SU989592A1 - Устройство дл подгонки пленочных резисторов - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к микроэлектронике и предназначено дл  прецизионной подгонки пленочных резисторов .

Известны устройства дл  подгонки пленочных резисторов, которые содержат один или два рабочих электрода и генератор высокой частоты tl3.

Причем мощность генератора -достаточно высока  (20-100 Вт), а КПД устройства составл ет несколько процентов .

Кроме того, точность подгонки резисторов недостаточно высока  вследствие большой апертуры разр да.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  устройство дл  подгонки пленочных резисторов , содержащее генератор факель ного разр да, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соответственно с первым и вторым выходами генератора факельного разр да,

В этом устройстве один электрод (рабочий)выполнен в форме плоской пластины, а вспомогательным электродом служит металлическое основание предметного столика t2.

Это устройство обладает невысоким КПД, так как интенсивность разр да зависит от величины тока высокой частоты , протекающего между двум  электродами , а ток высокой частоты, в

to свою очередь, зависит от емкости между двум  электродами, котора  составл ет очень малую величину (ГпФ) и зависит от рассто ни  между элек тродами и площади торца рабочего электрода . Причем возрастание тока высокой частоты путем увеличени  площади торца электрода снижает точность подгонки резисторов, так как проис20 ходит увеличение размера апертуры разр да .

Claims (2)

1. Цель изобретени  - повышение точности подгонки резисторов. 398 Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройство дл  подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор факельного разр да, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соот ветственно с первым и вторым выходами генератора факельного разр да, введе,на катушКа индуктивности, выполненна  в виде половины однополостного гиперболоида и включенна  между первым выходом генератора и рабочим электродом , а длина рабочего электрода определена формулой --Hi; -) d - рассто ние между электродами, S - площадь меньшего торца индуктивности- , г - радиус рабочего электрода; 1 - длина рабочего электрода. На чертеже представлена функциональна  схема устройства. Оно содержит генератор 1 факельного разр да, индуктивность 2, рабочий электрод 3 вспомогательный электрод Ц. Устройство работает следующим образом. Подложка 5 с пленочным резистором (не показан) располагаетс  на вспомогательном электроде k. Рабочий электрод 3 подводитс  под требуемый участок пленочного резистора и включа етс  генератор 1 факельного разр, да . За счет протекани  Токов высокой частоты возникает факельный разр д, локально удал ющий участок пленочного резистора. Наличие вспомогательной индуктивности оптимизирует услови  возникновени  и протекани  разр да. Систему индуктивность-электроды можно рассматривать как последовательный колебательный контур с резо: нансной круговой частотой и) где L - величина индуктивности; Ср емкость между электродами. Величина индуктивности L - выбрана равной где u) - кругова  частота генератора факельного разр да. При этом условии 8 колебательном контуре индуктивность-электроды течет максимальный ток, а значит система ра бо,тает с максимальным КПД. Также токи высокой частоты проход т и через паразитные емкости Ср и Cg от торца и боковой поверхности индуктивности к вспомогательному электроду . Токи от боковой поверхности индуктивности мало вли ют на КПД стройства вследствие своей малости, так как они текут через цепь, состо щую из верхней части индуктивности и боковой емкости Cg и имеющую.резонансную частоту, отличную от частоты генератора факельного разр да. Уменьшение,площади нижнего торца индуктивности путем придани  ей формы половины однополостного гиперболоида уменьшает паразитную емкость С, в сравнении например, с выполнением индуктивности в форме усеченного конуса. Дл  того, чтобы устройство имел9 высокий КПД, должно соблюдатьс  условие Причем f ,,0 где Q , g - абсолютна  и относительна  диэлектрические проницаемости; г - радиус рабочего электрода; d рассто ние между электродамиj S площадь меньшего торца индуктивности; - длина рабочего электрода. . Решение неравенства (l) относительно 1 дает условие дл  длины рабочего электрода В св зи с тем, что уменьшение длины рабочего электрода резко увеличивает паразитную емкость Ср от торца индуктивности, а его увеличение ограничиваетс  как конструктивными соображени ми (ухудшаетс  жесткость рабочего электрода), так и спо собствует росту боковой емкости Cg , то оптимальным можно считать отношение . Необходимо отметить, что диэлектрическа  проницаемость материала подложки не вли ет на величину выведенного соотношени . 598 Технико-экономическа  эффективность данного изобретени  состоит в повышении КПД устройства в 5-10 раз, что ведет к снижению мощности примен емых генераторов до 2-10 Вт, а также повышаетс  точность подгонки резисторов за счет уменьшени  размеров апертуры факельного разр да. Уменьшение мощности генератора факельного разр да и повышение точно сти подгонки способствует снижению стоимости всего устройства и подгонки . Формула изобретени  Устройство дл  подгонки пленочных резисторов, содержащее генератор факельного разр да, рабочий и вспомогательный электроды, соединенные соответственно с первым и вторым выходами генератора факельного разр да.

   r/J

   fa ,

   Ч 26 отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности подгонки, в него введена катушка индуктивности, выполненна  в виде половины однополостного гиперболоида и включенна  между выходом.генератора и рабочим электродом, а длина рабочего электрода определена формулой ). где d - рассто ние между электродами; S - площадь меньшего торца индуктивности- , г - радиус рабочего электрода; 1 - длина рабочего электрода. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1,Авторское свидетельство СССР № 338Э23, кл. Н 01 С 17/00, 1970.
2. 2.Авторское свидетельство СССР tf 286022, кл. Н 01 С 17/00, 1968.