TH39595B - สารผสมเพื่อการทำให้หลุดลอกและเพื่อการทำความสะอาดสำหรับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ - Google Patents

Abstract

DC60 (13/02/47) สารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างและวิธีการของการใช้สารผสมเพื่อการทำความ สะอาดสำหรับการทำความสะอาดซับสเทรทของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โดยจำเพาะเจาะจง ซับสเทรท ของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของ FPD ซึ่งสารผสมสามารถที่จะทำความสะอาดซับสเทรทดังกล่าวอย่าง สมบูรณ์อย่างเป็นสาระสำคัญ และไม่ทำให้เกิดการกัดกร่อนของโลหะของชิ้นส่วนโลหะของ ซับสเทรทดังกล่าวอย่างเป็นสาระสำคัญ สารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างของการประดิษฐ์นี้มี (a) อะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิก (b) กรดแก่ปานกลางถึงอ่อนซึ่งมีความแรงที่แสดงออกมาดังที่เป็น "pKa" สำหรับค่าคงที่ของการละลายในสารละลายแอคเควียสจากประมาณ 1.2 ถึงประมาณ 8 (c) สาร ประกอบซึ่งได้รับการคัดเลือกจากอะลิฟาทิกแอลกอฮอล์ ไดออล พอลิออล หรืออะลิฟาทิกไกลคอล อีเธอร์ และ (d) ตัวทำละลายร่วมอินทรีย์ซึ่งถ้าจะให้ดีแล้วควรมีพารามิเตอร์ของสภาพละลายได้จาก ประมาณ 8 ถึงประมาณ 15 สารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างของการประดิษฐ์นี้จะมีปริมาณ ของกรดอ่อน ในลักษณะที่ทำให้อัตราส่วนโดยโมลสมมูลของหมู่กรดต่อหมู่อะมีนมากกว่า .75 และ อาจมีช่วงพิสัยจนกระทั่งถึง และมากกว่าอัตราส่วนที่เท่ากับ 1 ดังตัวอย่างเช่น อัตราส่วนที่เท่ากับ 1.02 หรือมากกว่านั้น พีเอชของสารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างของการประดิษฐ์นี้จะเป็นจาก ประมาณพีเอช 4.5 ถึง 9.5 สารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างและวิธีการของการใช้สารผสมเพื่อการทำความ สะอาดสำหรับการทำความสะอาดซับสเทรทของไมโครอิลเทอนิกส์ โดยจำเพาะเจาะจง ซับสเทรท ของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของ FPD ซึ่งสารผสมสามารถที่จะทำความสะอาดซับสเทรทดังกล่าวอย่าง สมบูรณ์อย่างเป็นสาระสำคัญ และไม่ทำให้เกิดการกัดกร่อนของโลหะของชิ้นส่วนโลหะของ ซับสเทรทดังกล่าวอย่างเป็นสาระสำคัญ สารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างของการประดิษฐ์นี้มี (a) อะมีนชนิวคลีโอฟิลิก (b) กรดแก่ปานกลางถึงอ่อนซึ่งมีความแรงที่แสดงออกมาดังที่เป็น "pKa" สำหรับค่าคงที่ของการละลายในสารละลายแอคเควียสจากประมาณ 1.2 ถึงประมาณ 8 (c) สาร ประกอบซึ่งได้รับการคัดเลือกจากอะลิฟาทิกแอลกอฮอล์ ไดออล พอลิออล หรืออะลิฟาทิกไกลคอล อีเธอร์ และ (d) ตัวทำละลายร่วมอินทรีย์ซึ่งถ้าจะให้ดีแล้วควรมีพารามิเตอร์ของสภาพละลายได้จาก ประมาณ 8 ถึงประมาณ 15 สารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างของการประดิษฐ์นี้จะมีปริมาณ ของกรดอ่อน ในลักษณะที่ทำให้อัตราส่วนโดยโมลสมมูลของหมู่กรดต่อหมู่อะมีนมากกว่า .75 และ อาจมีช่วงพิสัยจนกระทั่งถึง และมากกว่าอัตราส่วนที่เท่ากับ 1 ดังตัวอย่างเช่น อัตราส่วนที่เท่ากับ 1.02 หรือมากกว่านั้น พีเอชของสารผสมเพื่อการทำความสะอาดที่มีด่างของการประดิษฐ์นี้จะเป็นจาก ประมาณพีเอช 4.5 ถึง 9.5

Claims (6)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : 1. สารผสมชนิดนอน-แอคเควียสสำหรับการทำความสะอาดซับสเทรทของไมโคร อิเล็กทรอนิกส์ซึ่งประกอบรวมด้วยส่วนประกอบต่อไปนี้ (a) อะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิก (b) กรดแก่ปานกลางถึงอ่อนซึ่งมีความแรงที่แสดงออกมาดังที่เป็น "pKa" สำหรับค่าคงที่ของ การละลายในสารละลายแอคเควียสจาก 1.2 ถึง 8 (c) สารประกอบซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยอะลิฟาทิกแอลกอฮอล์, อะลิฟาทิก ไดออล, อะลิฟาทิก พอลิออล หรืออะลิฟาทิกไกลคอลอีเธอร์ และ (d) ตัวทำละลายร่วมอินทรีย์ และส่วนประกอบชนิดกรดอ่อน (b) มีอยู่ในสารผสมในปริมาณที่ทำให้อัตราส่วนโดยโมล สมมูลของกรด/อะมีนมากกว่า 0.75 และพีเอชของสารผสมเป็นจากพีเอช 4.5 ถึง 9.5 ที่ซึ่ง ส่วนประกอบ (d) คือสารประกอบชนิดอื่นนอกจากส่วนประกอบ (a)-(c) 2. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ซึ่งประกอบรวมด้วยส่วนประกอบ (a) จาก 1% ถึง 50% ส่วนประกอบ (c) จาก 20% ถึง 60% และส่วนประกอบ (d) จาก 20% ถึง 80% ซึ่งอัตราร้อยละเป็น% โดยน้ำหนักโดยมีพื้นฐานอยู่บนน้ำหนักทั้งหมดของสารผสม 3. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งส่วนประกอบชนิดอะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิกเป็นอะมีน อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วย 1-อะมิโน-2-โพรพานอล, 2-(2-อะมิโนเอธอกซี)เอธานอล, 2-อะมิโนเอธานอล, 2-(2-อะมิโนเอธิลเอมิโน) เอธานอล, 2-(2-อะมิโนเอธิลอะมิโน)เอธิลแอมีน, ไดเอธานอลแอมีน และไตรเอธานอลแอมีน 4. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (c) เป็นสารประกอบอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยไอโซโพรพานอล, บิวทานอล, เอธิลีนไกลคอล, ไดเอธิลีนไกลคอล, ไตรเอธิลีนไกลคอล, พอลิเอธิลีนไกลคอล, โพรพิลีนไกลคอล, ไดโพรพิลีนไกลคอล, ไตรโพรพิลีนไกลคอล, 1,3-โพรเพนไดออล, 2-เมธิล-1,3-โพรเพนไดออล, 2-บิวทีน-1,4-ไดออล, 2-เมธิล-2,4-เพนเทนไดออล, เฮกเซนไดออล, กลีเซอรอล, เอธิลีนไกลคอล- มอโนเมธิลอีเธอร์, ไดเอธิลีนไกลคอลมอโนเมธิลอีเธอร์, โพรพิลีนไกลคอลไดเมธิลอีเธอร์ และ 2-(2-บิวทซีเอธอกซี)-เอธานอล 5. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งตัวทำละลายร่วมอินทรีย์เป็นตัวทำละลายร่วมอินทรีย์ ที่มีพารามิเตอร์ของสภาพละลายได้จาก 8 ถึง 15 (Mpa)1/2 6. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 5 ที่ซึ่งตัวทำละลายร่วมอินทรีย์เป็นสารประกอบอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วย 2-ไพร์โรลิดิโนน, 1-เมธิล-2- ไพร์โรลิดิโนน, 1-เอธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, 1-โพรพิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, 1-ไฮดรอกซีเอธิล-2- ไพร์โรลิดิโนน, ไดแอลคิลซัลโฟน, ไดเมธิลซัลฟอกไซด์, เตตระไฮโดรไธโอฟีน-1-,1-ไดออกไซด์, ไดเมธิลอะซีทามีด และไดเมธิลฟอร์มามีด 7. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 6 ที่ซึ่งตัวทำละลายร่วมได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบ ด้วยซัลโฟเลน และ1-เมธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, อะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิกได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ ประกอบด้วยมอโนเอธานอลแอมีนและ 1-อะมิโน-2-โพรพานอล, ส่วนประกอบ (c) ได้รับการ คัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยเอธิลีนไกลคอล, โพรพิลีนไกลคอล, 2-เมธิล-2,4-เพนเทนไดออล, กลีเซอรอล, 2-บิวทีน-1,4-ไดออล, ไอโซโพรพานอล และ 2-(2-บิวทอกซีเอธอกซี)เอธานอล 8. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งส่วนประกอบชนิดกรด (b) เป็นกรดอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิดซึ่งมีค่า pKa จาก 2 ถึง 5 9. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งส่วนประกอบชนิดกรด (b) เป็นกรดอย่างน้อยที่สุด หนึ่งชนิดซึ่งมีค่า pKa จาก 2 ถึง 5 1 0. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (b) ประกอบรวมด้วยกรดอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยกรดอะซีทิก, กรดโพรพาโนอิก, กรดมาโลนิก, กรดฟีนิลอะซีทิก และกรดไฮโพฟอสฟอรัส 1 1. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 7 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (b) ประกอบรวมด้วยกรดอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยกรดอะซีทิก, กรดโพรพาโนอิก, กรดมาโลนิก, กรดฟีนิลอะซีทิก และกรดไฮโพฟอสฟอรัส 1 2. สารผสมตามข้อถือสิทธิข้อ 1 ที่ซึ่งอะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิกประกอบรวมด้วย มอโนเอธานอลแอมีน, ตัวทำละลายร่วมประกอบรวมด้วย 1-เมธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, สารประกอบ ของส่วนประกอบ (c) เป็นเอธิลีนไกลคอล และกรดของส่วนประกอบ (b) เป็นกรดอะซีทิก 1 3. กระบวนการสำหรับการทำความสะอาดซับสเทรทของไมโครอิเล็กทรอนิกส์โดยไม่มีการ ทำให้เกิดการกัดกร่อนของโลหะอย่างมีนัยสำคัญแบบใดแบบหนึ่ง ซึ่งซับสเทรทมีวัสดุพอลิเมอร์ของ สารไวแสง และโลหะ ซึ่งกระบวนการประกอบรวมด้วยการสัมผัสซับสเทรทด้วยสารผสมชนิด นอกแอคเควียสสำหรับการทำความสะอาดเป็นเวลานานมากเพียงพอที่จะทำความสะอาดซับสเทรท ที่ซึ่งสารผสมเพื่อการทำความสะอาดประกอบรวมด้วย (a) อะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิก (b) กรดแก่ปานกลางถึงอ่อนซึ่งมีความแรงที่แสดงออกมาดังที่เป็น "pKa" สำหรับค่าคงที่ของ การละลายในสารละลายแอคเควียสจาก 1.2 ถึง 8 (c) สารประกอบซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยอะลิฟาทิกแอลกอฮอล์, อะลิฟาทิก ไดออล, อะลิฟาทิกพอลิออล หรืออะมิฟาทิกไกลคอลอีเธอร์ และ (d) ตัวทำละลายร่วมอินทรีย์ และส่วนประกอบชนิดกรดอ่อน (b) มีอยู่ในสารผสมเพื่อการทำความสะอาดในปริมาณ ที่ทำให้อัตราส่วนโดยโมลสมมูลของกรด/อะมีนมากกว่า 0.75 และพีเอชของสารผสมเป็นจาก พีเอช 4.5 ถึง 9.5 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (d) คือสารประกอบชนิดอื่นนอกจากส่วนประกอบ (a)-(c) 1 4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งสารผสมเพื่อการทำความสะอาดประกอบรวมด้วย ส่วนประกอบ (a) จาก 1% ถึง 50%, ส่วนประกอบ (c) จาก 20% ถึง 60% และส่วนประกอบ (d) จาก 20% ถึง 80% ซึ่งอัตราร้อยละเป็น%โดยน้ำหนักโดยมีพื้นฐานอยู่บนน้ำหนักทั้งหมดของสารผสม 1 5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งส่วนประกอบชนิดอะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิก เป็นอะมีนอย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจาหมู่ที่ประกอบด้วย 1-อะมิโน-2- โพรพานอล, 2-(2-อะมิโนแอธอกซี)เอธานอล, 2-อะมิโนเอธานอล, 2-(2-อะมิโนเอธิลอะมิโน) เอธานอล, 2-(2-อะมิโนเอธิลอะมิโน)เอธิลแอมีน, ไดเอธานอลแอมีน และไตรเอธานอลแอมีน 1 6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (c) เป็นสารประกอบอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยไอโซโพรพานอล, บิวทานอล, เอธิลีน ไกลคอล, ไดเอธิลีนไกลคอล, ไตรเอธิลีนไกลคอล, พอลิเอธิลีนไกลคอล, โพรพิลีนไกลคอล, ไดโพรพิลีนไกลคอล, ไตรโพรพิลีนไกลคอล, 1,3-โพรเพนไดออล, 2-เมธิล-1,3-โพรเพนไดออล, 2-บิวทิล-1,4-ไดออล, 2-เมธิล-2,4-เพนเทนไดออล, เฮกเซนไดออล, กลีเซอรอล, เอธิลีนไกลคอล- มอโนเมธิลอีเธอร์, ไดเอธิลีนไกลคอลมอโนเมธิลอีเธอร์, โพรพิลีนไกลคอลไดเมธิลดีเธอร์ และ 2-(2-บิวทซีเอธอกซี)-เอธานอล 1 7. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งตัวทำละลายร่วมอินทรีย์เป็นตัวทำละลายร่วม อินทรีย์ที่มีพารามิเตอร์ของสภาพละลายได้จากประมาณ 8 ถึงประมาณ 15 (Mpa)1/2 1 8. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 17 ที่ซึ่งตัวทำละลายร่วมอินทรีย์เป็นสารประกอบ อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วย 2-ไพร์โรลิดิโนน, 1-เมธิล-2- ไพร์โรลิดิโนน, 1-เอธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, 1-โพรพิล-2-โพร์โรลิดิโนน, 1-ไฮดรอกซีเอธิล-2- ไพร์โรลิดิโนน, ไดแอลคิลซัลโฟน, ไดเมธิลซัลฟอกไซด์, เตตระไฮโดรไธโอฟีน-1-,1-ไดออกไซด์, ไดเมธิลอะซีทามีด และไดเมธิลฟอร์มามีด 1 9. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 18 ที่ซึ่งตัวทำละลายร่วมได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ ประกอบด้วยซัลโฟเลน และ 1-เมธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, อะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิกได้รับการคัดเลือก จากหมู่ที่ประกอบด้วยมอโนเอธานอลมีนและ 1-อะมิโน-2-โพรพานอล, ส่วนประกอบ (c) ได้รับ การคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยเอธิลีนไกลคอล, โพรพิลีนไกลคอล, 2-เมธิล-2,4เพนเทนไดออล, กลีเซอรอล, 2-บิวทีน-1,4-ไดออล, ไอโซโพรพานอล และ 2-(2-บิวทอกซีเอธอกซี)เอธานอล 2 0. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งส่วนประกอบชนิดกรด (b) เป็นกรดอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งมีค่า pKa จาก 2 ถึง 5 2

1. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ที่ซึ่งส่วนประกอบชนิดกรด (b) เป็นกรดอย่างน้อย ที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งมีค่า pKa จาก 2 ถึง 5 2

2. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (b) ประกอบรวมด้วยกรด อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยกรดอะซีทิก, กรดโพรพาโนอิก, กรดมาโลนิก, กรดฟีนิลอะซีทิก และกรดไฮโพฟอสฟอรัส 2

3. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 19 ที่ซึ่งส่วนประกอบ (b) ประกอบรวมด้วยกรด อย่างน้อยที่สุดหนึ่งชนิดซึ่งได้รับการคัดเลือกจากหมู่ที่ประกอบด้วยกรดอะซีทิก, กรดโพรพาโนอิก, กรดมาโลนิก, กรดฟีนิลอะซีทิก และกรดไฮโพฟอสฟอรัส 2

4. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งอะมีนชนิดนิวคลีโอฟิลิกประกอบรวมด้วย มอโนเอธานอลแอมีน, ตัวทำละลายร่วมประกอบรวมด้วย 1-เมธิล-2-ไพร์โรลิดิโนน, สารประกอบ ของส่วนประกอบ (c) เป็นเอธิลีนไกลคอล และกรดของส่วนประกอบ (b) เป็นกรดอะซีทิก 2

5. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 13 ที่ซึ่งซับสเทรทของไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เป็นซับสเทรทสำหรับส่วนแสดงผลแบบแผงแบนราบ 2

6. กระบวนการตามข้อถือสิทธิข้อ 25 ที่ซึ่งซับสเทรทมีชั้นของอะลูมินัม/นีโอดิเมียม