TH21764A

TH21764A - ระบบ mbe และอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำที่ผลิตขึ้นโดยใช้ระบบนี้

Info

Publication number: TH21764A
Application number: TH9501002261A
Authority: TH
Inventors: มาซาโอะอิเคดะ นาย; ฮิโรโนริสึคาโมโตะ นาย; โคชิทามามูระ นาย
Original assignee: นายดำเนิน การเด่น; นายต่อพงศ์ โทณะวณิก; นายวิรัช ศรีอเนกราธา; นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์; นาย วิรัชศรีเอนกราธา; นาย ต่อพงศ์โทณะวณิก; นาย ดำเนินการเด่น
Filing date: 1995-09-11
Publication date: 1996-11-13

Abstract

ระบบของเอทิแทกซีด้วยลำของโมเลกุลมีห้องต่างๆ จำนวนหนึ่งซึ่งอย่งน้อยที่สุดประกอบด้วยห้องที่หนึ่งห้องและห้องที่ สองหนึ่งห้อง,ห้องที่หนึ่งใช้เพื่อก่อขึ้นรูปชั้นต่างๆ ของ สารกึ่งตัวนำเชิงประกอบของคอลัมน์ II-V ซึ่งไม่มี Te. ห้อง ที่สองใช้เพื่อก่อขึ้นรูปชั้นต่างๆ ของสารกึ่งตัวนำเชิง ประกอบของคอลัมน์ II-V ซึ่งอย่างน้อยที่สุดประกอบด้วย Te. อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำซึ่งมีลักษณะสมบัติแบบโอห์มมิกสามารถ ผลิตขึ้นโดยไม่มีการผสม Te. เข้าไปในชั้นอื่นๆ

Claims

: ระบบของเอทิแทกซีด้วยลำของโมเลกุลมีห้องต่างๆ จำนวนหนึ่งซึ่งอย่งน้อยที่สุดประกอบด้วยห้องที่หนึ่งห้องและห้องที่ สองหนึ่งห้อง,ห้องที่หนึ่งใช้เพื่อก่อขึ้นรูปชั้นต่างๆ ของ สารกึ่งตัวนำเชิงประกอบของคอลัมน์ II-V ซึ่งไม่มี T e. ห้อง ที่สองใช้เพื่อก่อขึ้นรูปชั้นต่างๆ ของสารกึ่งตัวนำเชิง ประกอบของคอลัมน์ II-V ซึ่งอย่างน้อยที่สุดประกอบด้วย T e. อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำซึ่งมีลักษณะสมบัติแบบโอห์มมิกสามารถ ผลิตขึ้นโดยไม่มีการผสม T

1. ระบบของเอพิแทกซีด้วยลำของโมเลกุลประกอบด้วย :ห้องที่หนึ่งสำหรับทำการก่อรูปชั้นต่างๆ ของสารกึ่งตัวนำ ขององค์ประกอบของคอลัมน์ II-V ซี่งไม่มีเทลลูเรียม ; และ ห้องที่สองสำหรับทำการก่อขึ้นรูปชั้นต่างๆ ของสารกึ่งตัวนำ ขององค์ประกอบของคอลัมน์ II-V ซึ่งอย่างน้อยที่สุดมีเทลลู เรียม

2. ระบบของเอพิแทกซีด้วยลำของโมเลกุลซึ่งมีห้องห้องหนึ่ง ซึ่งเชื่อมต่อไว้ด้วยเซลล์กลุ่มหนึ่ง,เซลล์ดังกล่าวอย่าง น้อยที่สุดประกอบด้วยเซลล์เซลล์สำหรับทำให้เทลลูเรียมระเหย เป็นไอ, ที่เรียกว่าระบบประกอบด้วย : วาล์วปิดเปิดตัวหนึ่งใแท็ก :