TH38273A3 - วิธีการสำหรับการผลิตสารเคลือบชนิดไดอิเล็กทริกต่ำจากไฮโดรเจนซิลซีสควิออกเซนเรซิน - Google Patents

วิธีการสำหรับการผลิตสารเคลือบชนิดไดอิเล็กทริกต่ำจากไฮโดรเจนซิลซีสควิออกเซนเรซิน

Info

Publication number
TH38273A3
TH38273A3 TH9901002386A TH9901002386A TH38273A3 TH 38273 A3 TH38273 A3 TH 38273A3 TH 9901002386 A TH9901002386 A TH 9901002386A TH 9901002386 A TH9901002386 A TH 9901002386A TH 38273 A3 TH38273 A3 TH 38273A3
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
resin
hydrogen
heating
film
low dielectric
Prior art date
Application number
TH9901002386A
Other languages
English (en)
Inventor
นิโคลัส เบรมเมอร์ นายเจฟฟรีย์
หลิว นายยูฟัน
Original Assignee
นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
นายธเนศ เปเรร่า
Filing date
Publication date
Application filed by นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า, นายธเนศ เปเรร่า filed Critical นายโรจน์วิทย์ เปเรร่า
Publication of TH38273A3 publication Critical patent/TH38273A3/th

Links

Abstract

DC60 (11/08/42) การประดิษฐ์นี้ได้อธิบายถึง วิธีการของการผลิต สารเคลือบไดอิเล็กทริกต่ำจาก ไฮโดรเจนซิลซีสคิวออกเซนเรซิน วิธีการดังกล่าว ประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ฟิล์มของไฮโดรเจน ซิลซีสคิวออกเซนเรซิน บนซับสเตรต และหลังจากนั้น ทำการบ่ม ฟิล์ม โดยการให้ความร้อนครั้งแรก ที่อุณหภูมิ 325 องศา เซลเซียส ถึง 350 องศาเซลเซียส และหลังจากนั้นให้ความร้อนที่อุณหภูมิ 400 องศาเซลเซียส ถึง 450 องศาเซลเซียส จน กระทั่งได้ความหนาแน่นพันธะของ SiH ที่ถูกทำให้เป็น กลาง เท่ากับ 50 ถึง 80% กรรมวิธีการของการบ่มเหล่านี้ โดยที่ น่าประหลาดใจ ได้ผลิตให้เกิดฟิล์ม ซึ่ง มีค่าคงที่ ไดอิ เล็กทริก ต่ำ และคุณสมบัติทางเชิงกลที่ดีเยี่ยม การประดิษฐ์นี้ได้อธิบายถึง วิธีการของการผลิต สารเคลือบไดอิเล็กทริกต่ำจาก ไฮโดรเจนซิลซีสควิออกเซนเรซิน วิธีการดังกล่าว ประกอบด้วยการประยุกต์ใช้ฟิล์มของไฮโดรเจน ซิลซีสคิวออกเซนเรซิน บนซับสเตรต และหลังจากนั้น ทำการบ่ม ฟิล์ม โดยการให้ความร้อนครั้งแรก ที่อุณหภูมิ 325 องศา เซลเซียส ถึง 350 องศาเซลเซียส และหลังจากนั้นให้ความร้อน ที่อุณหภูมิ 400 องศาเซลเซียส ถึง 450 องศาเซลเซียส จน กระทั่งได้ความหนาแน่นพันธะของ SiH ที่ถูกทำให้เป็น กลาง เท่ากับ 50 ถึง 80% กรรมวิธีการของการบ่มเหล่านี้ โดยที่ น่าประหลาดใจ ได้ผลิตให้เกิดฟิล์ม ซึ่ง มีค่าคงที่ ไดอิ เล็กทริก ต่ำ และคุณสมบัติทางเชิงกลที่ดีเยี่ยม

Claims (1)

1. วิธีการของการ ทำให้เกิดการเคลือบ ที่ไม่สามารถละลายได้บนซับสเตรต ที่ซึ่งวิธีการดังกล่าว ประกอบด้วย (A) การเคลือบซับสเตรต ด้วยองค์ประกอบ ของการเคลือบที่ ประกอบด้วย ไฮโดรเจนซิลซีสคิวออกเซนเรซิน (H-เรซิน) เพื่อ ทำให้เกิดเป็นการเคลือบที่ละลายได้บนซับสเตรต (B) ทำการให้ความร้อนครั้งแรกแก่ การเคลือบของ H-เรซิน ที่อุณหภูมิ 325 องศาเซลเซียส ถึง 350 องศาเซลเซียส เป็น คาบเวลานาน 15 นาที ถึง 1 ชั่วโมง (C) หลังจากนั้นทำการให้ความร้อน ที่อุณหภูมิ 400 องศา แท็ก :
TH9901002386A 1999-06-29 วิธีการสำหรับการผลิตสารเคลือบชนิดไดอิเล็กทริกต่ำจากไฮโดรเจนซิลซีสควิออกเซนเรซิน TH38273A3 (th)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TH38273A3 true TH38273A3 (th) 2000-04-28

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6660875B2 (ja) 熱可塑性物質をマイクロ波エネルギーで硬化させる方法
DE59910943D1 (de) Verfahren zur herstellung von pulverüberzügen
WO2000075975A3 (en) Low dielectric constant polyorganosilicon coatings generated from polycarbosilanes
ATE369624T1 (de) Verfahren zur hochtemperatur- kurzzeithärtung von materialen mit niedrieger dielektrizitätskonstante unter verwendung eines schnellen thermischen prozesses
TW200600557A (en) Composition for forming silica based coating film, silica based coating film and method for preparation thereof, and electronic parts
JP2016520417A5 (th)
PL371488A1 (en) Hot melt coating composition for film transfer and casting process
TW200641075A (en) Film, silica film and method of forming the same, composition for forming silica film, and electronic part
ATE305057T1 (de) Durch polymerabbau erhältliches nano-poröses material mit niedriger dielektrizitätskonstante
EP0971400A3 (en) Method for producing low dielectric coatings from hydrogen silsesquioxane resin
TW200721524A (en) Method of releasing high temperature films and/or devices from metallic substrates
Wang et al. The conversion of perhydropolysilazane into SiON films characterized by X‐ray photoelectron spectroscopy
KR940009312A (ko) 피복 연마품 및 그 제조 방법
EP1375595A4 (en) PRECURSOR SOLUTION OF POLYIMIDE RESINS, LAMINATES FOR ELECTRONIC COMPONENTS MADE THEREFROM, AND PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
KR960022871A (ko) 복합 전자 피막
DK1399271T3 (da) Fremgangsmåde til coating af substrater
EP0883165A3 (en) Method for producing thick crack-free coatings from hydrogen silsesquioxane resin
TH38273A3 (th) วิธีการสำหรับการผลิตสารเคลือบชนิดไดอิเล็กทริกต่ำจากไฮโดรเจนซิลซีสควิออกเซนเรซิน
ATE366146T1 (de) Verfahren zum beschichten von substraten
EP0917184A3 (en) Electronic coatings having low dielectric constant
EP0899780A3 (en) Method for forming insulating thin films
TW200513510A (en) High-temperature resistance adhesive tape and fabrication method thereof
KR20170050165A (ko) 실리카 막의 제조방법, 실리카 막 및 전자소자
ATE373059T1 (de) Verfahren zur mehrschichtbeschichtung von substraten
KR101573137B1 (ko) 전기기기 표면보호용 세라믹코팅제