TH17737B - Related equipment and methods for secondary etching - Google Patents

Related equipment and methods for secondary etching

Info

Publication number
TH17737B
TH17737B TH9501000352A TH9501000352A TH17737B TH 17737 B TH17737 B TH 17737B TH 9501000352 A TH9501000352 A TH 9501000352A TH 9501000352 A TH9501000352 A TH 9501000352A TH 17737 B TH17737 B TH 17737B
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
holes
approximately
fluid
distance
liquid
Prior art date
Application number
TH9501000352A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH22545A (en
Inventor
เจย์ แฟรงโคสกี นายเอ็ดเวิร์ด
โดนัลด์ โจนส์ นายเจฟฟรีย์
เฮนรี แคทีล นายโรเบิร์ต
แบร็กซ์ตัน แร็ทคลิฟฟ์ นายลีน
Original Assignee
นายดำเนิน การเด่น
นายต่อพงศ์ โทณะวณิก
นายวิรัช ศรีเอนกราธา
นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์
Filing date
Publication date
Application filed by นายดำเนิน การเด่น, นายต่อพงศ์ โทณะวณิก, นายวิรัช ศรีเอนกราธา, นายจักรพรรดิ์ มงคลสิทธิ์ filed Critical นายดำเนิน การเด่น
Publication of TH22545A publication Critical patent/TH22545A/en
Publication of TH17737B publication Critical patent/TH17737B/en

Links

Abstract

สิ่งที่ได้เปิดเผยไว้ได้แก่อุปกรณ์และวิธีการที่เกี่ยวข้อง สำหรับการกัดสลักแผ่นทองแดง ของชั้นรองที่มีแผ่นทองแดงหุ้มทางเคมี ที่สำคัญคือ อุปกรณ์นี้ประกอบด้วยหัวฉีดลำของเหลวซึ่งจะ ทำหน้าที่สร้างลำของน้ำยากัดสลัก หัวฉีดลำของเหลวเหล่านี้จะถูกจัดเรียงไว้ได้อัตราการกัดสลัก ค่อนข้างสูงและความสม่ำเสมอในการกัดสลักที่ค่อนข้างสูงในเวลาเดียวกัน The disclosures include related equipment and methods. For etching copper plates The most important chemically covered sub-layer is this device, consisting of a liquid beam nozzle which will Serves to create the trunk of the etch etch These liquid nozzles are arranged to achieve engraved rates. Quite high, and the milling consistency is quite high at the same time

Claims (4)

1. อุปกรณ์ซึ่งประกอบด้วยผิวที่หนึ่งอย่างน้อยที่สุดหนึ่งผิวซึ่งมีขนาดที่แน่นอน ประกอบด้วย ริมทางเข้าและริมทางออก และมีลักษณะเฉพาะที่มีแกนที่ทอดจากริมทางเข้าดังกล่าวไปสู่ริมทางออก ดังกล่าว วิถีทางสำหรับเคลื่อนชั้นรองผ่านผิวดังกล่าว ณ ระยะห่าง H จากผิวดังกล่าวในทิศทางของ การเคลื่อนที่ซึ่งขนานกับแกนดังกล่าวริมทางเข้าทางเข้าดังกล่าวไปยังริมทางออกดังกล่าว มีลักษณะเฉพาะคือ อุปกรณ์ดังกล่าวยังประกอบเพิ่มเติมด้วย หัวฉีดลำของเหลวที่เว้นระยะ ห่างกันจำนวนหนึ่ง ซึ่งแต่ละหัวต่างมีลักษณะโดยเส้นผ่าศูนย์กลาง D และแต่ละหัวสามารถจะ ผลิตลำของเหลวออกมาปะทะกับชั้นรองดังกล่าว หัวฉีดลำของเหลวจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดเรียงไว้ เพื่อว่าเส้นตรงสมมุติที่ลากผ่านผิวดังกล่าวในทิศทางที่ขนานกับทิศทางของการเคลื่อนดังกล่าวซึ่งทอด จากริมทางเข้าดังกล่าวไปสู่ริมทางออกดังกล่าวและตัดผ่านจุดศูนย์กลางของหัวฉีดลำของเหลวอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งหัวตัดผ่านจุดศูนย์กลางของหัวฉีดลำของเหลวเป็นจำนวนรวมเท่า ๆ กับเส้นตรงสมมุติ ดังกล่าวเส้นอื่น ๆ ที่ลากผ่านผิวดังกล่าวในทิศทางที่ขนานกันทิศทางของการเคลื่อนดังกล่าว ซึ่งทอด จากริมทางเข้าดังกล่าวไปสู่ริมทางออกดังกล่าวและตัดผ่านจุดศูนย์กลางของหัวฉีดลำของเหลวอย่าง น้อยที่สุดหนึ่งหัว เส้นตรงสมมุติดังกล่าวใด ๆ ที่อยู่ชิดกันสองเส้นนั้นมีระยะห่างกัน S1 โดยที่ S1/D มี ค่ามากกว่า 0 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 10 2. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่หัวฉีดลำเหลวใด ๆ ที่อยู่ชิดกันสองหัวฉีดจากบรรดา หัวฉีดจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกแยกห่างกันเป็นระยะโดยที่ S2 และ S2/D มีค่าเท่ากับหรือมากกว่า ประมาณ 2 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 20 3. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ S1/D มีค่ามากกว่า 0 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 1.3 4. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 2 โดยที่ S2/D มีค่าเท่ากับหรือมากกว่าประมาณ 2 แต่น้อยกว่า หรือเท่ากับประมาณ 12 5. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่ลำของเหลวดังกล่าวแต่ละลำมีลักษณะเฉพาะที่มี ความเร็วของเหลว V ที่หัวฉีดลำของเหลวดังกล่าวและของเหลวของลำของเหลวดังกล่าวมีลักษณะ เฉพาะที่มีความหนืดจลน์ nu และโดยที่จำนวนเรย์โนลด์สที่เกี่ยวข้องกับลำของเหลวดังกล่าวแต่ละลำ ถูกกำหนดด้วยอัตราส่วน VxD/nu อยู่ในพิสัยตั้งแต่ประมาณ 1,000 ถึงประมาณ 15,000 6. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิข้อที่ 1 โดยที่อัตราส่วน H/D อยู่ในพิสัยตั้งแต่ประมาณ 0.3 ถึง ประมาณ 12 7. อุปกรณ์สำหรับการปล่อยของเหลวลงบนชั้นรอง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย หัวปล่อยของเหลวที่มีพื้นผิวสำหรับการปล่อย, ริมด้านเข้าและริมด้านออก และ วิถีทางสำหรับการเคลื่อนย้ายชั้นรองขนานและชิดกับพื้นผิวดังกล่าว โดยประมาณในทิศทาง จากริมด้านเข้าดังกล่าวไปยังริมด้านออกดังกล่าว และโดยที่ หัวดังกล่าวมีแถวจำนวนหนึ่งที่มีรูทะลุผ่านพื้นผิวดังกล่าว เพื่อปล่อยของเหลวดังกล่าวลงบน ชั้นรองดังกล่าว รูบนแต่ละแถวนั้นจะวางห่างจากกันและกันอย่างสม่ำเสมอโดยประมาณ แถวดังกล่าวแต่ละแถวที่ประกอบรวมด้วยรูจำนวนมากดังกล่าวและอยู่ในแนวขวางกับ ทิศทางการเคลื่อนย้ายโดยประมาณ และ แต่ละแถวจะถูกทำให้เยื้องกันในทิศทางตามขวางเมื่อเทียบกับแถวอื่น ๆ เพื่อที่ว่าถ้าเส้น สมมุติได้ถูกลากในทิศทางการเคลื่อนย้ายศูนย์กลางของรูแต่ละรู, ก็จะมีการเยื้องกันอย่างคงที่โดย ประมาณในทิศทางตามขวางดังกล่าวระหว่างเส้นสมมุติทุก ๆ สองเส้นที่อยู่ติดกัน 8. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 7 โดยที่แถวดังกล่าวแต่ละแถวโดยทั่วไปจะขนานกันกับแถวอื่น 9. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 8 โดยที่แถวแต่ละแถวดังกล่าวที่มีรูจะทอดตามแนวขวางของหัว ดังกล่าวเป็นส่วนใหญ่ 1 0. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่รูแต่ละรูดังกล่าวมีขนานเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากันโดย ประมาณ และอัตราส่วนของการเยื้องคงที่ระหว่างเส้นสมมุติต่าง ๆ ดังกล่าว ต่อเส้นผ่าศูนย์กลาง ดังกล่าวมากกว่า 0 แต่น้อยกว่า 10 11. a device consisting of at least one first surface of a certain size consisting of an entrance and an exit edge. And is characterized by the axes leading from the edge of the said entrance to the said exit edge, the path for passing the sub layer through the surface at a distance H from that surface in the direction of Movement parallel to the axis along the said entrance to the said exit edge There is a unique The device is also equipped with additional Spaced liquid nozzle Some distance apart Each head is characterized by diameter D, and each head can be Produces a stream of liquid to strike with the secondary layer. A number of these liquid nozzles were arranged. So that an imaginary line running across that surface in a direction parallel to that direction spans From the edge of the inlet to the edge of the said exit and cuts through the center of the fluid nozzle At least one of the nozzles passes through the center of the beam nozzles for the total number of imaginary straight lines. Other lines that pass through the surface in parallel directions, the direction of movement that leads from the edge of the inlet to the edge of the said outlet and crosses the center of the fluid nozzle as At least one head Any such hypothetical straight line is S1, where S1 / D is greater than 0, but less than or equal to approximately 10. 2. The device according to claim 1, wherein the jet nozzle Any liquid adjacent to two nozzles from those A number of the aforementioned nozzles are separated at intervals where S2 and S2 / D are approximately 2 or greater, but less than or equal to approximately 20 3. Equipment according to claim 1, where S1 / D is valued. Greater than 0 but less than or equal to approximately 1.3 4. Equipment according to claim 2, where S2 / D is equal or greater than approximately 2 but less than or equal to approximately 12 5. Equipment according to claim 1, where Each of these streams has its own unique characteristics. The fluid velocity V at the beam nozzle and the fluid velocity of the said beam are characterized Where there is a kinetic viscosity nu and where the number of Reynolds involved in each of the said streams The VxD / nu ratio ranges from approximately 1,000 to approximately 15,000 6. Devices according to claim 1, where the H / D ratios range from approximately 0.3 to approximately 12. 7. Devices for the discharge of liquids on. Second floor The device consists of Liquid discharge heads with discharge surfaces, inlet and outlet, and means for transporting the sub layer parallel and closer to the surface. Approximately in the direction From the said side to the said exit edge, and where there are a number of rows with holes through the said head. To release the liquid on Such a secondary class The holes on each row are placed approximately evenly apart from each other. Each such row is made up of one such number of holes and horizontally across. Approximate transport directions and each row are indented in a transverse direction relative to each other so that if the line Supposedly dragged in the direction of displacement of the center of each hole, they are constant indentation by Approximately in the aforementioned transverse direction between every two adjacent imaginary lines 8. Equipment according to claim 7 where each such row is generally parallel to the other 9. Equipment according to claim 8 by On each of those rows with holes spread across the head. 1 0. The device according to claim 9, where each hole has approximately equal parallel diameter and the ratio of the indentation between the assumed lines to the diameter. Above 0 but less than 10 1 1. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 10 โดยที่ระยะทางจากรูดังกล่าวแต่ละรูถึงรูหนึ่งที่อยู่ใกล้ที่สุดจะ คงที่โดยประมาณ และอัตราส่วนของระยะทางคงที่ดังกล่าวต่อขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางดังกล่าวจะมาก กว่า 2 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 20 1 2. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่รูดังกล่าวแต่ละรูมีขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางเท่ากันโดย ประมาณและอัตราส่วนของการเยื้องคงที่ระหว่างเส้นสมมุติต่าง ๆ ดังกล่าว ต่อเส้นผ่าศูนย์กลาง ดังกล่าวมากกว่า 0 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 1.3 1 3. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 10 โดยที่ระยะทางจากรูดังกล่าวแต่ละรูถึงรูหนึ่งที่อยู่ใกล้ที่สุดจะ คงที่โดยประมาณ และอัตราส่วนของระยะทางคงที่ดังกล่าวต่อขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางดังกล่าวจะมาก กว่า 2 แต่น้อยกว่าหรือเท่ากับประมาณ 12 1 4. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่มีอย่างน้อยที่สุด 3 แถวของรูดังกล่าว 1 5. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 10 โดยที่มีอย่างน้อยที่สุด 3 แถวของรูดังกล่าว 1 6. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 11 โดยที่มีอย่างน้อยที่สุด 3 แถวของรูดังกล่าว 1 7. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 7 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยปั้มสำหรับการบังคับของไหลดังกล่าว ผ่านรูดังกล่าวที่ความเร็วที่พอเพียงเมื่อเทียบกับขนานเส้นผ่าศูนย์กลางของรู, ระยะห่างระหว่างรูและ ระยะห่างระหว่างพื้นผิวสำหรับการปล่อยดังกล่าวและชั้นรอง เพื่อว่าของไหลดังกล่าวจะกระทำต่อ พื้นผิวปฏิบัติการทั้งหมดของชั้นรองดังกล่าวอย่างมีประสิทธิภาพ 1 8. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 8 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยปั้มสำหรับการบังคับของไหลดังกล่าว ผ่านรูดังกล่าวที่ความเร็วที่พอเพียงเมื่อเทียบกับขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของรู, ระยะห่างระหว่างรูและ ระยะห่างระหว่างพื้นผิวสำหรับการปล่อยดังกล่าวและชั้นรอง เพื่อว่าของไหลดังกล่าวจะกระทำต่อ พื้นผิวปฏิบัติการทั้งหมดของชั้นรองดังกล่าวอย่างมีประสิทธิภาพ 1 9. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 ที่ยังประกอบเพิ่มเติมด้วยปั้มสำหรับการบังคับของไหลดังกล่าว ผ่านรูดังกล่าวที่ความเร็วที่พอเพียงเมื่อเทียบกับขนาดเส้นผ่าศูนย์กลางของรู, ระยะห่างระหว่างรูและ ระยะห่างระหว่างพื้นผิวสำหรับการปล่อยดังกล่าวและชั้นรองเพื่อว่าของไหลดังกล่าวจะกระทำต่อพื้น ผิวปฏิบัติการทั้งหมดของชั้นรองดังกล่าวอย่างมีประสิทธิภาพ 2 0. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 7 โดยที่หมายเลขเรย์โนลด์ที่เกี่ยวข้องกับรูดังกล่าวแต่ละรูและ ของเหลวที่ถูกปล่อยโดยรูแต่ละรูดังกล่าวจะอยู่ระหว่างประมาณ 1,000 และ 15,000 2 1.อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 8 โดยที่หมายเลขเรย์โนลด์สที่เกี่ยวข้องกับรูดังกล่าวแต่ละรูและ ของเหลวที่ถูกปล่อยโดยรูแต่ละรูดังกล่าวจะอยู่ระหว่างประมาณ 1,000 และ 15,000 21. Device according to claim 10, where the distance from each of these holes to the nearest one will Approximately constant And the ratio of the aforementioned fixed distance to the aforementioned diameter is greater than 2 but less than or equal to approximately 20 1 2. Equipment in claim 9 whereby each such hole has the same diameter by Estimates and the ratio of constant indentation between these assumed lines to diameter. 1.3 1 3. Device according to claim 10 where the distance from each hole to the nearest one will be greater than 0, but less than or equal to approx. Approximately constant And the ratio of the aforementioned fixed distance to the aforementioned diameter is greater than 2 but less than or equal to approximately 12 1 4. Equipment according to claim 9, with at least 3 rows of the said holes 1 5. Equipment According to claim 10, with at least three rows of the holes 1 6. Equipment per claim 11 with at least 3 rows of holes 1 7. Equipment per claim 7 still assembled. Additional with a pump for controlling the fluid Through such holes at a sufficient speed relative to the parallel hole diameter, distance between holes and The distance between the surface for such discharge and the sub layer. So that the said fluid will continue All operating surfaces of such substrates are efficient 1 8. The equipment of claim 8 is additionally equipped with a pump for manipulating the said fluid. Through such holes at a sufficient speed relative to the hole diameter, the distance between the holes and The distance between the surface for such discharge and the sub layer. So that the said fluid will continue All operating surfaces of such substrates are efficient 1 9. The device of claim 9 is additionally equipped with a pump for manipulating the said fluid. Through such holes at a sufficient speed relative to the hole diameter, the distance between the holes and The distance between the surface for the discharge and the sub layer so that the fluid will act against the floor. All operating surfaces of the aforementioned layers effectively 2 0. Device in accordance with claim 7, where the Reynolds number associated with each such hole and The fluid released by each of these holes will be between approximately 1,000 and 15,000 2 1. Equipment according to claim 8, where the Reynolds number associated with each hole and The fluid released by each of these holes is between approximately 1,000 and 15,000 2. 2. อุปกรณ์ตามข้อถือสิทธิ 9 โดยที่หมายเลขเรย์โนลด์สที่เกี่ยวข้องกับรูดังกล่าวแต่ละรูและ ของเหลวที่ถูกปล่อยโดยรูแต่ละรูดังกล่าวจะอยู่ระหว่างประมาณ 1,000 และ 15,000 22. Equipment according to claim 9, where the Reynolds number associated with each of these holes and The fluid released by each of these holes is between approximately 1,000 and 15,000 2. 3. อุปกรณ์สำหรับการปล่อยของเหลวลงบนชั้นรอง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย หัวปล่อยของเหลวที่มีพื้นผิวสำหรับการปล่อย, ริมด้านเข้าและริมด้านออกและ วิถีทางสำหรับการเคลื่อนย้ายชั้นรองขนานและชิดกับพื้นผิวดังกล่าวโดยประมาณในทิศทาง จากริมด้านเข้าดังกล่าวไปยังริมด้านออกดังกล่าวและโดยที่ หัวดังกล่าวมีแถวจำนวนหนึ่งที่มีรูทะลุผ่านพื้นผิวดังกล่าวเพื่อปล่อยของเหลวดังกล่าวลงบน ชั้นรองดังกล่าว แถวดังกล่าวแต่ละแถวที่ประกอบรวมด้วยรูจำนวนมากดังกล่าวและอยู่ในแนวขวางกับ ทิศทางการเคลื่อนย้ายโดยประมาณและ รูของแถวจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดวางเพื่อว่าถ้าเส้นสมมุติได้ถูกลากในทิศทางการเคลื่อน ย้ายผ่านศูนย์กลางของรูแต่ละรู, ก็จะมีการเยื้องกันอย่างคงที่โดยประมาณในทิศทางตามขวางดังกล่าว ระหว่างเส้นสมมุติทุก ๆ สองเส้นที่อยู่ติดกัน, โดยไม่มีรูสองรูของรูดังกล่าวของแถวจำนวนหนึ่งดัง กล่าวถูกจัดให้อยู่ในแนวตรงกันในทิศทางการเคลื่อนย้ายดังกล่าว 23.Device for discharging liquid on the secondary layer. The device consists of Liquid discharge head with discharge surface, inlet and outlet and The path for moving the sub layer is approximately parallel and close to the surface in a direction. From the said side to the said side and where The head has a number of rows with holes that pass through the surface to release the liquid onto it. Such a secondary class Each such row is made up of one such number of holes and horizontally across. Approximate direction of movement and A number of the holes of the aforementioned rows are positioned so that if an imaginary line is drawn in the direction of motion, Moving through the center of each hole, there are approximately constant indentations in that transverse direction. Between every two adjacent imaginary lines, without the two holes of such holes of a certain row as Are aligned in the direction of movement thereof 2 4. อุปกรณ์สำหรับการปล่อยของเหลวลงบนชั้นรอง อุปกรณ์ดังกล่าวประกอบด้วย หัวปล่อยของเหลวที่มีพื้นผิวสำหรับการปล่อย, ริมด้านเข้าและริมด้านออก และ ลูกกลิ้งที่ถูกจัดวางเพื่อเคลื่อนย้ายชั้นรองขนานและชิดกับพื้นผิวดังกล่าวโดยประมาณใน ทิศทางจากริมด้านเข้าดังกล่าวไปยังริมด้านออกดังกล่าวโดยที่ หัวดังกล่าวมีแถวจำนวนหนึ่งที่มีรูทะลุผ่านพื้นผิวดังกล่าวเพื่อปล่อยของเหลวดังกล่าวลงบน ชั้นรองดังกล่าว แถวดังกล่าวแต่ละแถวที่ประกอบรวมด้วยรูจำนวนมากดังกล่าวและอยู่ในแนวขวางกับ ทิศทางการเคลื่อนย้ายโดยประมาณและ รูของแถวจำนวนหนึ่งดังกล่าวถูกจัดวางเพื่อว่าถ้าเส้นสมมุติได้ถูกลากในทิศทางการเคลื่อน ย้านผ่านศูนย์กลางของรูแต่ละรู, ก็จะมีการเยื้องกันอย่างคงที่โดยประมาณในทิศทางตามขวางดังกล่าว ระหว่างเส้นสมมุติทุก ๆ สองเส้นที่อยู่ติดกัน, โดยไม่มีรูของรูของดังกล่าวของแถวจำนวนหนึ่ง ดังกล่าวถูกจัดให้อยู่ในแนวตรงกันในทิศทางการเคลื่อนย้ายดังกล่าว4.Device for discharging liquid on the secondary layer. The device consists of Liquid discharge head with discharge surface, inlet and outlet, and rollers positioned to move the substrate approximately parallel and close to the surface in Direction from the said inward side to the said exit side, where The head has a number of rows with holes that pass through the surface to release the liquid onto it. Such a secondary class Each such row is made up of one such number of holes and horizontally across. Approximate direction of movement and A number of the holes of the aforementioned rows are positioned so that if an imaginary line is drawn in the direction of motion, Through the center of each hole, approximately constant indentation in such a transverse direction. Between every two adjacent imaginary lines, without any holes of such holes of a row. It is aligned in the direction of such movement.
TH9501000352A 1995-02-22 Related equipment and methods for secondary etching TH17737B (en)

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TH22545A TH22545A (en) 1996-12-24
TH17737B true TH17737B (en) 2004-10-04

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6045874A (en) Fluid delivery method
US5614264A (en) Fluid delivery apparatus and method
US8800477B2 (en) Module, nozzle and method for dispensing controlled patterns of liquid material
CA2437292A1 (en) Spray gun with improved pre-atomization fluid mixing and breakup
MY132202A (en) Multiple layer coating method
JP4638674B2 (en) Nozzle and method for discharging liquid material
US8851059B2 (en) Self-cleaning wiresaw apparatus and method
US20240399395A1 (en) Showerhead including spray nozzle and deflector
US5435885A (en) Apparatus and method for fluid processing of electronic packaging with flow pattern change
US7462240B2 (en) Module, nozzle and method for dispensing controlled patterns of liquid material
TH17737B (en) Related equipment and methods for secondary etching
CA2017290A1 (en) Apparatus for processing and/or cleaning articles, in particular circuit boards incorporating drilling or drilled holes, with the aid of a liquid that is applied in a surge
TH22545A (en) Related equipment and methods for secondary etching
EP1577018A2 (en) Coating apparatus and coating method
CA2026517A1 (en) Method of processing board-like objects, for example, printed circuit boards
CN1398425A (en) Transfer type substrate treating device
JP2599100B2 (en) DI can separator
CA2331078A1 (en) Method and apparatus for preventing undesirable cooling of the strip edge areas of a cast strand
JPH0394865A (en) Apparatus for coating treating liquid
AU746118B2 (en) Fluid treatment apparatus and method
KR850000824B1 (en) Gas-liquid cooling apparatus
JP2002184749A (en) Substrate processing equipment
JPH11309401A (en) Liquid injection device
KR20180065103A (en) Apparatus for jetting mixed fluid with nozzle of slit type
KR101328722B1 (en) substrate cleaning apparatus