TH18555A - หัว mr ที่รวมฟิล์มบางที่มีปลายขั้วอยู่ในแนว - Google Patents

Abstract

หัว MR ที่รวมกันถูกให้มี ซึ่งมีผนังด้านข้างที่ตรงในแนวตั้ง เพื่อทำให้การโป่งออกด้านข้างน้อยที่สุด และปรับปรุงสมรรถนะนอกร่องบันทึก ชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ซึ่งประกอบด้วยชั้นกำบังที่สอง S2 ของหัวอ่อน มีปลายขั้วฐานที่มีขนาดความยาวสั้น ปลายขั้วฐานที่ความยาวสั้นเป็นสองเท่าความยาวของชั้นช่องว่าง G ทำให้การเขียนด้านข้างน้อยที่สุดอย่างเหมาะสมและปรับปรุงสมรรถนะนอกร่องบันทึก โครงสร้างปลายขั้วด้านล่างของหัวเขียนถูกสร้างโดยการเซาะด้วยลำแสงไอออนโดยใช้โครงสร้างปลายขั้วด้านบนเป็นหน้ากาก การเซาะด้วยลำแสงไอออนถูกเล็งที่มุมหนึ่งกับผนังด้านข้างของโครงสร้างปลายขั้วด้านบน ซึ่งทำให้โครงสร้างปลายขั้ว ด้านล่างถูกเซาะที่ผนังด้านข้างซึ่งอยู่ในเส้นตรงเดียวกัน โครงสร้างปลายขั้วด้านบน การเซาะด้วยลำแสงไอออนสามารถประกอบด้วยสองลำแสงที่ทำมุมโดยลำดับ หรือพร้อมกันอย่างใดอย่างหนึ่ง ลำแสงที่หนึ่งที่ดำเนินการปฏิบัติการตัดเบื้องต้นและงานทำความสะอาดข้างขณะที่ลำแสงที่สองดำเนินการทำความสะอาดเบื้องต้นของการพอกซ้ำของตะกอน ที่เกิดโดยการตัด ในอีกรูปแบบหนึ่งลำแสงไอออนที่ทำมุมเดียวสามารถถูกใช้ โดยที่มุมของมันอยู่ภายในพิสัยเฉพาะ

Claims (8)

1. วิธีการทำหัว MR ที่รวมกันซึ่งมีส่วนบนและส่วนล่าง ส่วนบนและส่วนล่างของหัว MR ที่รวมกันถูกหุ้มเป็นบางส่วนโดยพื้นผิวแบริ่งอากาศ (ABS) วิธีการนี้ประกอบด้วยขั้นตอนของ การพอกอย่างน้อยที่สุดชั้นแม่เหล็กหนึ่งชั้นให้เกิดเป็นชั้นกำลังที่สอง S2 ของหัว MR และชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ซึ่งยื่นออกไปจากพื้นผิวแบริ่งอากาศ (ABS) ไปถึงและรวมทั้งช่องว่างด้านหลัง ชิ้นขั้วด้านล่าง P1 มีส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดซึ่งยื่นไปอยู่ระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์ การพอกชั้นแม่เหล็กอีกชั้นหนึ่ง เพื่อให้เกิดเป็นชิ้นขั้วด้านบนอยู่เหนือชิ้นขั้วด้านล่าง P1 จาก ABS ไปถึงและรวมทั้งช่องว่างด้านหลัง ชิ้นขั้วด้านบน P2 ถูกสร้างให้มีส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนด PT2 ซึ่งยื่นไปอยู่ระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์และซึ่งมีผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองและ การส่องลำไอออนอย่างน้อยหนึ่งลำไปที่ส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1 เป็นมุม 0 กับผนังของส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนด PT2 การใช้ส่วนประกอบขั้วที่กำหนดPT2 เป็นหน้ากาก เพื่อทำรอยบากในแนวดิ่งบนชิ้นขั้วด้านล่างP1 บนแต่ละข้างของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 เพื่อทำให้เกิดเป็นชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ให้เป็นส่วนประกอบปลายขั้ว PTlaและ PTlb ส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb เป็นฐานเทียบกัยชิ้นขั้วด้านล่าง P1 และมีผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สอง ซึ่งอยู่ตรงแนวกับผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองตามลำดับของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งประกอบด้วย ก่อนหน้าขั้นตอนการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำไปที่ส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1, การพอกหน้ากากต้านแสงบนด้านบนของชิ้นขั้วด้านบน P2 การจัดให้มีช่องเปิดในหน้ากากด้านแสง ซึ่งเผยส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนด PT2 และพื้นที่บนแต่ละด้านของมัน เพื่อให้ส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนด PT2 สามารถทำหน้าที่เป็นหน้ากากสำหรับขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำไปที่ส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งประกอบด้วย ก่อนหน้าของการพอกชั้นแม่เหล็กชั้นหนึ่งดังกล่าว ให้มีการพอกชั้นช่องว่าง G บนด้านบนของอย่างน้อยที่สุดชั้นแม่เหล็กหนึ่งชั้นดังกล่าวเพื่อปิดคลุมส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านกล่าง P1 ขั้นตอนการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งรวมถึงการส่องลำไอออนไปที่ชั้นช่องว่าง G ก่อนหน้าการส่องลำไอออนไปที่ส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1, และ ขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำที่ทำให้มีชั้นช่องว่า G พร้อมด้วยผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองซึ่งอยู่ตรงแนวกับผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองของส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb และ PT2 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งประกอบด้วย ก่อนหน้าขั้นตอนการพอกชั้นแม่เหล็กชั้นหนึ่งดังกล่าวให้มีการพอกชั้นช่องว่าง G บนด้านบนของอย่างน้อยชั้นแม่เหล็กหนึ่งชั้นดังกล่าวเพื่อปิดคลุมส่วนปลายชั้นที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1, ขั้นตอนของการพอกชั้นช่องว่าง G เพื่อจัดให้เป็นชั้นช่องว่างโดยมีความหนา g ในช่วง 0.1 um ถึง 0.7 um ที่ ABS; และ ความยาวของส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb ที่ ABS มีค่าประมาณ 2g 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งประกอบด้วยการส่องลำไอออนเดี่ยวเป็นมุมเดี่ยว 0 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งประกอบด้วย : ขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งประกอบด้วยการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สองลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัยของ 0 องศา น้อยกว่า0 น้อยกว่า60 องศา และ ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัยของ 60 องศา น้อยกว่า85องศา 7.วิธีการตามข้อถือสิทธิ 6 ซึ่งประกอบด้วย : ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัยของ 20 องศา น้อยกว่า 0องศา น้อยกว่า 40 องศา 8. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 6 ซึ่งประกอบด้วย ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งมีค่าเป็น 30 องศา, และ ลำไอออนที่สองทำมุม 0 ซึ่งมีค่าเป็น 75 องศา 9. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 1 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการส่องน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำที่ลดความหนาของชั้นปลายขั้ว PT2 และ ขั้นตอนในการพอกส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ซึ่งรวมถึงการพอกชั้นปลายขั้วด้วยความหนาที่เพิ่มขึ้น ความหนาที่เพิ่มขึ้นเป็นการลดลงของความหนาของส่วนประกอบ PT2 อันเนื่องจากขั้นตอนการส่องลำไอออนอย่างน้อยหนึ่งลำ 1 0. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 9 ซึ่งประกอบด้วย ก่อนหน้าขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำ,การพอกหน้ากากไปบนชิ้นขั้วด้านบน P2 ระหว่างระดับคอศูนย์กับช่องว่างด้านหลังเหลือส่วนหน้าต่างระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์ให้เผยส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนด PT2 และพื้นที่ด้านข้างแต่ละด้าน 1 1. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 10 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งประกอบด้วยการส่องลำไอออนลำเดี่ยวเป็นมุมเดี่ยว 0 และ มุม 0 อยู่ในพิสัย 0 องศา น้อยกว่า 0น้อยกว่า60 องศา 1 2. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 10 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนของการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งประกอบด้วยการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สอง ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัยของ 20 องศา น้อยกว่า0 น้อยกว่า40 องศา และ ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัยของ 65 องศา น้อยกว่า0 น้อยกว่า85 องศา 1 3. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 12 ซึ่งประกอบด้วย ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งมีค่าเป็น 30 องศา, และ ลำไอออนที่สองทำมุม 0 ซึ่งมีค่าเป็น 75 องศา 1 4. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 10 ซึ่งประกอบด้วย ก่อนหน้าขั้นตอนของการพอกชั้นแม่เหล็กอีกชั้นหนึ่งดังกล่าว, การพอกชั้นช่องว่าง G บนด้านบนของชั้นแม่เหล็กอย่างน้อยหนึ่งชั้นดังกล่างเพื่อปกคลุมส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ขั้นตอนของการพอกชั้นช่องว่าง G ให้ได้ชั้นความหนาที่ทำให้เกิดชั้นช่องว่าง Gที่มีความยาวเป็น g ที่ ABS; และ ความยาวของส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb ที่ ABS มีค่าเป็น 2g 1 5. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 14 ซึ่งประกอบด้วย ลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งถูกส่องไปพร้อมๆ กัน 1 6. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 14 ซึ่งประกอบด้วย ลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งถูกส่องเรียงต่อกัน 1 7. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 16 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งประกอบด้วยการวางชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ที่มีชั้นพอกอยู่บนนั้นไว้ในห้องกัดเซาะด้วยลำไอออน และการหมุนชิ้นขั้วด้านล่าง P1พร้อมชั้นพอกบนนั้นด้วยความเร็วรอบคงที่ในขณะที่สองลำไอออนไปที่ชิ้นขั้วด้านล่าง P1 และชั้นพอกบนนั้น 1 8. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 17 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการพอกชั้นช่องว่าง 6 รวมถึงการจัดให้มีชั้นช่องว่าง G ที่มีความยาว g อยู่ในพิสัย 0.1 um ถึง 0.7 um; ขั้นตอนในการพอกส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 พร้อมด้วยชั้นความหนาประมาณ 7 um ขั้นตอนในการส่องอย่างน้อยที่สุดไอออนหนึ่งลำรวมถึงการทำ รอยบากบนชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ให้แต่ละรอยบากลึกประมาณ 0.7uท และชั้นฐานสูงประมาณ 0.7 um ; และ ขั้นตอนในการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งจะลดความหนาของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ประมาณ 2 um 1 9. วิธีการทำหัว MR ที่รวมกันซึ่งมีหัวอ่าน MR และหัวเขียนหัวอ่าน MR ประกอบด้วยชั้นกำลังที่หนึ่งและที่สอง S1และ S2, ชั้นช่องว่างที่หนึ่งและที่สอง G1 และ G2 ซึ่งถูกบีบอยู่ระหว่างชั้นกำลังที่หนึ่งและที่สอง S1 และ S2 และส่วนประกอบ MR ซึ่งถูกบีบอยู่ระหว่างชั้นช่องว่างที่หนึ่งและที่สอง G1 และ G2, และหัวเขียนประกอบด้วยชิ้นขั้วด้านล่างและด้านบน P1 และ P2 ซึ่งยื่นจากพื้นผิวแบริ่งอากาศ(ABS) ไปถึงและรวมทั้งช่องว่างด้านหลัง, ชิ้นขั้วด้านล่างP1ซึ่งประกอบด้วยชั้นกำบังที่สอง S 2. ชิ้นขั้วด้านล่าง P1ที่มีส่วนประกอบปลายขั้ว PTla และ PTlb ซึ่งยื่นอยู่ระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์ และชิ้นขั้วด้านบน P2ที่มีส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ซึ่งยื่นอยู่ระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์, ส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb เป็นส่วนฐานเทียบกับชั้นกำลังที่สอง S 2. ชิ้นขั้วด้านล่าง P1 และส่วนประกอบปลายขั้ว PTla, ชั้นกำบังที่สอง S2 ซึ่งประกอบด้วยส่วนประกอบปลายขั้ว PTla และ PTlb, ชั้นช่องว่าง G ซึ่งถูกบีบอยู่ระหว่างส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb กับ PT2, และส่วนประกอบปลายขั้ว PT2, ชั้นช่องว่าง G และ ส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb ต่างก็มีผนังข้าวแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สอง ผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2, ชั้นช่องว่าง G และส่วนประกอบปลายขั้ว PTbl วางตัวติดต่อกันอยู่ในระนาบแนวดิ่งที่หนึ่งและผนังข้างแนวดิ่งที่สองของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2, ชั้นช่องว่าง Gและส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb วางตัวติดต่อกันอยู่ในระนาบดิ่งที่สอง ระนาบดิ่งที่หนึ่งและที่สองตั้งฉากกับ ABS และอยู่ห่างจากกันที่ ABS เป็นระยะห่าง W ทำให้เกิดเป็นความกว้างแทร์กของหัว MR ที่รวมกัน วิธีการในการทำประกอบด้วย การพอกชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งจาก ABS ไปถึงและรวมถึงช่องว่างด้านหลังเพื่อให้เกิดเป็น (1) ชั้นกำบังที่สอง S2 ของหัวอ่าน MR และ (2) ชิ้นขั้วด้านล่าง P1 พร้อมด้วยส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดระหว่าง ABS กับระดับ คอศูนย์ และส่วนหลังระหว่างระดับคอศูนย์กับช่องว่างหลัง การพอกชั้นช่องว่าง G บนด้านบนของชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งจากABS ถึงระดับคอศูนย์ การพอกชั้นแม่เหล็กที่สองไปบนด้านบนของชั้นช่องว่าง G และเหนือชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งเพื่อให้เกิดเป็นชิ้นขั้วด้านบนP2 พร้อมด้วยส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนดแล้ว PT2 ซึ่งมีผนังข้างที่หนึ่งและที่สอง, และ การส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำไปบนพื้นที่ของส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนดของชิ้นขั้วด้านล่าง P1 ในทิศทางขนานกับ ABS และทำมุม 0 กับผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 โดยการใช้ส่วนประกอบปลายขั้วPT2 เป็นหน้ากากในการทำรอยบากบนชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งบนแต่ละข้างของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 รอยบากทำให้เกิดส่วนฐานในแนวดิ่งบนชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งส่วนฐานแนวดิ่งเป็นส่วน ประกอบปลายขั้ว PTlb และทำให้ส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb มีผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สอง และชั้นแม่เหล็กหักออกด้วยส่วนฐานระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์ ประกอบด้วยส่วนประกอบปลายขั้ว PTla, ผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งของส่วนปลายขั้ว PTlb และ PT2 อยู่ตรงแนวกับระนาบดิ่งที่หนึ่งและผนังข้างที่สองของส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb และ PT2 อยู่ตรงกันในระนาบดิ่งที่สอง, ระนาบดิ่งที่หนึ่งและที่สองตั้งฉากกับ ABS และอยู่ห่างจากกันที่ ABSเพื่อให้เกิดเป็นแทร์กความกว้าง W ของหัว MR ที่รวมกัน 2 0. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 19 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำซึ่งรวมถึงการส่องลำไอออนไปที่ชั้นช่องว่าง G ก่อนการส่องลำไอออนไปที่ส่วนปลายขั้วที่ไม่ได้กำหนด, และ ขั้นตอนในการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำเพื่อทำให้เป็นชั้นช่องว่าง G พร้อมด้วยผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองซึ่งอยู่ตรงกันกับผนังข้างแนวดิ่งที่หนึ่งและที่สองของส่วนประกอบขั้ว PTlb และ Pt2 2

1. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 19 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการส่องค่าไอออนหนึ่งลำซึ่งประกอบด้วยการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สอง ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัย 20 องศา น้อยกว่า0น้อยกว่า40 องศา และ ลำไอออนที่สองทำมุม 0 ซึ่งอยู่ในพิสัย 65 องศา น้อยกว่า0น้อยกว่า85 องศา 2

2. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 21 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สองที่ลดความหนาของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2; และ นตอนในการพอกชั้นของแม่เหล็กเพื่อให้เกิดเป็นส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ซึ่งรวมถึงการพอกส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ด้วยความหนาเพิ่มเติม ความหนาเพิ่มเติมนี้เป็นการลดลงของความหนาของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ที่เกิดจากขั้นตอนในการส่องอย่างน้อยที่สุดลำไอออนหนึ่งลำ; และ ก่อนหน้าขั้นตอนในการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สอง การพอกหน้ากากไปบนชิ้นขั้วด้านบน P2 ระหว่างระดับคอศูนย์กับช่องว่างรองหลังซึ่งเว้นหน้าต่างในหน้ากากระหว่าง ABS กับระดับคอศูนย์เพื่อเผยส่วนประกอบปลายขั้วที่กำหนด PT2 และพื้นที่บนแต่ละด้านของมัน 2

3. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 22 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการพอกชั้นช่องว่าง G เพื่อให้เกิดเป็นความหนาของชั้นซึ่งจัดให้มีช่องว่าง G ที่มีความยาว g ที่ ABS; และ ความยาวของส่วนประกอบปลายขั้ว PTlb ที่ ABS อยู่ในพิสัย0.5 g ถึง 3.0 g 2

4. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 23 ซึ่งประกอบด้วย ลำไอออนที่หนึ่งทำมุม 0 ซึ่งมีค่าประมาณ 30 องศา และ ลำไอออนที่สองทำมุม 0 ซึ่งมีค่าประมาณ 75 องศา 2

5. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 24 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการพอกชั้นช่องว่าง G ซึ่งรวมถึงการพอกชั้นช่องว่าง G ให้มีความหนา g ในพิสัย 0.1 um ถึง 0.7 um ขั้นตอนในการพอกส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ให้มีความหนาของชั้นประมาณ 7 um ขั้นตอนในการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งรวมถึงการทำรอยบากบนชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งให้มีความลึกประมาณ 0.7 um ทำให้เกิดเป็นฐานขึ้น ซึ่งมีความสูงประมาณ 0.7 um และ ขั้นตอนในการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งลดความหนาของชั้นของส่วนประกอบปลายขั้ว PT2 ประมาณ 2 um 2

6. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 25 ซึ่งประกอบด้วย ขั้นตอนในการส่องลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งรวมถึงการใส่ชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งซึ่งมีชั้นพอกอยู่ด้านบนไว้ในห้องกัดเซาะด้วยลำไอออน และการหมุนชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งและชั้นพอกที่อยู่ด้านบนด้วยความเร็วรอบคงที่ในขณะที่ส่องลำไอออนไปที่ชั้นแม่เหล็กที่หนึ่งและชั้นพอกที่อยู่ด้านบน 2

7. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 27 ซึ่งประกอบด้วย ลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งถูกส่องพร้อมๆ กัน 2

8. วิธีการตามข้อถือสิทธิ 26 ซึ่งประกอบด้วยลำไอออนที่หนึ่งและที่สองซึ่งถูกส่องเรียงลำดับกัน