TH17737B - อุปกรณ์และวิธีการที่เกี่ยวข้องสำหรับการกัดสลักชั้นรองเคมี - Google Patents

Abstract

สิ่งที่ได้เปิดเผยไว้ได้แก่อุปกรณ์และวิธีการที่เกี่ยวข้อง สำหรับการกัดสลักแผ่นทองแดง ของชั้นรองที่มีแผ่นทองแดงหุ้มทางเคมี ที่สำคัญคือ อุปกรณ์นี้ประกอบด้วยหัวฉีดลำของเหลวซึ่งจะ ทำหน้าที่สร้างลำของน้ำยากัดสลัก หัวฉีดลำของเหลวเหล่านี้จะถูกจัดเรียงไว้ได้อัตราการกัดสลัก ค่อนข้างสูงและความสม่ำเสมอในการกัดสลักที่ค่อนข้างสูงในเวลาเดียวกัน

Claims (4)

1. อุปกรณ์ซึ่งประกอบด้วยผิวที่หนึ่งอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวซึ่งมีขนาดที่แน่นอน ประกอบด้วย ริมทางเข้าและริมทางออก และมีลักษณะเฉพาะที่มีแกนที่ทอดจากริมทางเข้าดังกล่าวไปสู่ริมทางออก ดังกล่าว วิถีทางสำหรับเคลื่อนชั้นรองผ่านผิวดังกล่าว ณ ระยะห่าง H จากผิวดังกล่าวในทิศทางของ การเคลื่อนที่ซึ่งขนานกับแกนดังกล่าวริมทางเข้าทางเข้าดังกล่าวไปยังริมทางออกดังกล่าว มีลักษณะเฉพาะคือ อุปกรณ์ดังกล่าวยังประกอบเพิ่มเติมด้วย หัวฉีดลำของเหลวที่เว้นระยะ ห่างกันจำนวนหนึ่ง ซึ่งแต่ละหัวต่างมีลักษณะโดยเส้นผ่าศูนย์กลาง D และแต่ละหัวสามารถจะ ผลิตลำของเหลวออกมาปะทะกับชั้นรองดังกล่าว หัวฉีดลำของเหลวจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดเรียงไว้ เพื่อว่าเส้นตรงสมมุติที่ลากผ่านผิวดังกล่าวในทิศทางที่ขนานกับทิศทางของการเคลื่อนดังกล่าวซึ่งทอด จากริมทางเข้าดังกล่าวไปสู่ริมทางออกดังกล่าวและตัดผ่านจุดศูนย์กลางของหัวฉีดลำของเหลวอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งหัวตัดผ่านจุดศูนย์กลางของหัวฉีดลำของเหลวเป็นจำนวนรวมเท่า ๆ กับเส้นตรงสมมุติ ดังกล่าวเส้นอื่น ๆ ที่ลากผ่านผิวดังกล่าวในทิศทางที่ขนานกันทิศทางของการเคลื่อนดังกล่าว ซึ่งทอด จากริมทางเข้าดังกล่าวไปสู่ริมทางออกดังกล่าวและตัดผ่านจุดศูนย์กลางของหัวฉีดลำของเหลวอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งหัว เส้นตรงสมมุติดังกล่าวใด ๆ ที่อยู่ชิดกันสองเส้นนั้นมีระยะห่างกัน S1 โดยที่ S1/D มี ค่ามากกว่า 0 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 10 2. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่หัวฉีดลำเหลวใด ๆ ที่อยู่ชิดกันสองหัวฉีดจากบรรดา หัวฉีดจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกแยกห่างกันเป็นระยะโดยที่ S2 และ S2/D มีค่าเท่ากับหรือมากกว่า ประมาณ 2 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 20 3. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ S1/D มีค่ามากกว่า 0 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 1.3 4. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 2 โดยที่ S2/D มีค่าเท่ากับหรือมากกว่าประมาณ 2 แต่น้อยกว่า หรือเท่ากับประมาณ 12 5. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ลำของเหลวดังกล่าวแต่ละลำมีลักษณะเฉพาะที่มี ความเร็วของเหลว V ที่หัวฉีดลำของเหลวดังกล่าวและของเหลวของลำของเหลวดังกล่าวมีลักษณะ เฉพาะที่มีความหนืดจลน์ nu และโดยที่จำนวนเรย์โนลด์สที่เกี่ยวข้องกับลำของเหลวดังกล่าวแต่ละลำ ถูกกำหนดด้วยอัตราส่วน VxD/nu อยู่ในพิสัยตั้งแต่ประมาณ 1,000 ถึงประมาณ 15,000 6. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่อัตราส่วน H/D อยู่ในพิสัยตั้งแต่ประมาณ 0.3 ถึง ประมาณ 12 7. อุปกรณ์สำหรับการปล่อยของเหลวลงบนชั้นรอง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย หัวปล่อยของเหลวที่มีพื้นผิวสำหรับการปล่อย, ริมด้านเข้าและริมด้านออก และ วิถีทางสำหรับการเคลื่อนย้ายชั้นรองขนานและชิดกับพื้นผิวดังกล่าว โดยประมาณในทิศทาง จากริมด้านเข้าดังกล่าวไปยังริมด้านออกดังกล่าว และโดยที่ หัวดังกล่าวมีแถวจำนวนหนึ่งที่มีรูทะลุผ่านพื้นผิวดังกล่าว เพื่อปล่อยของเหลวดังกล่าวลงบน ชั้นรองดังกล่าว รูบนแต่ละแถวนั้นจะวางห่างจากกันและกันอย่างสม่ำเสมอโดยประมาณ แถวดังกล่าวแต่ละแถวที่ประกอบรวมด้วยรูจำนวนมากดังกล่าวและอยู่ในแนวขวางกับ ทิศทางการเคลื่อนย้ายโดยประมาณ และ แต่ละแถวจะถูกทำให้เยื้องกันในทิศทางตามขวางเมื่อเทียบกับแถวอื่น ๆ เพื่อที่ว่าถ้าเส้น สมมุติได้ถูกลากในทิศทางการเคลื่อนย้ายศูนย์กลางของรูแต่ละรู, ก็จะมีการเยื้องกันอย่างคงที่โดย ประมาณในทิศทางตามขวางดังกล่าวระหว่างเส้นสมมุติทุก ๆ สองเส้นที่อยู่ติดกัน 8. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 7 โดยที่แถวดังกล่าวแต่ละแถวโดยทั่วไปจะขนานกันกับแถวอื่น 9. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 8 โดยที่แถวแต่ละแถวดังกล่าวที่มีรูจะทอดตามแนวขวางของหัว ดังกล่าวเป็นส่วนใหญ่ 1 0. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่รูแต่ละรูดังกล่าวมีขนานเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากันโดย ประมาณ และอัตราส่วนของการเยื้องคงที่ระหว่างเส้นสมมุติต่าง ๆ ดังกล่าว ต่อเส้นผ่าศูนย์กลาง ดังกล่าวมากกว่า 0 แต่น้อยกว่า 10 1

1. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 10 โดยที่ระยะทางจากรูดังกล่าวแต่ละรูถึงรูหนึ่งที่อยู่ใกล้ที่สุดจะ คงที่โดยประมาณ และอัตราส่วนของระยะทางคงที่ดังกล่าวต่อขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางดังกล่าวจะมาก กว่า 2 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 20 1 2. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่รูดังกล่าวแต่ละรูมีขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากันโดย ประมาณและอัตราส่วนของการเยื้องคงที่ระหว่างเส้นสมมุติต่าง ๆ ดังกล่าว ต่อเส้นผ่าศูนย์กลาง ดังกล่าวมากกว่า 0 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 1.3 1 3. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 10 โดยที่ระยะทางจากรูดังกล่าวแต่ละรูถึงรูหนึ่งที่อยู่ใกล้ที่สุดจะ คงที่โดยประมาณ และอัตราส่วนของระยะทางคงที่ดังกล่าวต่อขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางดังกล่าวจะมาก กว่า 2 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 12 1 4. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่มีอย่างน้อยที่สุด 3 แถวของรูดังกล่าว 1 5. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 10 โดยที่มีอย่างน้อยที่สุด 3 แถวของรูดังกล่าว 1 6. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 11 โดยที่มีอย่างน้อยที่สุด 3 แถวของรูดังกล่าว 1 7. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 7 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยปั้มสำหรับการบังคับของไหลดังกล่าว ผ่านรูดังกล่าวที่ความเร็วที่พอเพียงเมื่อเทียบกับขนานเส้นผ่าศูนย์กลางของรู, ระยะห่างระหว่างรูและ ระยะห่างระหว่างพื้นผิวสำหรับการปล่อยดังกล่าวและชั้นรอง เพื่อว่าของไหลดังกล่าวจะกระทำต่อ พื้นผิวปฏิบัติการทั้งหมดของชั้นรองดังกล่าวอย่างมีประสิทธิภาพ 1 8. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 8 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยปั้มสำหรับการบังคับของไหลดังกล่าว ผ่านรูดังกล่าวที่ความเร็วที่พอเพียงเมื่อเทียบกับขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของรู, ระยะห่างระหว่างรูและ ระยะห่างระหว่างพื้นผิวสำหรับการปล่อยดังกล่าวและชั้นรอง เพื่อว่าของไหลดังกล่าวจะกระทำต่อ พื้นผิวปฏิบัติการทั้งหมดของชั้นรองดังกล่าวอย่างมีประสิทธิภาพ 1 9. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยปั้มสำหรับการบังคับของไหลดังกล่าว ผ่านรูดังกล่าวที่ความเร็วที่พอเพียงเมื่อเทียบกับขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของรู, ระยะห่างระหว่างรูและ ระยะห่างระหว่างพื้นผิวสำหรับการปล่อยดังกล่าวและชั้นรองเพื่อว่าของไหลดังกล่าวจะกระทำต่อพื้น ผิวปฏิบัติการทั้งหมดของชั้นรองดังกล่าวอย่างมีประสิทธิภาพ 2 0. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 7 โดยที่หมายเลขเรย์โนลด์ที่เกี่ยวข้องกับรูดังกล่าวแต่ละรูและ ของเหลวที่ถูกปล่อยโดยรูแต่ละรูดังกล่าวจะอยู่ระหว่างประมาณ 1,000 และ 15,000 2 1.อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 8 โดยที่หมายเลขเรย์โนลด์สที่เกี่ยวข้องกับรูดังกล่าวแต่ละรูและ ของเหลวที่ถูกปล่อยโดยรูแต่ละรูดังกล่าวจะอยู่ระหว่างประมาณ 1,000 และ 15,000 2

2. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่หมายเลขเรย์โนลด์สที่เกี่ยวข้องกับรูดังกล่าวแต่ละรูและ ของเหลวที่ถูกปล่อยโดยรูแต่ละรูดังกล่าวจะอยู่ระหว่างประมาณ 1,000 และ 15,000 2

3. อุปกรณ์สำหรับการปล่อยของเหลวลงบนชั้นรอง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย หัวปล่อยของเหลวที่มีพื้นผิวสำหรับการปล่อย, ริมด้านเข้าและริมด้านออกและ วิถีทางสำหรับการเคลื่อนย้ายชั้นรองขนานและชิดกับพื้นผิวดังกล่าวโดยประมาณในทิศทาง จากริมด้านเข้าดังกล่าวไปยังริมด้านออกดังกล่าวและโดยที่ หัวดังกล่าวมีแถวจำนวนหนึ่งที่มีรูทะลุผ่านพื้นผิวดังกล่าวเพื่อปล่อยของเหลวดังกล่าวลงบน ชั้นรองดังกล่าว แถวดังกล่าวแต่ละแถวที่ประกอบรวมด้วยรูจำนวนมากดังกล่าวและอยู่ในแนวขวางกับ ทิศทางการเคลื่อนย้ายโดยประมาณและ รูของแถวจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดวางเพื่อว่าถ้าเส้นสมมุติได้ถูกลากในทิศทางการเคลื่อน ย้ายผ่านศูนย์กลางของรูแต่ละรู, ก็จะมีการเยื้องกันอย่างคงที่โดยประมาณในทิศทางตามขวางดังกล่าว ระหว่างเส้นสมมุติทุก ๆ สองเส้นที่อยู่ติดกัน, โดยไม่มีรูสองรูของรูดังกล่าวของแถวจำนวนหนึ่งดัง กล่าวถูกจัดให้อยู่ในแนวตรงกันในทิศทางการเคลื่อนย้ายดังกล่าว 2

4. อุปกรณ์สำหรับการปล่อยของเหลวลงบนชั้นรอง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย หัวปล่อยของเหลวที่มีพื้นผิวสำหรับการปล่อย, ริมด้านเข้าและริมด้านออก และ ลูกกลิ้งที่ถูกจัดวางเพื่อเคลื่อนย้ายชั้นรองขนานและชิดกับพื้นผิวดังกล่าวโดยประมาณใน ทิศทางจากริมด้านเข้าดังกล่าวไปยังริมด้านออกดังกล่าวโดยที่ หัวดังกล่าวมีแถวจำนวนหนึ่งที่มีรูทะลุผ่านพื้นผิวดังกล่าวเพื่อปล่อยของเหลวดังกล่าวลงบน ชั้นรองดังกล่าว แถวดังกล่าวแต่ละแถวที่ประกอบรวมด้วยรูจำนวนมากดังกล่าวและอยู่ในแนวขวางกับ ทิศทางการเคลื่อนย้ายโดยประมาณและ รูของแถวจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดวางเพื่อว่าถ้าเส้นสมมุติได้ถูกลากในทิศทางการเคลื่อน ย้านผ่านศูนย์กลางของรูแต่ละรู, ก็จะมีการเยื้องกันอย่างคงที่โดยประมาณในทิศทางตามขวางดังกล่าว ระหว่างเส้นสมมุติทุก ๆ สองเส้นที่อยู่ติดกัน, โดยไม่มีรูของรูของดังกล่าวของแถวจำนวนหนึ่ง ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในแนวตรงกันในทิศทางการเคลื่อนย้ายดังกล่าว