RU2015145958A - Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом - Google Patents
Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015145958A RU2015145958A RU2015145958A RU2015145958A RU2015145958A RU 2015145958 A RU2015145958 A RU 2015145958A RU 2015145958 A RU2015145958 A RU 2015145958A RU 2015145958 A RU2015145958 A RU 2015145958A RU 2015145958 A RU2015145958 A RU 2015145958A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- gas
- hollow cathode
- frequency radiation
- radiation generator
- generator based
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J17/00—Gas-filled discharge tubes with solid cathode
- H01J17/02—Details
Claims (2)
1. Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом, содержащий газоразрядную камеру, образованную электродами - полым катодом и анодом, к электродам камеры подключены источник питания и электрическая нагрузка, к камере подсоединена система создания газоразрядной среды, отличающийся тем, что в качестве газа, формирующего газоразрядную среду, использован газ с более высоким, чем у кислорода, значением энергии сродства молекулы к электрону.
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в качестве газа, формирующего газоразрядную среду, использован газ SF6(элегаз).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015145958A RU2624000C2 (ru) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015145958A RU2624000C2 (ru) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015145958A true RU2015145958A (ru) | 2017-05-02 |
| RU2624000C2 RU2624000C2 (ru) | 2017-06-30 |
Family
ID=58697974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015145958A RU2624000C2 (ru) | 2015-10-26 | 2015-10-26 | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2624000C2 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU189839U1 (ru) * | 2019-01-21 | 2019-06-06 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") | Генератор высокочастотных импульсов на основе разряда с полым катодом |
| RU2736772C1 (ru) * | 2020-05-18 | 2020-11-20 | Общество с ограниченной ответственностью "Импульсные технологии" | Газоразрядный прибор на основе полого катода для генерации мощных ВЧ-импульсов |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4008413A (en) * | 1975-03-03 | 1977-02-15 | Hughes Aircraft Company | Compact high voltage feedthrough for gas discharge devices |
| JP3123735B2 (ja) * | 1995-04-28 | 2001-01-15 | 株式会社日立製作所 | イオンビーム処理装置 |
| RU2141701C1 (ru) * | 1997-05-22 | 1999-11-20 | Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН | Способ плазмохимического травления кремнийсодержащих материалов |
| US20060054279A1 (en) * | 2004-09-10 | 2006-03-16 | Yunsang Kim | Apparatus for the optimization of atmospheric plasma in a processing system |
| RU2451114C2 (ru) * | 2010-07-05 | 2012-05-20 | Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") | Устройство для локального плазмохимического травления подложек |
| RU2433081C1 (ru) * | 2010-07-08 | 2011-11-10 | Российская академия наук Учреждение Российской академии наук Физико-технологический институт РАН (ФТИАН) | Способ ионно-лучевой обработки |
| TWI427183B (zh) * | 2010-11-25 | 2014-02-21 | Ind Tech Res Inst | 電漿處理裝置 |
| RU134697U1 (ru) * | 2013-04-30 | 2013-11-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом |
-
2015
- 2015-10-26 RU RU2015145958A patent/RU2624000C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2624000C2 (ru) | 2017-06-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2551176T3 (es) | Un procedimiento de acondicionamiento de un supercondensador a su voltaje de trabajo | |
| WO2016099218A3 (ko) | 중합체 및 이를 포함하는 유기 태양 전지 | |
| ATE518409T1 (de) | Vorrichtung und prozess zum erzeugen, beschleunigen und ausbreiten von strahlen von elektronen und plasma | |
| NZ626968A (en) | High voltage high current vacuum integrated circuit | |
| JP2011204681A5 (ru) | ||
| RU2014130057A (ru) | Удлиненный каскадный плазмотрон | |
| MX2015008261A (es) | Dispositivo de bombardeo de iones y metodo para usar el mismo para limpiar una superficie de sustrato. | |
| RU2015145958A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| MY174916A (en) | Plasma source | |
| RU170980U1 (ru) | Газоразрядный коммутирующий прибор со щелевой конфигурацией отверстий сеточного узла | |
| RU2015100885A (ru) | Искровой разрядник | |
| RU171094U1 (ru) | Газоразрядный коммутирующий прибор с инверсным расположением отверстий в сеточном узле | |
| RU2012100143A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| WO2012036491A3 (ko) | 누설 전류형 변압기를 이용한 플라즈마 처리장치 | |
| RU2008145410A (ru) | Клистронный генератор | |
| RU2013129588A (ru) | Плазменный источник проникающего излучения | |
| RU2013119014A (ru) | Способ синтеза полых наночастиц гамма-al2o3 | |
| UA105621C2 (ru) | Электроакустический преобразователь | |
| TW201615061A (en) | Long-arc type discharge lamp | |
| RU137430U1 (ru) | Разборный макет газоразрядного прибора | |
| RU2013113063A (ru) | Способ и устройство получения водорода и кислорода из водяного пара с электрической гравитационной водородной ячейкой | |
| UY38109A (es) | Equipo para producir hidrógeno y oxígeno mediante descargas de alto voltaje en agua deionizada | |
| CN203339112U (zh) | 变频高压钠灯泡体 | |
| RU2012109171A (ru) | Генератор широкоаппертурного потока газоразрядной плазмы | |
| RU2015150116A (ru) | Способ получения углеродных нанотрубок из графита |