TH14823B - ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำ - Google Patents

Abstract

DC60 (31/01/43) ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำเพื่อทดสอบว่าวัตถุทดสอบ เช่นชิ้นส่วนสารกึ่งตัว นำดีหรือเลวจะเก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพการปฏิบัติการเพื่อเพิ่มอัตราเร็วการปฏิบัติการของ เครื่องทดสอบสำหรับทดสอบวัตถุทดสอบและอุปกรณ์ขนย้ายสำหรับขนย้ายวัตถุทดสอบอุปกรณ์รี เลย์ 20 ที่ซึ่งเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ขนย้าย 30A และอุปกรณ์ขนย้าย 30B และเครื่องทดสอบ 40, จะ เก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพการปฏิบัติการจากอุปกรณ์เหล่านี้ จะทำการนับจำนวนวัตถุทดสอบ และส่งข้อมูลกับจำนวนนับไปที่อุปกรณ์ให้บริการ 50A และอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูล 50B โดยขึ้นอยู่ กับข้อมูลและจำนวนนับที่เก็บรวบรวมอุปกรณ์ให้บริการ 50A จะคำนวณเวลาการปฏิบัติการของ อุปกรณ์ขนย้าย 30A กับ 30B และเครื่องทดสอบ 40 ที่จำเป็นสำหรับทำการทดสอบวัตถุทดสอบ หน่วยหนึ่ง เมื่อทำการทดสอบในภายหลังอุปกรณ์ขนย้าย 30A จะอ้างอิงเวลาการปฏิบัติการเพื่อค้น หาการรวมกันที่เหมาะสมที่สุดของอุปกรณ์ขนย้ายกับเครื่องทดสอบ ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำเพื่อทดสอบว่าวัตถุทดสอบ เช่นชิ้นส่วนสารกึ่งตัว นำดีหรือเลวจะเก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพการปฏิบัติการเพื่อเพิ่มอัตราเร็วการปฏิบัติการของ เครื่องทดสอบสำหรับทดสอบวัตถุทดสอบและอุปกรณ์ขนย้ายสำหรับขนย้ายวัตถุทดสอบอุปกรณ์รี เลย์ 20 ที่ซึ่งเชื่อมต่อกับอุปกรณ์ขนย้าย 30A และอุปกรณ์ขนย้าย 30B และเครื่องทดสอบ 40 จะ เก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพการปฏิบัติการจากอุปกรณ์เหล่านี้ จะทำการนับจำนวนวัตถุทดสอบ และส่งข้อมูลกับจำนวนนับไปที่อุปกรณ์ให้บริการ 50A และอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูล 50B โดยขึ้นอยู่ กับข้อมูลและจำนวนนับที่เก็บรวบรวมอุปกรณ์ให้บริการ 50A จะคำนวณเวลาการปฏิบัติการของ อุปกรณ์ขนย้าย 30A กับ 30B และเครื่องทดสอบ 40 ที่จำเป็นสำหรับทำการทดสอบวัตถุทดสอบ หน่วยหนึ่ง เมื่อทำการทดสอบในภายหลังอุปกรณ์ขนย้าย 30A จะอ้างอิงเวลาการปฏิบัติการเพื่อค้น หาการรวมกันที่เหมาะสมที่สุดของอุปกรณ์ขนย้ายกับเครื่องทดสอบ

Claims (8)

1. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำเพื่อใช้ในการทดสองวัตถุทดสอบ ระบบ ดังกล่าวประกอบร่วมด้วย วิถีทางทดสอบสำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบเพื่อวินิจฉัยคุณภาพของวัตถุทดสอบดังกล่าว วิถีทางขนย้ายสำหรับจัดส่งวัตถุทดสอบไป และสำหรับนำวัตถุทดสอบกลับจาก วิถีทาง ทดสอบดังกล่าว วิถีทางปรับตั้งสำหรับการปรับตั้งผลของคุณภาพของวัตถุทดสอบที่วินิจฉัยโดยวิถีทาง ทดสอบดังกล่าว วิถีทางปรับตั้งสำหรับการปรับตั้งผลของคุณภาพของวัตถุทดสอบที่วินิจฉัยโดยวิถีทาง ทดสอบดังกล่าว โดยที่ผลทางคุณภาพแสดงถึงผลที่ยอมรับได้ของวัตถุทดสอบที่ถูกทดสอบซึ่งมี คุณภาพเป็นที่น่าพอใจ วิถีทางคำนวณสำหรับคำนวณผลอันแท้จริงของวัตถุทดสอบซึ่งได้รับการวินิจฉัยอย่างแท้จริง เพื่อให้ได้คุณภาพอันเป็นที่พอใจโดยวิถีทางทดสอบดังกล่าว และ วิถีทางสำหรับการพิจารณาเพื่อการตัดสินว่าวัตถุทดสอบดังกล่าวจะต้องทำการทดสอบซ้ำ โดยการเปรียงเทียบผลของคุณภาพกับผลที่แท้จริงหรือไม่ 2. ระบบการทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำดังที่กำหนดไว้ในข้อถือสิทธิข้อ 1 อัน ประกอบเพิ่มเติมร่วมด้วยวิถีทางเก็บรวบรวมเพื่อการเก็บรักษาสภาวะของวิถีทางทดสอบดังกล่าว สำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบ โดยที่วิถีทางทดสอบดังกล่าวสามารถปฏิบัติงานเพื่ออ่านค่า สภาวะจากวิถีทางเก็บรวบรวมดังกล่าวเพื่อทำการทดสอบซ้ำวัตถุทดสอบ 3. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำดังที่กำหนดในข้อถือสิทธิข้อ 1 อัน ประกอบเพิ่มเติมร่วมด้วย วิถีทางนับสำหรับการนับวัตถุทดสอบ วิถีทางเก็บรวบรวมสำหรับการเก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการเมื่อเทียบกับ สถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวิถีทางทดสอบดังกล่าวและวิถีทางขนย้ายดังกล่าว ข้อมูลสถานะ การปฏิบัติงานรวมถึงเวลาการรอคอยระหว่างที่วัตถุทดสอบรอคอยเพื่อรับการทดสอบโดยวิถีทาง ทดสอบดังกล่าว เวลาในการทดสอบระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกทดสอบโดยวิถีทางทดสอบดังกล่าว และเวลาในการแลกเปลี่ยนระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกจัดส่งและนำกลับโดยวิถีทางขนย้ายดังกล่าว และ วิถีทางคำนวณสำหรับคำนวณเวลาในการปฏิบัติการของวิถีทางทดสอบดังกล่าวและวิถีทาง ขนย้ายดังกล่าวที่จำเป็นเพื่อการทดสอบวัตถุทดสอบหนึ่งอัน โดยมีพื้นฐานจากข้อมูลสถานะภาพ สำหรับปฏิบัติการที่รวบรวมโดยวิถีทางเก็บรวบรวมดังกล่าวเพื่อจัดให้มีการรวมกันที่เหมาะสมที่สุด ของวิถีทางทดสอบดังกล่าวและวิถีทางขนย้ายดังกล่าว 4. ระบบการทดสอบเพื่อใช้สำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบดังกล่าวด้วยชิ้นส่วนที่ใช้ สำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบ ระบบดังกล่าวประกอบร่วมด้วย วิถีทางทดสอบสำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบเพื่อวินิจฉัยคุณภาพของวัตถุทดสอบดังกล่าว วิถีทางขนย้ายสำหรับจัดส่งวัตถุทดสอบไป และสำหรับนำวัตถุทดสอบกลับจาก วิถีทาง ทดสอบดังกล่าว วิถีทางหน่วยความจำสำหรับเก็บข้อมูลของข้อกำหนดเกี่ยวกับความทนทานสำหรับชิ้นส่วน ที่ใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบ วิถีทางครอบครองสำหรับการได้มาซึ่งข้อมูลประวัติการใช้สำหรับชิ้นส่วนและ วิถีทางวินิจฉัยสำหรับวินิจฉัยว่าชิ้นส่วนแต่ละชิ้นสามารถใช้ได้หรือไม่โดยการเปรียบเทียบข้อ มูลเกี่ยวกับข้อกำหนดกับข้อมูลประวัติการใช้งานสำหรับชิ้นส่วน 5. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำดังที่กำหนดข้างต้นในข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่ ประกอบเพิ่มเติมร่วมด้วยวิถีทางครอบครองสำหรับการได้มาซึ่งข้อมูลเกี่ยวกับประวัติการใช้งานซึ่ง รวมถึงข้อมูลเกี่ยวกับสถานะการใช้งานสำหรับชิ้นส่วนที่ถูกใช้เมื่อวัตถุทดสอบถูกทดสอบซ้ำ 6. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำดังที่กำหนดข้างต้นในข้อถือสิทธิข้อ 4 ที่ ประกอบเพิ่มเติมร่วมด้วย วิถีทางนับสำหรับการนับวัตถุทดสอบ วิถีทางเก็บรวมรวมสำหรับการเก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการเมื่อเทียบกับ สถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวิถีทางทดสอบดังกล่าวและวิถีทางขนย้ายดังกล่าว ข้อมูลสถานะ การปฏิบัติงานรวมถึงเวลาการรอคอยระหว่างที่วัตถุทดสอบรอคอยเพื่อรับการทดสอบโดยวิถีทาง ทดสอบดังกล่าว เวลาในการทดสอบระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกทดสอบโดยวิถีทางทดสอบดังกล่าว และเวลาในการแลกเปลี่ยนระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกจัดส่งและนำกลับโดยวิถีทางขนย้ายดังกล่าว และ วิถีทางคำนวณสำหรับคำนวณเวลาในการปฏิบัติการของวิถีทางทดสอบดังกล่าวและวิถีทาง ขนย้ายดังกล่าวที่จำเป็นเพื่อการทดสอบวัตถุทดสอบหนึ่งอัน โดยมีพื้นฐานจากข้อมูลสถานะ ภาพสำหรับปฏิบัติการที่รวบรวมโดยวิถีทางเก็บรวบรวมดังกล่าวเพื่อจัดให้มีการรวมกันที่เหมาะสมที่ สุดของวิถีทางทดสอบดังกล่าวและวิถีทางขนย้ายดังกล่าว 7. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำสำหรับใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบ ระบบดังกล่าวประกอบร่วมด้วย เครื่องทดสอบที่ทำงานเพื่อทดสอบวัตถุทดสอบเพื่อวินิจฉัยคุณภาพของวัตถุทดสอบ อุปกรณ์ขนย้ายที่ทำงานเพื่อจัดส่งวัตถุทดสอบไปและนำวัตถุทดสอบกลับจากเครื่องทดสอบ ดังกล่าว อุปกรณ์รีเลย์ที่ทำงานเกี่ยวข้องกับเครื่องทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวเพื่อที่ ว่าอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวทำงานเพื่อติดต่อข่าวสารกับเครื่องทดสอบดังกล่าวและตัวรีเลย์ดังกล่าว ตัวรีเลย์ดังกล่าวสามารถทำงานเพื่อคำนวณผลที่แท้จริงของวัตถุทดสอบดังกล่าวซึ่งได้ถูก วินิจฉัยอย่างแท้จริงว่ามีคุณภาพเป็นที่น่าพอใจโดยเครื่องทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์ให้บริการที่ทำงานเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวเพื่อที่ว่าอุปกรณ์ให้บริการดัง กล่าวทำงานเพื่อติดต่อข่าวสารกับอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าว อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวสามารถทำงาน เพื่อตั้งผลทางคุณภาพของวัตถุทดสอบที่ถูกวินิจฉัยโดยเครื่องทดสอบดังกล่าว โดยที่ผลทางคุณ ภาพของแสดงถึงที่ยอมรับได้ของการทดสอบวัตถุทดสอบและเพื่อพิจารณาว่าวัตถุทดสอบต้องถูก ทดสอบซ้ำหรือไม่โดยเปรียบเทียบผลทางคุณภาพกับผลที่แท้จริง 8. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 7 อัน ประกอบเพิ่มเติมร่วมด้วย อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลที่ทำงานเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวเพื่อที่ว่าอุปกรณ์ให้ บริการดังกล่าวจะทำงานเพื่อการติดต่อข่าวสารของอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดังกล่าว อุปกรณ์หน่วย เก็บข้อมูลดังกล่าวทำงานเพื่อการเก็บสภาวะของเครื่องทดสอบดังกล่าวสำหรับการทดสอบวัตถุ ทดสอบ โดยที่เครื่องทดสอบดังกล่าวทำงานเพื่อการอ่านสภาวะจากอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดัง กล่าวออกมาเพื่อทดสอบวัตถุทดสอบซ้ำ 9. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 7 โดยที่ อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวทำงานเพิ่มเติมเพื่อเก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการ เมื่อเทียบกับสถานะเครื่องทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าว ข้อมูลสถานะการปฏิบัติ งานรวมถึงเวลาการรอคอยระหว่างที่วัตถุทดสอบรอคอยเพื่อรับการทดสอบโดยเครื่องทดสอบดัง กล่าว เวลาในการทดสอบระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกทดสอบโดยเครื่องทดสอบดังกล่าว และเวลา ในการแลกเปลี่ยนระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกจัดส่งและนำกลับโดยอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวและ อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวทำงานเพิ่มเติมเพื่อคำนวณเวลาในการปฏิบัติการของเครื่อง ทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวที่จำเป็นสำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบหนึ่งอัน โดยมี พื้นฐานจากข้อมูลสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการที่รวมรวมโดยอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวเพื่อจัดให้มีการ รวมกันที่เหมาะสมที่สุดของเครื่องทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าว 1 0. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำสำหรับใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบด้วย ชิ้นส่วนที่ใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบ ระบบดังกล่าวประกอบร่วมด้วย เครื่องทดสอบที่ทำงานเพื่อทดสอบวัตถุทดสอบเพื่อวินิจฉัยคุณภาพของวัตถุทดสอบ อุปกรณ์ขนย้ายที่ทำงานเพื่อจัดส่งวัตถุทดสอบไปและนำวัตถุทดสอบกลับจากเครื่องทดสอบ ดังกล่าว อุปกรณ์ให้บริการที่ทำงานเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวและเครื่องทดสอบดังกล่าว เพื่อที่ว่าอุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวทำงานเพื่อติดต่อข่าวสารกับอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวและเครื่อง ทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลที่ทำงานเกี่ยวข้องกับอุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวเพื่อที่ว่าอุปกรณ์ให้ บริการดังกล่าวจะทำงานเพื่อการติดต่อข่าวสารกับอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดังกล่าว อุปกรณ์หน่วย เก็บข้อมูลดังกล่าวทำงานเพื่อการเก็บข้อมูลของข้อกำหนดเกี่ยวกับความทนทานของชิ้นส่วนที่ใช้ สำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบ โดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวสามารถใช้งานเพื่อวินิจฉัยว่าชิ้นส่วนแต่ละชิ้นสามารถใช้ได้หรือไม่ โดยการเปรียบเทียบข้อมูลเกี่ยวกับข้อกำหนดกับข้อมูลประวัติการใช้งานสำหรับชิ้นส่วน 1 1. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 10 โดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวทำงานเพื่อรวบรวมข้อมูลประวัติการใช้ซึ่งรวมข้อมูลสถานะการใช้ สำหรับชิ้นส่วนที่ถูกใช้เมื่อวัตถุทดสอบถูกทดสอบซ้ำ 1 2. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 10 โดยที่ อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวทำงานเพิ่มเติมเพื่อเก็บรวบรวมข้อมูลสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการ เมื่อเทียบกับสถานะเครื่องทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าว ข้อมูลสถานะการปฏิบัติ งานรวมถึงเวลาการรอคอยระหว่างที่วัตถุทดสอบรอคอยเพื่อรับการทดสอบโดยเครื่องทดสอบดัง กล่าว เวลาในการทดสอบระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกทดสอบโดยเครื่องทดสอบดังกล่าว และ เวลาในการแลกเปลี่ยนระหว่างที่วัตถุทดสอบถูกจัดส่งและนำกลับโดยอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวและ อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวทำงานเพิ่มเติมเพื่อคำนวณเวลาในการปฏิบัติการของเครื่อง ทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวที่จำเป็นสำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบหนึ่งอัน โดยมี พื้นฐานจากข้อมูลสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการที่รวมรวมโดยอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวเพื่อจัดให้มีการ รวมกันที่เหมาะสมที่สุดของเครื่องทดสอบดังกล่าวและอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าว 1 3. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำสำหรับใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบ ระบบดังกล่าวประกอบร่วมด้วย วิถีทางทดสอบสำหรับวัดคุณลักษณะของวัตถุทดสอบภายใต้สภาวะการทดสอบที่กำหนด วิถีทางขนย้ายสำหรับจัดส่งวัตถุทดสอบไป และสำหรับนำวัตถุทดสอบกลับจาก วิถีทาง ทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์รีเลย์สำหรับรวบรวมข้อมูลที่เกี่ยวกับผลการทดสอบจากวิถีทางทดสอบดังกล่าว สำหรับ วัตถุทดสอบแต่ละอันสำหรับเก็บรวมรวมข้อมูลที่สอดคล้องกันที่เกี่ยวกับสถานะภาพ สำหรับปฏิบัติการของวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวเมื่อวิถีทางขนย้ายดังกล่าว และวิถีทางทดสอบดังกล่าวปฏิบัติการกับวัตถุทดสอบแต่ละอันเรียงตามลำดับ อุปกรณ์ให้บริการสำหรับเฝ้าตรวจและควบคุมระบบทดสอบดังกล่าวและ อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลสำหรับเก็บข้อมูลที่เกี่ยวกับผลการทดสอบสำหรับวัตถุทดสอบแต่ละ อันและข้อมูลที่สอดคล้องกันเกี่ยวกับสถานะการปฏิบัติการของวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทาง ทดสอบดังกล่าวที่เก็บรวมรวมโดยอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าว 1 4. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 13 โดยที่วิถีทางทดสอบดังกล่าวยังทำงานเพิ่มเติมเพื่อรับข้อมูลที่จำเป็นสำหรับการทำการทดสอบและ สำหรับการแสดงข้อมูลที่ได้รับจากอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าว 1 5. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 13 โดยที่วิถีทางทดสอบดังกล่าวยังทำงานเพิ่มเติมเพื่อการติดตั้งวัตถุทดสอบบนวิถีทางทดสอบดังกล่าว และถอดวัตถุทดสอบจากวิถีทางทดสอบดังกล่าว 1 6. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 13 โดยที่ วิถีทางขนย้ายดังกล่าวประกอบร่วมด้วยอุปกรณ์ขนย้ายจำนวนหนึ่ง แต่ละอุปกรณ์ขนย้าย จากอุปกรณ์ขนย้ายจำนวนหนึ่งดังกล่าวมีหมายเลขประจำตัวเรียงตามลำดับและแต่ละตัวสามารถ ทำงานเพื่อออกหมายเลขประจำตัวเรียงตามลำดับเพื่อระบุเป็นการเฉพาะอุปกรณ์ขนย้ายดังกล่าวแต่ ละตัวและ อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวสามารถทำงานเพื่อจัดการโต้ตอบระหว่างแต่ละตัวของอุปกรณ์ขน ย้ายจำนวนหนึ่งดังกล่าวและหมายเลขประจำตัวที่สอดคล้องกัน 1 7. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 16 โดยที่ อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวจะทำงานเพื่อรอรับหมายเลขประจำตัวจากอุปกรณ์ขนย้ายจำนวน หนึ่งดังกล่าวเพื่อตรวจสอบว่าอุปกรณ์ขนย้ายตัวไหนจากอุปกรณ์ขนย้ายจำนวนหนึ่งดังกล่าวทำงาน อยู่และสำหรับส่งออกข้อมูลเกี่ยวกับสถานและรับหมายเลขประจำตัวที่ได้รับมาที่ได้รับมาไปยัง อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าว 1 8. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 16 โดยที่อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวทำงานสำหรับอุปกรณ์หนึ่งตัวหรือมากกว่าเพื่อเพื่อส่งหมายเลขจัดการจัด การเหตุการณ์ เวลาที่ประทับเมื่อเกิดเหตุการณ์ หมายเลขรุ่นของของวัตถุทดสอบ หมายเลข ประจำตัวเครื่องทดสอบ/อุปกรณ์ขนย้าย รายละเอียดของเหตุการณ์ และหมายเลขรหัสของเหตุ การณ์ไปยังอุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวแบบเรียลไทม์ 1 9. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 16 โดยที่อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวทำงานเพื่อรวบรวมข่าวสารที่เกี่ยวกับกับช่วงเวลาระหว่างที่เครื่องทดสอบ จำนวนหนึ่งดังกล่าวแต่ละตัวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวดำเนินการทดสอบกับวัตถุทดสอบ 2 0. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 16 โดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวจะทำงานเพื่อเก็บบันทึกประวัติการทดสอบสำหรับวัตถุทดสอบที่ ทดสอบมาแล้วในอดีตรวมถึงเวลาการปฏิบัติงานที่ต้องการโดยอุปกรณ์ขนย้ายและเครื่อง ทดสอบจำนวนหนึ่งดังกล่าวและหมายเลขประจำตัวของอุปกรณ์ขนย้ายและวิถีทางทดสอบจำนวน หนึ่งดังกล่าวเข้าไปยังอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดังกล่าว 2

1. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 20 โดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวยังทำงานเพิ่มเติมเพื่อพิจารณาการรวมกันที่ดีที่สุดของอุปกรณ์ขน ย้ายจำนวนหนึ่งดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวสำหรับวัตถุทดสอบโดยมีพื้นฐานจากประวัติ การทดสอบของวัตถุทดสอบที่ได้ทดสอบแล้วในอดีต 2

2. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 13 โดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวจะทำงานเพื่อเก็บรักษาประวัติการทดสอบของวัตถุทดสอบที่ ทดสอบแล้วในอดีตเข้าไปในอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดังกล่าว 2

3. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 13 โดยที่อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าว ยังทำงานเพิ่มเติมเพื่อคำนวณเวลารอคอยระหว่างที่วัตถุทดสอบอัน หนึ่งโดยเฉพาะรอคอยเพื่อรับการทดสอบโดยวิถีทางทดสอบดังกล่าว เวลาในการทดสอบระหว่างที่ วัตถุทดสอบโดยเฉพาะถูกทดสอบโดยวิถีทางทดสอบดังกล่าว และเวลาในการแลกเปลี่ยนระหว่าง ที่วัตถุทดสอบโดยเฉพาะถูกแลกเปลี่ยนวัตถุทดสอบโดยเฉพาะอีกอันหนึ่งโดยวิถีทางขนย้ายดัง กล่าว 2

4. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 13 สำหรับการใช้เพิ่มเติมกับเครื่องมือสำหรับการทดสอบวัตถุทดสอบโดยที่ วิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวจะทำงานเพื่อเก็บรวบรวมข้อมูลเกี่ยว กับความยาวนานในการใช้เครื่องมือและข้อมูลนับการใช้เครื่องมือ อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวจะทำงานเพื่อส่งข้อมูลชนิดของเครื่องมือ, ข้อมูลเกี่ยวกับความยาว นานในการใช้เครื่องมือ, และข้อมูลนับการใช้เครื่องมือไปยังอุปกรณ์ให้บริการดังกล่าว อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดังกล่าวจะทำงานเพื่อเก็บข้อมูลของข้อกำหนดของชนิดเครื่องมือ, ซึ่งรวมด้วยความยาวนานในการใช้สูงสุดและนับความยาวนานในการใช้สำหรับแต่ละชนิดเครื่อง มือ, และนับข้อมูลประวัติ, และสำหรับปรับความยาวนานในการใช้สำหรับแต่ละชนิดเครื่อง มือ, และนับข้อมูลประวัติ, และสำหรับปรับความยาวนานในการใช้และนับข้อมูลประวัติบนพื้นฐาน ของข้อมูลความเกี่ยวกับยาวนานในการใช้เครื่องมือและข้อมูลนับการใช้เครื่องมือถูกส่งโดย อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวและ อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวจะทำงานเพื่อเปรียบเทียบข้อมูลของข้อกำหนดกับความยาว นานในการใช้และนับข้อมูลประวัติเพื่อกำหนดว่าเครื่องมือแต่ละเครื่องยังคงสามารถใช้งานได้หรือ ไม่ 2

5. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 24 ประกอบเพิ่มเติมร่วมด้วยอุปกรณ์แสดงผลโดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวยังทำงานเพิ่มเติมโดย การส่งข่าวสารที่ชี้ว่าเครื่องมือใช้งานไม่ได้ไปยังอุปกรณ์แสดงผลและพักการทดสอบเอาไว้ 2

6. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำเพื่อใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบ ระบบดังกล่าวประกอบร่วมด้วย วิถีทางทดสอบสำหรับวัดคุณลักษณะของวัตถุทดสอบภายใต้สภาวะทดสอบที่กำหนดไว้ วิถีทางขนย้ายสำหรับจัดส่งวัตถุทดสอบไป และสำหรับนำวัตถุทดสอบกลับจาก วิถีทาง ทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์รีเลย์สำหรับรวบรวมข้อมูลเกี่ยวกับผลการทดสอบจากวิถีทางทดสอบดังกล่าวและ สำหรับรวบรวมข้อมูลเกี่ยวกับสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทาง ทดสอบดังกล่าวจากวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวเรียงตามลำดับ อุปกรณ์ให้บริการสำหรับเฝ้าตรวจและควบคุมระบบทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลสำหรับบันทึกข้อมูลเกี่ยวกับผลการทดสอบและข้อมูลเกี่ยวกับ สถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวที่รวบรวมโดย อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าว อุปกรณ์สำรองการให้บริการสำหรับเฝ้าตรวจและควบคุมระบบทดสอบดังกล่าวและ สำหรับปฏิบัการเป็นตัวสำรองสำหรับอุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวและ อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลสำรองสำหรับบันทึกข้อมูลเกี่ยวกับผลการทดสอบและข้อมูลเกี่ยว กับสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวัตถุทดสอบที่รวบรวมโดยอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวและสำหรับ การปฏิบัติงานเป็นตัวสำรองของอุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลดังกล่าว 2

7. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำเพื่อใช้ในการทดสอบวัตถุทดสอบ ระบบดังกล่าวประกอบร่วมด้วย วิถีทางทดสอบสำหรับวัดคุณลักษณะของวัตถุทดสอบภายใต้สภาวะทดสอบที่กำหนดไว้ วิถีทางขนย้ายสำหรับจัดส่งวัตถุทดสอบไป และสำหรับนำวัตถุทดสอบกลับจาก วิถีทาง ทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์รีเลย์สำหรับรวบรวมข้อมูลเกี่ยวกับผลการทดสอบจากวิถีทางทดสอบดังกล่าวและ สำหรับรวบรวมข้อมูลเกี่ยวกับสถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทาง ทดสอบดังกล่าวจากวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวเรียงตามลำดับ อุปกรณ์ให้บริการสำหรับเฝ้าตรวจและควบคุมระบบทดสอบดังกล่าว อุปกรณ์หน่วยเก็บข้อมูลสำหรับบันทึกข้อมูลเกี่ยวกับผลการทดสอบและข้อมูลเกี่ยวกับ สถานะภาพสำหรับปฏิบัติการของวิถีทางขนย้ายดังกล่าวและวิถีทางทดสอบดังกล่าวที่รวบรวมโดย อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าว โดยที่อุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวยังทำงานเพื่อนับจำนวนวัตถุทดสอบทั้งหมด จำนวนวัตถุ ทดสอบที่ดีซึ่งได้ตามสภาวะข้อกำหนดการทดสอบและจำนวนของวัตถุทดสอบที่เลวซึ่งไม่ได้ตาม สภาวะในการทดสอบที่กำหนด 2

8. ระบบทดสอบสำหรับการผลิตสารกึ่งตัวนำตามที่ขอถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อ 27 โดยที่อุปกรณ์ให้บริการดังกล่าวจะทำงานเพื่อพิจารณาว่าจะต้องทดสอบซ้ำวัตถุทดสอบโดยมีพื้น ฐานมาจากจำนวนของวัตถุทดสอบทั้งหมดหรือไม่ จำนวนวัตถุทดสอบที่ดีและจำนวนของวัตถุ ทดสอบที่เลวที่นับโดยอุปกรณ์รีเลย์ดังกล่าวและอัตราส่วนที่กำหนดไว้ล่วงหน้าของวัตถุทดสอบที่ เลวเทียบกับวัตถุทดสอบทั้งหมด