TH160104B - แหล่งกำเนิดพลาสมา - Google Patents

Abstract

คำขอใหม่ปรับปรุงวันที่ 12/04/2559 การประดิษฐ์ในปัจจุบันที่ข้องเกี่ยวกับอุปกรณ์ให้กำหนดพลาสมาที่ประกอบด้วยแหล่งกำเนิด พลาสมาที่มีส่วนประกอบแหล่งกำเนิดพลาสมาที่เป็นโพรง (1) และหน่วยการปล่อยอิเล็กตรอน (5) ที่ซึ่งมัน เป็นไปได้ที่จะแผ่อิเล็กตรอนอิสระเข้าไปในแหล่งกำเนินพลาสมาที่เป็นโพรง ในที่ซึ่งแหล่งกำเนิดพลาสมาที่ เป็นโพรง (1) มีช่องออกก๊าซที่หนึ่ง (7a) และช่องเปิดแหล่งกำเนิดพลาสมา (10) ที่ซึ่งจัดรูปแบบการเปิดไป ยังห้องสูญญากาศและที่ประกอบเพิ่มเติมของโครงแอโนดที่เป็นโพรง (2) ในที่ซึ่งโครงแอโนดที่เป็นโพรง (2) มีช่องออกก๊าซที่สอง (7b) และช่องเปิดแอโนด (11) ที่ซึ่งจัดรูปแบบการเปิดไปยังห้องสูญญากาศและ แหล่งกำเนิดแรงดันไฟฟ้า (8) ที่ขั้วลบซึ่งถูกเชื่อมต่อกับหน่วยการปล่อยอิเล็กตรอน (5) และขั้วบวกซึ่งถูก เชื่อมต่อกับโครงแอโนดที่เป็นโพรง (2) ในที่ซึ่งขั้วบวกของแหล่งกำเนิดแรงดันไฟฟ้า (8) ถูกเชื่อมต่อทาง ไฟฟ้านอกจากนี้ โดยวิธีการของตัวเปลี่ยนทางที่หนึ่ง (6a) กับส่วนประกอบแหล่งกำเนิดพลาสมาที่เป็นโพรง

Claims (1)

1. คำขอใหม่ปรับปรุงวันที่ 12/04/2559 1. อุปกรณ์ที่ให้กำเนิดพลาสมา ประกอบด้วย - แหล่งกำเนิดพลาสมาที่มีแหล่งกำเหนิดพลาสมาที่เป็นโพรง (1) และหน่วยการปล่อย อิเล็กตรอน (5) ที่ซึ่งยอมให้อิเล็กตรอนอิสระกระจายเข้าไปในแหล่งกำเนิดพลาสมาที่เป็นโพรง ในที่ซึ่ง แหล่งกำเนิดพลาสมาที่เป็นโพรง (1) มีช่องออกก๊าซที่หนึ่ง (7a) และช่องเปิดแหล่งกำเนิดพลาสมา (10) ที่ซึ่ง จัดรูปแบบการเปิดไปยังห้องส