Claims (3)
1. วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปดิคอลซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของ การปรับแต่งแกนออปติคอล ของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ถูกเปล่งลำแสงจากหน่วยลำแสงอ้างอิงก่อนทำ ให้สอดคล้องกับที่ส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าว โดยการปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวไปยังสวนประกอบออปติคอลดังกล่าว ขั้นตอนการปรับแต่งดังกล่าวประกอบด้วย ขั้นตอนของ การใส่หน่วยตรวจจับแกนออปติคอลลงไปในตำแหน่งที่หนึ่งในแกน ออปติคอลของหนวยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง การแปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงออกมาจาก ออสซิลเลเตอร์ของแสงเลเซอร์ ที่ถูกนำมารวมเข้าไว้ในหน่วยของลำแสงเลเซอร์ ของหน่วยของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าว การหมุนหน่วยของลำแสงเลเซอร์ดังกล่าวเพื่อตรวจหาตำแหน่งของ แกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงผ่านหน่วยตรวจจบแกนออปติคอลดังกล่าว โดยการ ปรับแต่งหน่วยลำแสงเลเซอร์ดังกล่าและ การใส่หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวลงไปในตำแหน่งที่สองซึ่ง แตกต่างไปจากตำแหน่งที่หนึ่งในแกนออฟติคอลของหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง การเปล่ง ลำแสงเลเซอร์อ้างออกออกมาจากออสซิลเลเตอร์ของแสงเลเซอร์ดังกล่าว , การหมุนหน่วย ลำแสงเลเซอร์ ดังกล่าวเพื่อตรวจหาตำแหน่งของแกนออกติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงผ่านหน่วย ตรวจจับดังแกนออปติคอลดังกล่าว โดยการปรับแต่งหน่วยลำแสงเลเซอร์ดังกล่าว ; และ 2. วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปดิคอลซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนต่าง ๆ ดังนี้: การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้ไปยัง ส่วนประกอบทางออปติคอลและการปล่อยลำแสงที่สะท้อนออกมาจากส่วนประกอบทางออปติคอล ดังกล่าวไปยังหน่วยแกนออปติคอล การส่งลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวผ่านรู แต่ละรูซึ่งถูกกำหนดขอบเขต ไว้ในเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองตามลำดับ ถูกติดตั้งไว้บนหน่วยของแกนออปติคอล ดังกล่าวและถูกเว้นระยะห่างออกจากซึ่งกันและกันเป็นระยะตามที่กำหนดและการตัดสินว่า ลำแสงสะท้อนออกมาดังกล่าวถูกตรวจพบบนอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าหรือไม่ และ การปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าวอย่างน้อยตามตำแหน่ง หรือมุมหากไม่มีการตรวจพบลำแสงที่สะท้อนออกมาบนอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าดังกล่าว 3.วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 2 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวไปยังหน่วยตรวจจับแกน ออปติคอล ที่ถูกจัดให้อยู่ร่วมกับอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าและการตรวจหาตำแหน่งของแกน ออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว 4. วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของ การใส่หน่วยตรวจจับแกนออปจิตอล ลงไประหว่างหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง เพื่อเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้และส่วนประกอบทางออปติคอลซึ่งมี การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวและการ ตรวจหาตำแหน่งที่หนึ่งตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; การชักหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว กลับคืนจากวิถีทางออปติคอล หลังจากนั้น ก็จะเป็นการนำลำแสงที่สะท้อนออกมาที่ถูกสร้างขึ้นมาจากส่วนประกอบทาง ออปติคอลเมื่อลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวถูกปล่อยไปยังส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าว เข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล และการตรวจหาตำแหน่งแกนออปติคอลที่สอง ของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว ; และ การปรับตำแหน่งให้กับส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าวเพื่อให้ตำแหน่ง แกนออปติคอลที่หนึ่งดังกล่าวและตำแหน่งแกนออปติคอลที่สองดังกล่าวที่มีลักษณะเป็นแนวตรงกัน 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 4 ประกอบเพิ่มเตอมด้วยขั้นตอนของ การหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอลของหน่วยตรวจจับแกน ออปติคอลดังกล่าว รอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว และ การกำหนดตำแหน่งให้หน่วยตรวจจับแอนออปติคอลดังกล่าวอยู่ในลักษณะที่ตำแหน่งแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวถูกปล่อยไปยังพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกน ออปติคอล ดังกล่าวจะไม่เปลี่ยนแปลง 6. วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลซึ่งประกอบด้วยขั้นตอนของ: การนำลำแสงที่สะท้อนอกมาซึ่งเกิดขึ้นจากส่วนประกอบทางออปติคอล เมื่อลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้ถูกปล่อยไปยังส่วนประกอบทาง ออปติคอลดังกล่าวเข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล และการตรวจหาตำแหน่งแกนออปติคอล ที่หนึ่งของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; การเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวซึ่งหลังจากนั้นก็จะมีการปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวไปยังส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าวซึ่งจะมีการนำลำแสงที่สะท้อนออกมาจาก ส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าวเข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล และการ ตรวจหาตำแหน่งแกนออปติคอลที่สองของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; และ การปรับตำแหน่งให้กับส่วนประกอบทางออปติคอลดังกล่าวเพื่อให้ตำแหน่ง แกนออปติคอลดังกล่าวและตำแหน่งตามแกนออปติคอลที่สองดังกล่าวที่มีลักษณะเป็น แนวตรงกัน 7.วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 6 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอลของหน่วยตรวจจับแกน ออปติคอล ดังกล่าวรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและ การกำหนดตำแหน่งให้หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวอยู่ในลักษณะที่ตำแหน่งของแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวถูกปล่อยไปยังพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกน ออปติคอลดังกล่าวจะไม่เปลี่ยนแปลง 8. การปรับแต่งส่วนประกอบทางออปดิคอลที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ: การย้ายหรือการเอียงหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง เพื่อเปล่งลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้ไปตามแกนออปติคอลดังกล่าวและการปล่อย ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวจากหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวไปยังกระจกเงาที่ไม่ เป็นระนาบในฐานเป็นส่วนประกอบทางออปติคอล; การปล่อยลำแสงที่สะท้อนออกมาจากกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบ ซึ่ง ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวถูกปล่อยไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล และ การเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและการกำหนดตำแหน่งเมื่อมีการเคลื่อนย้ายแกน ออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวที่ถูกตรวจพบโดยหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว น้อยที่สุดให้เป็นจุดโฟกัสของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังกระจกเงาทีไม่เป็นระนาบ ซึ่ง กระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบเป็นกระจกเงารูปพาราโบราดังกล่าว การนำลำแสงที่สะท้อนออกมาจาก กระจกเงารูปพาราโบลา ดังกล่าวเข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวและการหมุน พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปปคิคอลของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวโดยรอบแกนที่ตั้ง ฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 1 0.วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบ ซึ่ง กระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบเป็นกระจกเงารุปพาราโบลา การนำลำแสงที่สะท้อนออกมาจาก กระจกเงารูปพาราโบลา ดังกล่าวเข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว และการหมุน พ้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของหน่วยตรวจจับแแกนออปติคอล ดังกล่าวโดยรอบแกน ที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว; การตัดสินว่าตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูก ปล่อยไปยังพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวนั้นแตกต่างไปจากเดิมหรือไม่; หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวแตกต่างไป จากเดิม ก็จะมีการเคลื่อนย้ายจุดศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว; หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไม่ได้แตกต่าง ไปจากเดิม ก็จะมีการย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและตัดสินว่าตำแหน่งของแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูกปล่อยไปกระทบกับพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกน ออปติคอล นั้น แตกต่างไปจากเดิมหรือไม่; หากตำแหน่งของแกนออปติอคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวแตกต่างไป จากเดิมในขณะที่ย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ก็จะมีการเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับ แกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลดังกล่าว; และ การกำหนดตำแหน่งของพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอลดังกล่าว ให้ เป็นจุดโฟกัสของกระจกเงารูปพาราโบลาโดยที่ตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวไม่ได้แตกต่างไปจากเดิม 11. A method of adjusting optical components, which consists of a procedure of Optical axis adjustment Of the reference laser beam being emitted from the reference beam unit before In accordance with the above optical components By emitting a reference laser beam Above to the above optical assembly The refinement process consists of the process of inserting the optical axis detecting unit into position on one of the axes. Optical unit of reference laser beam Beaming the reference laser beam from Laser oscillator The laser beam is included in the laser beam unit of the reference laser beam unit, rotating the laser beam unit to determine the position of the laser beam. The optical axis of the referenced laser beam through the optical axis endpoint unit by modulating the laser beam unit as and Inserting the optical axis detection unit As mentioned in the second position which Different from the position on one of the optical axis of the reference laser beam unit, the laser beam emitted from the oscillator of such laser beam, rotating the laser beam unit to detect The position of the optical axis of the laser beam is referenced through the unit. Detects the above optical axis By modulating such laser beam units; And 2. An optical component modulation method, which consists of the following steps: emission of reference laser beam. That has an optical axis set to Optical components and the emission of light beams reflected by optical components. As mentioned to the optical axis unit. The beam of light reflected through the hole Each hole, which is bounded They are placed in the first and second smaller plates, respectively. Is installed on the optical axis unit. And are spaced from each other at a specified distance and the judgment Whether the reflected beam is detected on the measuring instrument and at least the adjustment of the optical component according to the position. Or angle, if the reflected beam is not detected on the measuring instrument. 3. Method according to claim 2 consists of additional procedures of Emission of the reflected light beam to the optical axis detecting unit is co-located with the measuring and axis position detection equipment. 4. The method of adjusting the optical components, which consists of the steps of the reflected beam. Inserting the optical axis detection unit Down between the units of the reference laser beam To emit a reference laser beam that has a fixed optical axis and an optical component with Emission of the reference laser beam to the optical axis detecting unit. Such and Detect the first position along the optical axis of the reference laser beam; The optical axis detecting unit is retracted from the optical path, after which it will take the reflected light beam made from the optical path. Optical, when the reference laser beam is released onto the optical component Into the optical axis detecting unit And detection of the second optical axis position Of the reference laser beam thereof; And repositioning the optical components to provide the The first optical axis and the aforementioned second optical axis position are aligned. 5. Method of claim 4 is supplemented by the procedure of Surface rotation for measuring the optical axis of the axis detection unit. Such optical Around an axis perpendicular to the optical axis of the reference laser beam and positioning such an optical detecting unit in such a way that the axis position. The optical component of the reference laser beam is released to the surface for the measurement of the optical axis remains unchanged. 6. The method of adjusting the optical component consists of the procedure of: That reflects the chest arising from optical components When the reference laser beam with the optical axis fixed is released to the optical component. That optical into the optical axis detection unit. And optical axis position detection That one of the reference laser beams therein; The optical axis detecting unit is moved along the axis. Optical of the reference laser beam, after which the reference laser beam is emitted. It is directed to the optical component where the beam is reflected from the The optical component enters the optical axis detecting unit and the second optical axis position detection of the reference laser beam; And repositioning the optical components to provide the The optical axis of the aforementioned optical axis and their position along the aforementioned second optical axis are aligned. 7. The method of claim 6 consists of additional procedures for Surface rotation for measuring the optical axis of that optical axis detecting unit around an axis perpendicular to the optical axis of the reference laser beam; and Positioning the optical axis detecting unit It is in such a way that the position of the axis The optical beam of the reference laser beam is released onto the surface for the axis measurement. The above optical component will not change. 8. Adjustment of the optical component that consists of the procedure of: moving or tilting the unit of the reference laser beam. To emit a laser beam Reference where the optical axis is fixed along that optical axis and the emission The reference laser beam is from the reference laser beam unit. Such to a mirror that does not A plane in the base is an optical component; The emission of a beam of light reflected by a non-plane mirror, where the reference laser beam is released into the optical axis detecting unit and the optical axis detecting unit is moved along the axis. Optical of the reference laser beam and determination of the position when the axis is moved. The optical light of the reflected beam detected by the aforementioned optical axis detecting unit is as low as a non-plane focal point. 8 Additional steps of The emission of the reference laser beam into a non-plane mirror, where the non-plane mirror is a parabolic mirror. The beam reflected from Parabolic mirror It enters the aforementioned optical axis detection unit and rotation. The surface for measuring the optical axis of the optical axis detecting unit surrounding the vertical axis. Perpendicular to the optical axis of the reference laser beam 1 0. The method of claim 8 is supplemented by the procedure of Emission of the reference laser beam into a non-plane mirror, where the non-plane mirror is a parabolic mirror. The beam reflected from Parabolic mirror It enters the optical axis detection unit and the surface rotation for optical axis measurements. Of the optical detecting unit It surrounds the axis. Perpendicular to the optical axis of the reflected beam; Deciding whether the optical axis position of the reference laser beam is Release to the surface for optical axis measurement. It is different or not; If the position of the optical axis of the reference laser beam is different, the center of rotation of the optical axis detection unit is moved; If the position of the optical axis of the reference laser beam does not differ from the previous one, the reference laser beam unit is moved and the position of the reference laser beam is determined. Whether the optical beam of the reference laser beamed against the surface for optical axis measurements is different; If the position of the optical axis of the reference laser beam is different From the original while moving the unit of the reference laser beam. Will have to move the detection unit Such optical axes along such optical axes; And determining the surface position for measuring such optical axis as the focal point of a parabolic mirror where the optical axis position of the laser beam The above reference is no different from the original 1.
1. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยักงระจกที่ไม่เป็นระนาบ ซึ่ง กระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบเป็นกระจกเงารูปพาราโบลา การนำลำแสงที่สะท้อนออกมาจากกระจก เงารูปพาราโบลาดังกล่าวเข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวและการหมุนพื้นผิว สำหรับการวัดค่าแกนออปติคอลของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวดดยรอบแกนที่ตั้ง ฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงที่เลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว การตัดสินว่าตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูก ปล่อยไปยังพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวนั้นแตกต่างไปจากเดิมหรือไม่ หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวแตกต่างไปจาก เดิม ก็จะมีการเคลื่อนย้ายจุดศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว; หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไม่ได้แตกต่าง ไปจากเดิม ก็จะมีการย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าว, การหมุนพื้นผิวสำหรับการวัด ค่าแกนออปติคอล (120) รอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว และการตัดสินว่าตำแหน่งของแกนออปติคอคอลของลำแสงเลเวอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูกปล่อยไปยัง พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปตอคอลนั้น แตกต่างไปจากเดิมหรือไม่; หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวแตกต่างไป จากเดิมในขณะที่ย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว และการหมุนของพื้นผิวสำหรับการวัด ค่าแกนออปติคอล ก็จะมีการเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวไปตามแกน ออปติคอลดังกล่าว; และ การกำหนดตำแหน่งของพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวให้ เป็นจุดโฟกัสของกระจกเงารูปพาราโบลา โดยที่ตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวไม่ได้แตกต่างไปจากเดิม 1 2.วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ การเตรียมหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง เพื่อเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มี การกำหนดแกนออปติคอลไว้ขึ้นมาเป็นลำแสงที่ถูกเล็งขนานและการปล่อยลำแสงที่ถูกเล็งขนาน ดังกล่าวจากหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวไปยังกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบในฐานะเป็น ส่วนประกอบทางออปติคอล; การปล่อยลำแสงที่สะท้อนออกมาจากกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าวที่มี ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวมากระทบไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว; และ การเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและการกำหนดตำแหน่งขึ้นมาโดยจะมีการ เคลื่อนย้ายแกนออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวที่ถูกตรวจพบโดยหน่วยตรวจจับ แกนออปติคอลดังกล่าวน้อยที่สุดในฐานะเป็นจุดโฟกัสของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว 1 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว การทำให้พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของหน่วยตรวจจับแกน ออปติคอล มีลักษณะที่สอดคล้องกับแกนหมุนของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว; การเคลื่อยย้ายพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวไป ตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวเพื่อปรับตำแหน่งสำหรับวัดค่าบนพื้นผิว สำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าว. 1 4. วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปดิคอลที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ การทำให้แกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่เปล่งออกมาจากหน่วย ของลำแสงเลเซอร์ ที่มีออสซิลเลเตอร์ของแสงเลเซอร์ รวมอยู่ด้ายมีลักษณะที่สอดคล้องกับจุด ศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ที่มีหน่วยของลำแสงเลเซอร์ รวมอยู่ด้วย; การปรับตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; การปล่อยสำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้ ไปยังกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบซึ่งใช้เป็นส่วนประกอบทางออปติคอลและการวัดลำแสงที่สะท้อน ออกมาจากระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าวเพื่อตรวจหาแกนออกติคอลและจุดโฟกัสของ กระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว; และ การปรับอย่างน้อยตำแหน่งหรือมุมของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว โดยยึดถือตามแกนออปติคอลที่ถูกตรวจหาและจุดโฟกัสของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว 1 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การส่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว ผ่านรูแต่ละรู ซึ่งถูกกำหนดขอบเขตไว้ในเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ตามลำดับซึ่งถูก เว้นระยะห่างออกจากซึ่งกันและกันเป็นระยะทางตามที่กำหนดและการตัดสินว่าลำแสงที่สะท้อน ออกมาดังกล่าวถูกตรวจพบบนอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าหรือไม่; และ การปรับอย่างน้อยตำแหน่งหรือมุมของหน่วยของลำแสงเลเซอร์ดังกล่าวหากไม่ มีการตรวจพบลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวบนอุปกรณ์ ประกอบการวัดค่า 1 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การส่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว ผ่านรูแต่ละรู ซึ่งถูกกำหนดขอบเขตไว้ในเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ตามลำดับซึ่งถูก เว้นระยะห่างออกจากซึ่งกันและกันเป็นระยะทางตามที่กำหนดและการตัดสินว่าลำแสงที่สะท้อน ออกมาดังกล่าวถูกตรวจพบบนอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าหรือไม่; และ การปรับอย่างน้อยตำแหน่งหรือมุมของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว หากไม่มีการตรวจพบลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวบน อุปกรณ์ประกอบกาวัดค่า 1 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว ไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล และการตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว 1 8. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลโดยการปล่อย ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ถูกเปล่งมาจากนห่วยลำแสงอ้างอิงไปยังสวนประกอบทางออปติคอลซึ่ง ประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงอ้างอิงสำหรับปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงไปยังส่วนรปะกอบ ทางออปติคอล; โดยที่หน่วยของลำแสงอ้างอิง ดังกล่าวประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์ที่รวมเข้าไว้ด้วยออสซิลเลเตอร์ของแสงเลเซอร์ สำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; กลไกในการหมุนสำหรับหมุนหน่วยของลำแสงเลเซอร์ รอบแกนออปติคอล ของมันซึ่งสัมพันธ์กับฐาน และ กลไกในการปรับแต่งจุดศูนย์กลางของลำแสง สำหรับทำให้แกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่เปล่งออกมาจากหน่วยของลำแสงเลเซอร์ มีลักษณะที่สอดคล้องกับ จุดศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยของลำแสงอ้างอิง 1 9. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย กลไกการเลื่อนสำหรับเคลื่อนย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไป ตามแนวตั้งและแนวนอนในทิศทางที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าวเป็นอย่างน้อย 2 0.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย กลไกสำหรับเอียง และยึดติดหน่วยของลำแสงอ้างอิงดังกล่าวให้อยู่ในทิศทาง ที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าว 2 1.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย : หน่วยของแกนออปติคอล สำหรับปรับแต่งแกนออปติคอลของหน่วยลำแสง อ้างอิง ดังกล่าว; หน่วยของแกนออปติคอลดังกล่าวซึ่งมีเพลดที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ซึ่ง มีรู ตามลำดับที่ถูกกำหนดให้อยู่ภายในและถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทาง ตามที่กำหนด 21. Method according to claim 8 consists of additional procedures of The emission of the reference laser beam into a non-planar plane in which the non-plane mirror is a parabolic mirror. The beam reflected from the glass Such a parabolic shadow enters the optical axis detection unit and the surface rotation. For measuring the optical axis of the optical axis detecting unit. It around the vertical axis. Perpendicular to the optical axis of the beam that the reference laser is referring to. Deciding whether the optical axis position of the reference laser beam is Release to the surface for optical axis measurement. Is it different? If the position of the optical axis of the reference laser beam is different, the center of rotation of the optical axis detection unit is moved; If the position of the optical axis of the reference laser beam does not differ from the original, then the reference laser beam unit is moved, the surface rotation for measurement. Optical axis value (120) around an axis perpendicular to the optical axis of the reference laser beam. And determining the position of the optical axis of the aforementioned lever beam being emitted to The surface for measuring the optical axis Different from the original or not; If the position of the optical axis of the reference laser beam is different From the original while moving the unit of the reference laser beam thereof. And rotation of the surface for measuring Optical axis value It will move the optical axis detection unit. It follows the axis. Such optical; And determining the surface position for the optical axis measurement as the focal point of a parabolic mirror. Where is the position of the optical axis of the laser beam The above reference is no different. 1 2. The method of adjusting the optical component that consists of the process of Unit preparation of reference laser beam To emit the obtained reference laser beam. Prescribing the optical axis to parallel aiming beam and parallel aiming beam. As from the reference laser beam unit It to the non-plane mirror as Optical components; The emission of a beam of light reflected by a non-plane mirror with The reference laser beam hits the optical axis detecting unit; And moving the optical axis detecting unit the said axis The optical beam of the reference laser beam and its positioning are generated. Move the optical axis of the reflected beam that was detected by the detector. Such optical axis is minimal as a focal point of such a non-plane mirror. 1 3. The method of claim 12 is supplemented by the procedure for The emission of the reference laser beam to the optical axis detecting unit as a surface treatment for optical axis measurements. Of the optical axis detecting unit has characteristics corresponding to the spindle of such optical axis detecting unit; Surface displacement for measuring the aforementioned optical axis along the optical axis of the reference laser beam to adjust the surface measurement position. For measuring such optical axes. 1 4. How to adjust the optical component that consists of the procedure of Making the optical axis of the reference laser beam emitted by the unit Of the laser beam With a laser oscillator Included, the thread looks consistent with the point. Center of rotation of the unit of reference laser beam Where the unit of the laser beam is included; Adjusting the position of the optical axis of the reference laser beam; The emission of the reference laser beam for which the optical axis is fixed. To a non-plane mirror used as an optical component and to measure reflected light. Coming out of the non-plane mirror to detect the optical axis and focal point of A mirror that does not have such a plane; And adjusting at least the position or angle of the mirror that is not as plane This is based on the detected optical axis and the focal point of the non-plane mirror. 1 5. Method of claim 14, supplemented by the procedure for The transmission of the reference laser beam or the reflected beam Through each hole Which are bounded into the first and second smaller hole plates. Respectively, which was The distance from each other is the specified distance and the judgment of the reflected beam. Whether the output was detected on the measuring instrument or not; And to at least adjust the position or angle of the laser beam unit if not The reference laser beam or the reflected beam has been detected on the device. Including the measurement 1 6. Method of claim 14 includes additional steps of The transmission of the reference laser beam or the reflected beam Through each hole Which are bounded into the first and second smaller hole plates. Respectively, which was The distance from each other is the specified distance and the judgment of the reflected beam. Whether the output was detected on the measuring instrument or not; And adjusting at least the position or angle of the mirror that is not as plane If the reference laser beam is not detected, or the beam reflected thereon Measuring equipment 1 7. Method according to claim 14 includes additional steps of The emission of the reference laser beam or the reflected beam. To the optical axis detection unit And detecting the position of the optical axis of the laser beam 1 8. A set of equipment for adjusting optical components by emission. Reference laser beam emitted from a bad reference beam to an optical component consisting of: a unit of reference beam for emitting a reference laser beam to an optical composite; Where is the unit of the reference beam It consists of: a unit of a laser beam incorporated by a laser oscillator. For emitting a laser beam of reference therein; Rotating mechanism for rotating the unit of the laser beam. Around the optical axis Its relative to the base and the mechanism for adjusting the center of the beam. For making optical axis of The reference laser beam emitted by the unit of the laser beam. Have characteristics that correspond to The center of rotation of the reference beam unit 1 9. The kit according to claim 18 consists of additions. Sliding mechanism for moving the unit of the reference laser beam over it. Vertically and horizontally in the direction perpendicular to the aforementioned optical axis is at least 2.0. The kit according to claim 18 is supplemented with Mechanism for tilting And attach the unit of the reference beam in the direction 2 1. The unit according to claim 18 is supplemented with: a unit of an optical axis. For adjusting the optical axis of the reference beam unit; The optical axis unit in which there are plates with first and second small holes with holes, respectively, that are located within and spaced at a specified distance from each other.
2. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย : หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูกปล่อยออกมาจากหน่วยของลำแสงอ้างอิง ดังกล่าว 2 3.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ที่ซึ่งหน่วยของลำแสงเลเซอร์ดังกล่าวมีวิถีทาง ในการเพิ่มขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของที่สามารถถอดออกได้สำหรับเพิ่มเส้นผ่าศูนย์กลาง ของลำแสงของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 2 4. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงสำหรับปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการ จัดทำแกนออปติคอลไว้; หน่วยของแกนออปติคอลสำหรับตรวจหาแกนออปติคอลของส่วนประกอบ ทางออปติคอลโดยการปล่อนลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังส่วนประกอบทางออปติคอล ดังกล่าวเพื่อให้ได้มาซึ่งลำแสงที่สะท้อนออกมาที่ถูกใช้สำหรับสิ่งนั้น ; โดยที่หน่วยแกนออปติคอล ดังกล่าวประกอบด้วย: เพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ที่มีรูขนาดเล็ก ตามลำดับที่ถูก กำหนดให้อยู่ภายในและถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทางตามที่กำหนด; และ กลไกในการปรับแต่งรูขนาดเล็ก เพื่อปรับตำแหน่งให้กับเพลตที่มีรู ขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวในทิศทางที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าว 2 5. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 24 ประกอบเพิ่มเติมด้วย หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวซึ่งได้ลอดผ่านเพลดที่มีนรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว 2 6.ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงสำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการ กำหนดแกนออปติคอลไว้; และ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ส่วนประกอบของออปติคอลดังกล่าวด้วยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและ กลไกการหมุน สำหรับหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวโดยการรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 2 7. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 26 ประกอบเพิ่มเติมด้วย กลไกในการเคลื่อนที่สำหรับเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 2 8. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงสำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการกำหนด แกนออปติคอลไว้; และ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ลำแสงที่สะท้อนออกมาจากส่วนประกอบทางออปติคอลที่ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงถูกปล่อยออกไป หน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว ซึ่งมีกลไกการเคลื่อนที่ สำหรับ เคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าว 2 9. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 28 ที่ซึ่งหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว ประกอบด้วย พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกน ออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว; กลไกในการหมุน สำหรับหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; และ กลไกสำหรับรับตำแหน่งในการวัดค่า สำหรับเคลื่อนย้ายพื้นผิวสำหรับการวัดค่า แกนออปติคอล ดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 3 0.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 28 ที่ซึ่งหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวมีวิถีทางในการเพิ่มขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของลำแสง เพื่อเพิ่มเส้นผ่าศูนย์กลางลำแสง ของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวเพื่อเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวออกมาเป็นลำแสงที่ถูก เล็งขนาน 3 1. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง สำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงโดยที่หน่วย ของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวสามารถกำหนดแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว ขึ้นมาได้; และ หน่วยของแกนออปติคอล หรือหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล เป็นอย่างน้อย สำหรับปรับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและตรวจหาแกนออปติคอลและจุด โฟกัสของลำแสงที่สะท้อนออกมาจากระจกเงาที่เป็นระนาบในฐานะเป็นส่วนประกอบทาง ออปติคอลที่ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวถูกปล่อยออกไป 3 2.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 23 ที่ซึ่งหน่วยของแกนออปติคอล ดังกล่าว ปนะกอบด้วย เพลดที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองที่มีรูขนาเล็ก ตามลำดับซึ่งถูก กำหนดให้อยู่ภายในและถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทางตามที่กำหนด ; และ กลไกในการปรับตำแหน่งรูขนาดเล็ก สำหรับปรับตำแหน่งให้กับเพลตที่มีรู ขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ในทิศทางที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าว 32. The kit according to claim 18 is supplemented with: Optical Axis Detecting Unit. For detecting the position of the optical axis of The reference laser beam emitted from the reference beam unit 2 3. Equipment according to claim 18 where the laser beam unit has a path. To increase the diameter of which can be removed for increasing the diameter. 2 4. Kit for adjusting the optical components of the device. Optical laser beam, which consists of: a unit of the reference laser beam for emitting the resulting reference laser beam. An optical axis is prepared; Optical axis unit for detecting the optical axis of a component. Optical by means of the laser reference beam that is directed onto the optical component. Such as to obtain the reflected beam that was used for that; Where the optical axis unit It consists of: plates with first and second small holes. With small holes In the right order Set to be within and be spaced at a specified distance from each other; And mechanism for adjusting small holes To adjust the position of the plate with holes The first and second smaller dimensions are in the direction perpendicular to the aforementioned optical axis. Optical axis detection unit For detecting the position of the optical axis of The reference laser beam, which passes through the first and second smaller hole plates. 2 6. Kit for adjusting the optical components of the device. Optical laser beam, which consists of: a unit of the reference laser beam for emitting the resulting reference laser beam. The optical axis is fixed; And optical axis detection unit For detecting the position of the optical axis of The optical component of such reference laser beam and the surface rotation mechanism for measuring the optical axis of such optical axis detecting unit by surrounding an axis perpendicular to Optical axis of The aforementioned laser beams. 2 7. The kit according to claim 26 includes additional Movement mechanism for moving the optical axis detection unit. It follows the optical axis of the reference laser beam. 2 8. A kit for adjusting the optical components of the device. Optical laser beam, which consists of: a unit of reference laser beam for emitting a given reference laser beam. The optical axis is retained; And optical axis detection unit For detecting the position of the optical axis of Beam reflected by the optical component where the reference laser beam is emitted. Optical axis detection unit as such It has a motion mechanism for moving the optical axis detecting unit along the optical axis of the laser beam. 2 9. Set of equipment according to claim 28, where the optical axis detecting unit contains a surface for measuring the optical axis. For detecting axis position Optical beams that are reflected therein; Rotation mechanism For rotating the surface for optical axis measurements. It around the axis perpendicular to the optical axis of the aforementioned laser beam; And a mechanism for taking a measurement position Moving the surface for measuring the aforementioned optical axis along the optical axis of the reference laser beam 3 0. Kit according to claim 28, where the reference laser beam unit. There is a way to increase the beam diameter. To increase the beam diameter The reference laser beam is used to emit the reference laser beam as a beam directed in parallel. 3 1. A set of equipment for adjusting the optical components of the device. Optical laser beam, which consists of: a unit of reference laser beam. For emitting a laser beam referenced by the unit Of reference laser beam As such, the optical axis of the reference laser beam can be determined; And unit of optical axis Or optical axis detection unit At least For adjusting the optical axis of the reference laser beam and detecting the optical axis and point. The focus of the beam reflected by a plane mirror as a linear component Optical on which the reference laser beam is emitted. 3. 2. Equipment according to claim 23, where the optical axis unit consists of a plate with a small hole at one and a Two with a small hole Respectively, which was Set to be within and be spaced at a specified distance from each other; And a mechanism to adjust the position of small holes For adjusting the position of the plates with holes. First and second small In the direction perpendicular to the said optical axis 3
3. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 31 ทีซึ่งหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวประกอบด้วย: กลไกในการหมุน สำหรับหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวและลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว; กลไกสำหรับรับตำแหน่งในการวัดค่า สำหรับเคลื่อนย้ายพื้นผิวสำหรับการวัดค่า แกนออปติคอลดังกล่าว ไปตามแกนหมุนของกลไกในการหมุนดังกล่าว; และ กลไกการเคลื่อนที่ สำหรับเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว ไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว3. A set of equipment according to claim 31 that the optical axis detecting unit. It consists of: rotation mechanism. For rotating the surface for optical axis measurement of optical axis detecting unit. It is around the axis perpendicular to the optical axis of the laser beam. Such references and the reflected light thereof; Mechanism for taking measurement positions For moving the measuring surface Such optical axis Along the axis of rotation of the mechanism for such rotation; And the mechanism of movement To move the optical axis detecting unit along the optical axis of the reference laser beam and the reflected beam.