TH31376B - วิธีการและชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอล และหน่วยทางออปติคอล - Google Patents
วิธีการและชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอล และหน่วยทางออปติคอลInfo
- Publication number
- TH31376B TH31376B TH101004706A TH0101004706A TH31376B TH 31376 B TH31376 B TH 31376B TH 101004706 A TH101004706 A TH 101004706A TH 0101004706 A TH0101004706 A TH 0101004706A TH 31376 B TH31376 B TH 31376B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- optical axis
- laser beam
- optical
- unit
- reference laser
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract 214
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 29
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 14
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004441 surface measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims 1
Abstract
DC60 (10/01/43) ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลจะมีหน่วยของลำแสง เลเซอร์อ้างอิง (10) สำหรับเปล่งสำหรับลำแสงเลเซอร์อ้างอิง L ที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้และ หน่วยของแกนออปติคอล (70) ซึ่งจะตรวจหาแกนออปติคอลและจุดโฟกัสของลำแสงที่สะท้อน ออกมา La จากกระจกเงารูปพาราโบลา (222) ซึ่งมีลำแสงเลเซอร์อ้างอิง L ไปกระทบ. หน่วย ของแกนออปติคอล (70) ดังกล่าวจะประกอบด้วยเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง (74,76) ที่ ถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทางตามที่กำหนดและมีรูขนาดเล็ก (80, 90) ตามที่กำหนด ไว้ภายใน. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลจะมีหน่วยของลำแสง เลเซอร์อ้างอิง (10)สำหรับเปล่งสำหรับลำแสงเลเซอร์อ้างอิง L ที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้และ หน่วยของแกนออปติคอล (70)ซึ่งจะตรวจหาแกนออปติคอลและจุดโฟกัสของลำแสงที่สะท้อน ออกมา La จากกระจกเงารูปพาราโบลา (222)ซึ่งมีลำแสงเลเซอร์อ้างอิง Lไปกระทบ.หน่วย ของแกนออปติคอล (70) ดังกล่าวจะประกอบด้วยเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง (74,76) ที่ ถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทางตามที่กำหนดและมีรูขนาดเล็ก (80,90) ตามที่กำหนด ไว้ภายใน.
Claims (3)
1. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 8 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยักงระจกที่ไม่เป็นระนาบ ซึ่ง กระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบเป็นกระจกเงารูปพาราโบลา การนำลำแสงที่สะท้อนออกมาจากกระจก เงารูปพาราโบลาดังกล่าวเข้าไปในหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวและการหมุนพื้นผิว สำหรับการวัดค่าแกนออปติคอลของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวดดยรอบแกนที่ตั้ง ฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงที่เลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว การตัดสินว่าตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูก ปล่อยไปยังพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวนั้นแตกต่างไปจากเดิมหรือไม่ หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวแตกต่างไปจาก เดิม ก็จะมีการเคลื่อนย้ายจุดศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว; หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไม่ได้แตกต่าง ไปจากเดิม ก็จะมีการย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าว, การหมุนพื้นผิวสำหรับการวัด ค่าแกนออปติคอล (120) รอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว และการตัดสินว่าตำแหน่งของแกนออปติคอคอลของลำแสงเลเวอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูกปล่อยไปยัง พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปตอคอลนั้น แตกต่างไปจากเดิมหรือไม่; หากตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวแตกต่างไป จากเดิมในขณะที่ย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว และการหมุนของพื้นผิวสำหรับการวัด ค่าแกนออปติคอล ก็จะมีการเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวไปตามแกน ออปติคอลดังกล่าว; และ การกำหนดตำแหน่งของพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวให้ เป็นจุดโฟกัสของกระจกเงารูปพาราโบลา โดยที่ตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวไม่ได้แตกต่างไปจากเดิม 1 2.วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ การเตรียมหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง เพื่อเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มี การกำหนดแกนออปติคอลไว้ขึ้นมาเป็นลำแสงที่ถูกเล็งขนานและการปล่อยลำแสงที่ถูกเล็งขนาน ดังกล่าวจากหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวไปยังกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบในฐานะเป็น ส่วนประกอบทางออปติคอล; การปล่อยลำแสงที่สะท้อนออกมาจากกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าวที่มี ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวมากระทบไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว; และ การเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกน ออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและการกำหนดตำแหน่งขึ้นมาโดยจะมีการ เคลื่อนย้ายแกนออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวที่ถูกตรวจพบโดยหน่วยตรวจจับ แกนออปติคอลดังกล่าวน้อยที่สุดในฐานะเป็นจุดโฟกัสของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว 1 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 12 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว การทำให้พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของหน่วยตรวจจับแกน ออปติคอล มีลักษณะที่สอดคล้องกับแกนหมุนของหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว; การเคลื่อยย้ายพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวไป ตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวเพื่อปรับตำแหน่งสำหรับวัดค่าบนพื้นผิว สำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าว. 1 4. วิธีการปรับแต่งส่วนประกอบทางออปดิคอลที่ประกอบด้วยขั้นตอนของ การทำให้แกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่เปล่งออกมาจากหน่วย ของลำแสงเลเซอร์ ที่มีออสซิลเลเตอร์ของแสงเลเซอร์ รวมอยู่ด้ายมีลักษณะที่สอดคล้องกับจุด ศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ที่มีหน่วยของลำแสงเลเซอร์ รวมอยู่ด้วย; การปรับตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; การปล่อยสำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ได้มีการกำหนดแกนออปติคอลไว้ ไปยังกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบซึ่งใช้เป็นส่วนประกอบทางออปติคอลและการวัดลำแสงที่สะท้อน ออกมาจากระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าวเพื่อตรวจหาแกนออกติคอลและจุดโฟกัสของ กระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว; และ การปรับอย่างน้อยตำแหน่งหรือมุมของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว โดยยึดถือตามแกนออปติคอลที่ถูกตรวจหาและจุดโฟกัสของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว 1 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การส่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว ผ่านรูแต่ละรู ซึ่งถูกกำหนดขอบเขตไว้ในเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ตามลำดับซึ่งถูก เว้นระยะห่างออกจากซึ่งกันและกันเป็นระยะทางตามที่กำหนดและการตัดสินว่าลำแสงที่สะท้อน ออกมาดังกล่าวถูกตรวจพบบนอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าหรือไม่; และ การปรับอย่างน้อยตำแหน่งหรือมุมของหน่วยของลำแสงเลเซอร์ดังกล่าวหากไม่ มีการตรวจพบลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวบนอุปกรณ์ ประกอบการวัดค่า 1 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การส่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว ผ่านรูแต่ละรู ซึ่งถูกกำหนดขอบเขตไว้ในเพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ตามลำดับซึ่งถูก เว้นระยะห่างออกจากซึ่งกันและกันเป็นระยะทางตามที่กำหนดและการตัดสินว่าลำแสงที่สะท้อน ออกมาดังกล่าวถูกตรวจพบบนอุปกรณ์ประกอบการวัดค่าหรือไม่; และ การปรับอย่างน้อยตำแหน่งหรือมุมของกระจกเงาที่ไม่เป็นระนาบดังกล่าว หากไม่มีการตรวจพบลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าวบน อุปกรณ์ประกอบกาวัดค่า 1 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิที่ 14 ประกอบเพิ่มเติมด้วยขั้นตอนของ การปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว ไปยังหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล และการตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวหรือลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว 1 8. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลโดยการปล่อย ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ถูกเปล่งมาจากนห่วยลำแสงอ้างอิงไปยังสวนประกอบทางออปติคอลซึ่ง ประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงอ้างอิงสำหรับปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงไปยังส่วนรปะกอบ ทางออปติคอล; โดยที่หน่วยของลำแสงอ้างอิง ดังกล่าวประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์ที่รวมเข้าไว้ด้วยออสซิลเลเตอร์ของแสงเลเซอร์ สำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; กลไกในการหมุนสำหรับหมุนหน่วยของลำแสงเลเซอร์ รอบแกนออปติคอล ของมันซึ่งสัมพันธ์กับฐาน และ กลไกในการปรับแต่งจุดศูนย์กลางของลำแสง สำหรับทำให้แกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่เปล่งออกมาจากหน่วยของลำแสงเลเซอร์ มีลักษณะที่สอดคล้องกับ จุดศูนย์กลางในการหมุนของหน่วยของลำแสงอ้างอิง 1 9. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย กลไกการเลื่อนสำหรับเคลื่อนย้ายหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไป ตามแนวตั้งและแนวนอนในทิศทางที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าวเป็นอย่างน้อย 2 0.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย กลไกสำหรับเอียง และยึดติดหน่วยของลำแสงอ้างอิงดังกล่าวให้อยู่ในทิศทาง ที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าว 2 1.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย : หน่วยของแกนออปติคอล สำหรับปรับแต่งแกนออปติคอลของหน่วยลำแสง อ้างอิง ดังกล่าว; หน่วยของแกนออปติคอลดังกล่าวซึ่งมีเพลดที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ซึ่ง มีรู ตามลำดับที่ถูกกำหนดให้อยู่ภายในและถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทาง ตามที่กำหนด 2
2. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ประกอบเพิ่มเติมด้วย : หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวที่ถูกปล่อยออกมาจากหน่วยของลำแสงอ้างอิง ดังกล่าว 2 3.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 18 ที่ซึ่งหน่วยของลำแสงเลเซอร์ดังกล่าวมีวิถีทาง ในการเพิ่มขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของที่สามารถถอดออกได้สำหรับเพิ่มเส้นผ่าศูนย์กลาง ของลำแสงของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 2 4. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงสำหรับปล่อยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการ จัดทำแกนออปติคอลไว้; หน่วยของแกนออปติคอลสำหรับตรวจหาแกนออปติคอลของส่วนประกอบ ทางออปติคอลโดยการปล่อนลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวไปยังส่วนประกอบทางออปติคอล ดังกล่าวเพื่อให้ได้มาซึ่งลำแสงที่สะท้อนออกมาที่ถูกใช้สำหรับสิ่งนั้น ; โดยที่หน่วยแกนออปติคอล ดังกล่าวประกอบด้วย: เพลตที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ที่มีรูขนาดเล็ก ตามลำดับที่ถูก กำหนดให้อยู่ภายในและถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทางตามที่กำหนด; และ กลไกในการปรับแต่งรูขนาดเล็ก เพื่อปรับตำแหน่งให้กับเพลตที่มีรู ขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองดังกล่าวในทิศทางที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าว 2 5. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 24 ประกอบเพิ่มเติมด้วย หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวซึ่งได้ลอดผ่านเพลดที่มีนรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองดังกล่าว 2 6.ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงสำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการ กำหนดแกนออปติคอลไว้; และ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ส่วนประกอบของออปติคอลดังกล่าวด้วยลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและ กลไกการหมุน สำหรับหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวโดยการรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของ ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 2 7. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 26 ประกอบเพิ่มเติมด้วย กลไกในการเคลื่อนที่สำหรับเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 2 8. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงสำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงที่ได้มีการกำหนด แกนออปติคอลไว้; และ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกนออปติคอลของ ลำแสงที่สะท้อนออกมาจากส่วนประกอบทางออปติคอลที่ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงถูกปล่อยออกไป หน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว ซึ่งมีกลไกการเคลื่อนที่ สำหรับ เคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าว 2 9. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 28 ที่ซึ่งหน่วยตรวจจับแกนออปติคอลดังกล่าว ประกอบด้วย พื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล สำหรับตรวจหาตำแหน่งของแกน ออปติคอลของลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว; กลไกในการหมุน สำหรับหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ดังกล่าวรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว; และ กลไกสำหรับรับตำแหน่งในการวัดค่า สำหรับเคลื่อนย้ายพื้นผิวสำหรับการวัดค่า แกนออปติคอล ดังกล่าวไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว 3 0.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 28 ที่ซึ่งหน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวมีวิถีทางในการเพิ่มขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของลำแสง เพื่อเพิ่มเส้นผ่าศูนย์กลางลำแสง ของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวเพื่อเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวออกมาเป็นลำแสงที่ถูก เล็งขนาน 3 1. ชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอลของอุปกรณ์ ออปติคอลของแสงเลเซอร์ซึ่งประกอบด้วย: หน่วยของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง สำหรับเปล่งลำแสงเลเซอร์อ้างอิงโดยที่หน่วย ของลำแสงเลเซอร์อ้างอิง ดังกล่าวสามารถกำหนดแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าว ขึ้นมาได้; และ หน่วยของแกนออปติคอล หรือหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล เป็นอย่างน้อย สำหรับปรับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและตรวจหาแกนออปติคอลและจุด โฟกัสของลำแสงที่สะท้อนออกมาจากระจกเงาที่เป็นระนาบในฐานะเป็นส่วนประกอบทาง ออปติคอลที่ลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวถูกปล่อยออกไป 3 2.ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 23 ที่ซึ่งหน่วยของแกนออปติคอล ดังกล่าว ปนะกอบด้วย เพลดที่มีรูขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สองที่มีรูขนาเล็ก ตามลำดับซึ่งถูก กำหนดให้อยู่ภายในและถูกเว้นระยะห่างออกจากกันเป็นระยะทางตามที่กำหนด ; และ กลไกในการปรับตำแหน่งรูขนาดเล็ก สำหรับปรับตำแหน่งให้กับเพลตที่มีรู ขนาดเล็กที่หนึ่งและที่สอง ในทิศทางที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลดังกล่าว 3
3. ชุดอุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิที่ 31 ทีซึ่งหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวประกอบด้วย: กลไกในการหมุน สำหรับหมุนพื้นผิวสำหรับการวัดค่าแกนออปติคอล ของ หน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าวรอบแกนที่ตั้งฉากกับแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์ อ้างอิงดังกล่าวและลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว; กลไกสำหรับรับตำแหน่งในการวัดค่า สำหรับเคลื่อนย้ายพื้นผิวสำหรับการวัดค่า แกนออปติคอลดังกล่าว ไปตามแกนหมุนของกลไกในการหมุนดังกล่าว; และ กลไกการเคลื่อนที่ สำหรับเคลื่อนย้ายหน่วยตรวจจับแกนออปติคอล ดังกล่าว ไปตามแกนออปติคอลของลำแสงเลเซอร์อ้างอิงดังกล่าวและลำแสงที่สะท้อนออกมาดังกล่าว
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH50924A TH50924A (th) | 2002-05-07 |
| TH31376B true TH31376B (th) | 2011-12-08 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1226590C (zh) | 薄膜厚度测量装置及反射系数测量装置和方法 | |
| CN109781392B (zh) | 一种大视场光学系统检测装置及检测方法 | |
| JP3547772B2 (ja) | 対象と基準点間の間隔測定方法および装置 | |
| JP2007500341A5 (th) | ||
| WO2012109892A1 (zh) | 基于激光诱导击穿光谱提高元素测量精度的方法和系统 | |
| WO2009096633A1 (en) | Method for measuring thickness | |
| CN112539697B (zh) | 一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备 | |
| CN118129622B (zh) | 一种晶圆薄膜材料厚度测量设备及方法 | |
| US10415785B2 (en) | Sunlight focusing analysis device for vehicle lamp lens, and method for using same | |
| CN109655236A (zh) | 传感器像平面与镜头接口端面平行度检测方法及装置 | |
| JPS60310A (ja) | 表面構造、特に、荒さの測定装置 | |
| CN115574740A (zh) | 一种多功能光学自准直仪 | |
| KR102580561B1 (ko) | 가변 애퍼처 마스크 | |
| CN216792443U (zh) | 一种激光测距装置 | |
| TH31376B (th) | วิธีการและชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอล และหน่วยทางออปติคอล | |
| TH50924A (th) | วิธีการและชุดอุปกรณ์สำหรับปรับแต่งส่วนประกอบทางออปติคอล และหน่วยทางออปติคอล | |
| CN109407192A (zh) | 一种光栅刻划机刻线位置测量光路的调整方法及其系统 | |
| CN113740316A (zh) | 基于光斑位置的激光聚焦点位置自动定位方法及系统 | |
| KR102536203B1 (ko) | 반사계, 분광 광도계, 또는 엘립소미터 시스템을 사용하는 샘플 맵핑에 적용되는 세타-세타 샘플 포지셔닝 스테이지 | |
| CN101576436B (zh) | 一种汞灯灯室的光学特性测试装置及其测试方法 | |
| CN114264279B (zh) | 对具有跟踪和可变束散角指向功能装置的检测方法及装置 | |
| KR102139670B1 (ko) | 레이저 대즐링 효과도 측정 장치 및 방법 | |
| CN119756241B (zh) | 一种镜片安装精度测量系统及镜片安装精度测量方法 | |
| CN113607383B (zh) | 测量激光光轴瞄准偏差的装置、系统和方法 | |
| JP2002323404A (ja) | 表面検査装置 |