis under the control of the actuator that is used together (23) between positions at the far end. Two positions are closed together, where the gap (E) between the side panels (22) is minimal and the extended position, where the gap (E) is. Maximum value 2. The mask corresponding to claim 1 is characterized in that the actuator (23) is used in conjunction with the side concealment panel (22). ) Which is movable on the base (24) and interconnected with the side panels (22) through an arrangement that Similar to the buttonhole (33), its buttonholes (34) are characterized as a whole, obliquely to each other. 3. The shield corresponding to claim 2 has a special characteristic in which the center piece of the crank arm (32) is held tightly. It is attached to the nut (35), which is attached between the threaded rod (36) that is installed, which can be rotated on the base (24). 4. The shield corresponding to claim 2 has a special characteristic where Each of the two concealed side panels (22) is attached removable panels to the support beam (54), which are It rotates around the axis to the base (24), and where their shared exciter (23) acts through this section. 5. The obscure corresponding to claim 4 has a special characteristic where The buttonhole (34) of the buttonhole-like arrangement (33), where the crank arm (32) is intertwined with the side panel cover (22), forms an opening made in the The local area within the support beam (54), where the side concealment panels (22) are attached, and the crank arm (32) will support the pins (55) in the ties. Corresponding shield, which is connected into the buttonhole (34) 6. The shield corresponding to claim 4 is characterized by the support beam (54) of each panel of the side concealment panel (22), both Two are extended to at least partially address. On the first side of the base (24) and the corresponding side concealment panels (22) are extended as At least partially exiting the other side of the base (24) thereof. 7. Enclosures for maintenance practice. For depositing together by vaporization Of the coating on the base plate Inside it are rotatable supports (12) with different positions (14), each of which has been modified to accept the base plate. (10) to be maintained, source of emitter (13) where material to be deposited from that area It is vaporized and shield (16) operating between support (12) and emitter source (13), with a characteristic where the mask (16) will be the obscure corresponding to the clause. Clause 2. 8. The enclosures for maintenance practice in accordance with claim 7 are characterized in that the enclosures (16) have significant characteristics that are parallel to the supports (12). Perform maintenance in accordance with claim 8, there is a characteristic where the tool axis (P) of each panel of the concealed side panel (22) is away from the axis of rotation (A) of the support (12). It is farther than the area in which their co-stimulants (23) reside on them 1 0. The enclosures for maintenance practice in accordance with claim 3 are characterized by the presence of an obscure ( 16) extends as a cantilever from fixed elements (20) fixed in which It is located around the rotation axis (A) of the support (12) 1 1. The enclosures for maintenance practice in accordance with claim 7 are characterized in that the actuators (23) are used together with the concealment panel. On the sides (22), the two panels of the shield (16) are accessible from the outside 1 2. The shield, in accordance with claim 11, is unique in that the side panels (22) both have Main characteristics parallel to the base (24) 1 3. The obscure, corresponding to claim 12, has a special characteristic where Closed position The concealment panels on the sides (22) are exposed to each other at least in the specific area 1. 4. The shields corresponding to claim 13 have a special characteristic where: Closed position Come together then Concealed panels on the side (22). The two panels touch only at one point. In the area of the corner (62) and the gap (E) between them, there is a surrounding edge. Overall, all triangles are in overall shape 1. 5. The obscure corresponding to claim 1 is unique in that it has a plane of symmetry relative to the side concealment panels (22). In relation to which 1 6. Method for producing multilayer coatings for the treatment of a base plate (10), a vacuum vaporization dough. This is the type in which the base plate (10) is placed in the enclosures for maintenance practice. For vaporization in the vacuum (11) contained with a barrier (16), characterized by the presence of an obscure (16) with a surface area capable of Changeable In a manner consistent with claim 1, and the surface area of the obscure (16) has been modified to create the deposition of each layer 1 7.The process corresponding to claim 16 is characterized Special where coatings consist of different layers. So that the results of the maintenance of the base plate (10) are anti-reflective maintenance practices 1 8. The processes in accordance with claim 16 have special characteristics in which the coatings consist of different layers. 1 9. Process corresponding to claim 16 is characterized in that the baseboard (10) is heated prior to deposition of the coating. Clause 16 is characterized in that the baseplate (10) is subjected to ionization prior to deposition of the glaze 2.
1. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 20 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ความเข้มข้น ของการระดมยิงด้วยไอออนได้รับการปรับแต่งโดยการดัดแปรพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16) 21. A process consistent with claim 20 is characterized in that the ion bombardment intensity is adjusted by modifying the surface area of the obscure (16) 2.
2. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง การทับถมของ สารเคลือบได้รับการช่วยเหลือจากการระดมยิงด้วยไอออน 22. The process consistent with claim 16 is characterized in that deposition of coatings is assisted by ion bombardment 2.
3. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิด (22) สองแผงสามารถเคลื่อนที่ได้ 23. The process in accordance with claim 16 has a unique feature in which two concealed panels (22) can move 2.
4. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ที่ได้รับการปฏิบัติบำรุงเป็นเลนส์ที่ใช้กับดวงตา4. A process consistent with claim 16 is characterized by the fact that the base plate (10) is maintained as a lens applied to the eye.