TH21668C3 - สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ - Google Patents

สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ

Info

Publication number
TH21668C3
TH21668C3 TH9901000404A TH9901000404A TH21668C3 TH 21668 C3 TH21668 C3 TH 21668C3 TH 9901000404 A TH9901000404 A TH 9901000404A TH 9901000404 A TH9901000404 A TH 9901000404A TH 21668 C3 TH21668 C3 TH 21668C3
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
panels
shield
concealment
accordance
base
Prior art date
Application number
TH9901000404A
Other languages
English (en)
Other versions
TH40899A (th
TH40899A3 (th
Inventor
ไบเน็ท นายโอลิเวอร์
คอนเต นายโดมินิคิว
Original Assignee
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
นายธเนศ เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า, นายธเนศ เปเรร่า filed Critical นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
Publication of TH40899A publication Critical patent/TH40899A/th
Publication of TH40899A3 publication Critical patent/TH40899A3/th
Publication of TH21668C3 publication Critical patent/TH21668C3/th

Links

Abstract

DC60 (24/02/42) สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอของสารเคลือบชนิดใดๆ บน แผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังดังกล่าวเป็นชนิดที่รวมถึงแผงปกปิด (22) อย่างน้อยสองแผง ซึ่งแผง หนึ่งสามารถเคลื่อนที่ได้ โดยที่แผงปกปิด (22) ทั้งสองแผงซึ่งตั้งแต่นี้เป็นต้นไปจะถูกอ้างถึงเพื่อความ สะดวกเพียงว่าแผงปกปิดด้านข้างเท่านั้น จะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญและในลักษณะที่อยู่ ภายใต้การควบคุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) นั้น จะเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างตำแหน่งทั้งสองจะ มีค่าน้อยที่สุดและตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด การประดิษฐ์นี้จะ รวมถึงสารเคลือบต่างๆ ที่ต่อต้านการสะท้อนสำหรับเลนส์ที่ใช้กับดวงตา สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอของสารเคลือบชนิดใดๆ บน แผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังดังกล่าวเป็นชนิดที่รวมถึงแผงปกปิด (22) อย่างน้อยสองแผงซึ่งแผง หนึ่งสามารถเคลื่อนที่ได้ โดยที่แผงปกปิด (22) ทั้งสองแผงซึ่งตั้งแต่นี้เป็นต้นไปจะถูกอ้างถึงเพื่อความ สะดวกเพียงว่าแผงปกปิดด้านข้างเท่านั้น จะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญและในลักษณะที่อยู่ ภายใต้การควบคุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) นั้น จะเคลื่อนที่ได้อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้แก่ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างตำแหน่งทั้งสองจะ มีค่าน้อยที่สุดและตำแหน่งที่ขยายห่างกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด การประดิษฐ์นี้จะ รวมถึงสารเคลือบต่างๆ ที่ต่อต้านการสะท้อนสำหรับเลนส์ที่ใช้กับดวงตา

Claims (4)

1. สิ่งปิดบังที่ถูกใช้ในการควบคุมการทับถมกัน โดยการกลายเป็นไอของสาร เคลือบชนิดใดๆ บนแผ่นฐานชนิดใดๆ โดยที่สิ่งปิดบังรวมถึงแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) อย่างน้อย สองแผง ซึ่งอย่างน้อยที่สุดแผงหนึ่งของแผงปกปิดทางด้านข้างดังกล่าวสามารถเคลื่อนที่ได้ แผงปก ปิดทางด้านข้างดังกล่าวจะมีลักษณะที่อยู่ร่วมระนาบกันเป็นสำคัญ และจะได้รับการหมุนรอบแกน ให้เข้ากับฐาน (24) เพื่อสร้างแผงปกปิดที่สามที่ถูกยึดอยู่กับที่ตามการหมุนรอบแกน ภายใต้การควบ คุมของตัวขับเร้าที่ถูกใช้ร่วมกัน (23) อย่างต่อเนื่องระหว่างตำแหน่งที่ส่วนปลายสุดสองตำแหน่ง ได้ แก่ ตำแหน่งที่ปิดเข้าด้วยกันโดยที่ช่องว่าง (E) ระหว่างแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ดังกล่าวจะมีค่า น้อยที่สุด และตำแหน่งที่ขยายห่างออกจากกันโดยที่ช่องว่าง (E) จะมีค่ามากที่สุด 2. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผง จะรวมถึงแขนเหวี่ยง (32) ซึ่งเคลื่อนที่ได้ บนฐาน (24) และซึ่งยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับบรรดาแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ผ่านการจัดเรียงที่ คล้ายกับรังดุม (33) ซึ่งรังดุม (34) ของมันมีลักษณะโดยรวมเป็นมุมเฉียงซึ่งกันและกัน 3. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ชิ้นส่วนกลาง ของแขนเหวี่ยง (32) ถูกยึดแน่นเข้ากับแป้นเกลียว (35) ซึ่งถูกยึดเกี่ยวระหว่างกับแท่งเกลียว (36) ที่ ได้รับการติดตั้งโดยสามารถหมุนได้บนฐาน(24) 4. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แต่ละแผงของ แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงถูกติดแบบถอดออกได้เข้ากับคานรองรับ (54) ซึ่งได้รับการ หมุนรอบแกนให้เข้ากับฐาน (24) และซึ่งตัวขับเร้า (23) ที่ถูกใช้ร่วมกันของพวกมันจะทำหน้าที่ผ่าน ทางส่วนนี้ 5. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง รังดุม (34) ของ การจัดเรียงที่คล้ายกับรังดุม(33) ที่ซึ่งแขนเหวี่ยง (32) ได้รับการยึดเกี่ยวระหว่างกันไว้กับแผงปกปิด ทางด้านข้าง (22) จะก่อรูปเป็นช่องเปิดที่ถูกทำขึ้นในบริเวณเฉพาะที่อยู่ในคานรองรับ (54) ที่ซึ่งแผง ปกปิดทางด้านข้าง (22) ถูกติดเข้าไป และแขนเหวี่ยง (32) จะรองรับหมุด (55) ไว้ในความสัมพันธ์ ที่สอดคล้องกันซึ่งได้รับการเชื่อมต่อเข้าไปในรังดุม (34) 6. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 4 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง คานรองรับ (54) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองจะขยายออกไปอย่างน้อยในส่วนหนึ่งที่อยู่ บนด้านที่หนึ่งของฐาน (24) และแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ที่สอดคล้องกันจะขยายออกไปอย่าง น้อยเป็นบางส่วนออกจากอีกด้านหนึ่งของฐาน (24) ดังกล่าว 7. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง สำหรับการทับถมกันโดยการกลายเป็นไอ ของสารเคลือบบนแผ่นฐาน ที่ภายในตัวมันจะมีส่วนรองรับ (12) ที่สามารถหมุนได้ ที่มีตำแหน่ง ต่างๆ (14)ซึ่งแต่ละตำแหน่งได้รับการดัดแปลงเพื่อให้รับแผ่นฐาน (10)ที่จะได้รับการปฏิบัติบำรุง, แหล่งของอีมิตเตอร์ (13) ที่ซึ่งวัสดุที่จะถูกทับถมกันจากบริเวณนั้น ถูกทำให้กลายเป็นไอ และสิ่งปิด บัง (16) ที่ปฏิบัติงานอยู่ระหว่างส่วนรองรับ(12) และแหล่งของอีมิตเตอร์ (13) โดยมีลักษณะ พิเศษ ที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) จะเป็นสิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 2 8. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งสิ่งปิดบัง (16) มีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับส่วนรองรับ (12) 9. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 8 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่งแกนเครื่องมือ (P) ของแต่ละแผงของแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ของมันจะอยู่ห่างจาก แกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12) เป็นระยะที่ไกลกว่าพื้นที่ซึ่งตัวขับเร้าร่วมกัน (23) ของพวก มันกระทำอยู่บนตัวพวกมัน 1 0. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 3 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) ขยายออกไปในลักษณะของคานยื่นจากส่วนยึดติด (20) ที่ถูกยึดอยู่กับที่ซึ่ง อยู่รอบแกนการหมุน (A) ของส่วนรองรับ (12) 1 1. สิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุงที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 7 มีลักษณะ พิเศษที่ซึ่ง ตัวขับเร้า (23) ที่ใช้ร่วมกันกับแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงของสิ่งปิดบัง (16) สามารถเข้าถึงได้จากภายนอก 1 2. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 11 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิดทาง ด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงมีลักษณะโดยสำคัญที่ขนานกับฐาน (24) 1 3. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 12 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้นแผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสซึ่งกันและกันอย่างน้อยในบริเวณที่ เฉพาะที่ 1 4.สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 13 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ตำแหน่งที่ปิด เข้าหากันนั้น แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะสัมผัสกันเฉพาะที่จุดหนึ่ง ในพื้นที่ของมุม (62) และช่องห่าง (E) ที่อยู่ระหว่างพวกมันก็จะมีขอบโดยรอบ โดยรวมทั้งหมดเป็นรูปสามเหลี่ยม ในภาพรวม 1 5. สิ่งปิดบังที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง มันมีระนาบ สมมาตรที่สัมพันธ์กับการที่แผงปกปิดทางด้านข้าง (22) ทั้งสองแผงจะเคลื่อนที่ได้โดยสัมพันธ์ซึ่ง กันและกันในทิศตรงกันข้าม 1 6. วิธีการผลิตสารเคลือบแบบหลายระดับชั้นสำหรับการปฏิบัติบำรุงให้กับแผ่น ฐาน (10) ชุดหนึ่งโดยากรทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ ซึ่งเป็นชนิดที่แผ่นฐาน (10) ได้รับการจัด วางในสิ่งปิดล้อมสำหรับการปฏิบัติบำรุง เพื่อการทำให้กลายเป็นไอในสุญญากาศ (11) ซึ่งบรรจุไว้ ด้วยสิ่งปิดบัง(16) โดยมีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สิ่งปิดบัง (16) เป็นสิ่งปิดบังที่มีพื้นที่ผิวที่สามารถ เปลี่ยนแปลงได้ ในลักษณะที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 1 และพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16) ได้รับ การดัดแปรเพื่อทำเกิดการทับถมกันของระดับชั้นต่างๆแต่ละชั้น 1 7. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ เพื่อที่ว่าผลที่ได้ของการปฏิบัติบำรุงของแผ่นฐาน (10) นั้น จะเป็นการ ปฏิบัติบำรุงที่ต่อต้านการสะท้อน 1 8. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง สารเคลือบ ประกอบด้วยระดับชั้นต่างๆ ที่เป็นวัสดุที่แตกต่างกันอย่างน้อยสองชั้น 1 9. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ได้รับความร้อนก่อนการทับถมของสารเคลือบ 2 0. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) จะต้องผ่านการระดมยิ่งด้วยไอออนก่อนการทับถมของสารเคลือบ 2
1. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 20 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง ความเข้มข้น ของการระดมยิงด้วยไอออนได้รับการปรับแต่งโดยการดัดแปรพื้นที่ผิวของสิ่งปิดบัง (16) 2
2. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง การทับถมของ สารเคลือบได้รับการช่วยเหลือจากการระดมยิงด้วยไอออน 2
3. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผงปกปิด (22) สองแผงสามารถเคลื่อนที่ได้ 2
4. กรรมวิธีที่สอดคล้องกับข้อถือสิทธิข้อ 16 มีลักษณะพิเศษที่ซึ่ง แผ่นฐาน (10) ที่ได้รับการปฏิบัติบำรุงเป็นเลนส์ที่ใช้กับดวงตา
TH9901000404A 1999-02-11 สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ TH21668C3 (th)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH40899A TH40899A (th) 2000-10-25
TH40899A3 TH40899A3 (th) 2000-10-25
TH21668C3 true TH21668C3 (th) 2007-03-30

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20190341237A1 (en) Shutter mechanism for target, and film-forming device provided with same
CN109306448A (zh) 掩膜组件、蒸镀装置、蒸镀方法、阵列基板及显示面板
US8347814B2 (en) Method and apparatus for coating a curved surface
JP2019081949A (ja) 蒸発源装置、成膜装置、成膜方法、および、電子デバイスの製造方法
JP2020506299A (ja) 蒸着マスク、oledパネル及びシステム並びに蒸着監視方法
TW201945561A (zh) 成膜裝置及成膜方法
US20210140035A1 (en) Compound Motion Vacuum Environment Deposition Source Shutter Mechanism
CN109371369A (zh) 蒸镀腔结构及遮挡板结构
TH40899A3 (th) สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ
US6375747B1 (en) Distribution mask for depositing by vacuum evaporation
TWI696717B (zh) 用於以脈衝雷射沉積沉積材料之裝置及以該裝置沉積材料之方法
JP2018525838A5 (th)
US11911811B2 (en) Apparatus for cleaning deposition mask and method of cleaning deposition mask
CN109844169A (zh) 材料沉积布置、真空沉积系统及其方法
CN105755433B (zh) 一种薄膜蒸镀方法及装置
TWI725319B (zh) 掩模組件
JP2002505444A5 (th)
TWI737264B (zh) 基板兩側面部蒸鍍裝置
TH40899A (th) สิ่งปิดบังเพื่อการกระจายออกสำหรับทำการทับถมโดยการกลายเป็นไอในสูญญากาศ
KR101984345B1 (ko) 유기소자 생산용 면증발원을 구비한 면증발 증착장치
WO2016156649A1 (es) Elemento fungible para bombardeo con partículas, conjunto de dispositivo de bombardeo con partículas y elemento fungible y procedimiento de determinación del patrón de grabado por bombardeo de partículas de un blanco
JPS61288064A (ja) イオンビ−ムアシスト成膜装置
JPH0382757A (ja) 薄膜作製装置
CN222990189U (zh) 用于防镀膜遮掩对位标的治具
JP2890686B2 (ja) レーザ・スパッタリング装置