TH114572A - เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธค - Google Patents
เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธคInfo
- Publication number
- TH114572A TH114572A TH601004523A TH0601004523A TH114572A TH 114572 A TH114572 A TH 114572A TH 601004523 A TH601004523 A TH 601004523A TH 0601004523 A TH0601004523 A TH 0601004523A TH 114572 A TH114572 A TH 114572A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- magnetron sputtering
- thin films
- cathode
- machine
- metal
- Prior art date
Links
Abstract
------25/11/2565------(OCR) เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอน เป็นเครื่องที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโลหะฟิล์มบางโลหะออกไซด์ และฟิล์มบางโลหะไนไตรด์ภายใต้สภาวะที่เป็นสูญญากาศเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนที่มีใช้กันโดยทั่วไปทั้งในระดับวิจัยและในอุตสหกรรมจะมีคาโธคเพียงชุดเดียวแต่ในการประดิษฐ์นี้จะเป็นเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธด ซึ่งจะช่วยให้อัตราการเคลือบฟิล์มเร็วขึ้น นอกจากนั้นยังสามารถใช้ในการเคลือบโลหะ 2ชนิดพร้อมกันได้ ------------ ------19/07/2565------(OCR) เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอน เป็นเครื่องที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโลหะฟิล์มบางโลหะออกไซค์ และฟิล์มบางโลหะไนไตรด์ภายใต้สภาวะที่เป็นสุญญากาศเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนที่มีใช้กัน โดยทั่วไปทั้งในระดับวิจัยและในอุตสหกรรมจะมีคาโธดเพียงชุดเดียวแต่ในการประดิษฐ์นี้จะเป็นเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธด ซึ่งจะช่วยให้อัตราการเคลือบฟีล์มเร็วขึ้น นอกจากนั้นยังสามารถใช้ในการเคลือบโลทะ 2ชนิดพร้อมกันได้ ------------ ------01/04/2565------(OCR) เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอน เป็นเครื่องที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโลหะฟิล์มบางโลหะออกไซด์ และฟิล์มบางโลหะไนไตรด์ภายใต้สภาวะที่เป็นสุญญากาศเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนที่มีใช้กันโดยทั่วไปทั้งในระดับวิจัยและในอุตสหกรรมจะมีคาโธดเพียงชุดเดียวแต่ในการประดิษฐ์นี้จะเป็นเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธด ซึ่งจะช่วยให้อัตราการเคลือบฟิล์มเร็วขึ้น นอกจากนั้นยังสามารถใช้ในการเคลือบโลหะ 2ชนิดพร้อมกันได้ ------------ ------18/09/2563------(OCR) เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอน เป็นเครื่องที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโลหะฟิล์มบางโลหะออกไซด์ และฟิล์มบางโลหะไนไตรด์ภายใต้สภาวะที่เป็นสุญญากาศเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนที่มีใช้กันโดยทั่วไปทั้งในระดับวิจัยและในอุตสหกรรมจะมีคาโธดเพียงชุดเดียวแต่ในการประดิษฐ์นี้จะเป็นเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธด ซึ่งจะช่วยให้อัตราการเคลือบฟิล์มเร็วขึ้น นอกจากนั้นยังสามารถใช้ในการเคลือบโลหะ 2ชนิดพร้อมกันได้ ------------ DC60 (12/04/54) เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอน เป็นเครื่องที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโลหะ ฟิล์มบางโลหะออกไซด์ และฟิล์มบางโลหะไนไตรด์ภายใต้สภาวะที่เป็นสุญญากาศ เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนที่มีใช้กันโดยทั่วไปทั้งในระดับวิจัยและในอุตสหกรรมจะมี คาโธคเพียงชุดเดียวแต่ในการประดิษฐ์นี้จะเป็นเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสอง คาโธค ซึ่งจะช่วยให้อัตราการเคลือบฟิล์มเร็วขึ้น นอกจากนั้นยังสามารถใช้ในการเคลือบโลหะ 2 ชนิดพร้อมกันได้ เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอน เป็นเครื่องที่ใช้ในการเคลือบฟิล์มบางโลหะ ฟิล์มบางโลหะออกไซด์ และฟิล์มบางโลหะไนไตรด์ภายใต้สภาวะที่เป็นสุญญากาศ เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนที่มีใช้กันโดยทั่วไปทั้งในระดับวิจัยและในอุตสหกรรมจะมี คาโธดเพียงชุดเดียวแต่ในการประดิษฐ์นี้จะเป็นเครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสอง คาโธดซึ่งจะช่วยให้อัตราการเคลือบฟิล์มเร็วขึ้น นอกจากนั้นยังสามารถใช้ในการเคลือบโลหะ2 ชนิดพร้อมกันได้
Claims (2)
1. เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธดมีลักษณะพิเศษคือประกอบด้วย โถสุญญากาศคาโธด2ชุดที่วางชิ้นงานที่ต้องการเคลือบระบบปั๊มสุญญากาศชุดจ่ายไฟฟ้า กระแสตรงระบบจ่ายก๊าซ
2. เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธคตามข้อถือสิทธิที่ 1 ที่ซึ่งมีลักษณะพิเศษ คือ โถสูญญากาศ ทำด้วยสเตนเลส ทางด้านบนติดตั้งคาโธค 2 จำนวน 2 ชุด พร้อมชัตเตอร์ (4) และที่หมุนชัตเตอร์ (3) ส่วนทางด้านล่างมีที่วางชิ้นงานที่ต้องการเคลือบ (5) ซึ่งทำด้วยแผ่นสเตน เลสและสามารถหมุนได้โดยมอเตอร์ (7) ฝาปิดด้านล่างของโถสูญญาแท็ก :
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH91671A TH91671A (th) | 2008-09-30 |
| TH114572A true TH114572A (th) | 2012-06-22 |
| TH91671B TH91671B (th) | 2023-02-17 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103668095B (zh) | 一种高功率脉冲等离子体增强复合磁控溅射沉积装置及其使用方法 | |
| CN102899613B (zh) | AlTiN高速切削刀具涂层的制备方法 | |
| CN107653441A (zh) | 一种在塑胶上生产pvd防菌膜的方法 | |
| CN102676989A (zh) | 镀膜件及其制备方法 | |
| CN201722425U (zh) | 真空磁控溅射贵金属薄膜镀制设备 | |
| CN104775102B (zh) | 卷对卷磁控溅射阴极与柱状多弧源相结合的真空镀膜系统 | |
| WO2010065312A3 (en) | A transparent conductive film with high surface roughness formed by a reactive sputter deposition | |
| US10385446B2 (en) | Thin film coating method and the manufacturing line for its implementation | |
| US8795840B2 (en) | Coated article and method for making the same | |
| CN103866243A (zh) | 一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法 | |
| CN102345089A (zh) | 镀膜件及其制作方法 | |
| CN102373431A (zh) | 铝合金表面防腐处理方法及其制品 | |
| TH114572A (th) | เครื่องสปัตเตอริงแบบดีซีแมกนิตรอนชนิดสองคาโธค | |
| US20120077009A1 (en) | Coating, article coated with coating, and method for manufacturing article | |
| CN102560339B (zh) | 镀膜件及其制备方法 | |
| US20120315468A1 (en) | Coated article and method for making same | |
| CN102560392A (zh) | 铝及铝合金表面防腐处理方法及其制品 | |
| US8623182B2 (en) | Continuous vacuum deposition method | |
| CN102828149A (zh) | 镀膜件及其制造方法 | |
| CN114351084B (zh) | 一种高分子材料表面增亮耐磨镀膜工艺及其制得的光学镀膜 | |
| US8722180B2 (en) | Coated article and method for making said article | |
| CN212713743U (zh) | 一种溅射镀膜生产系统 | |
| CN102534478A (zh) | 壳体及其制备方法 | |
| CN204644456U (zh) | 卷对卷磁控溅射阴极与柱状多弧源相结合的真空镀膜设备 | |
| CN102732828A (zh) | 镀膜件及其制作方法 |