SU988854A1 - Etching liquor for ferroelectric ceramic of the lead zirconate-titanate system - Google Patents
Etching liquor for ferroelectric ceramic of the lead zirconate-titanate system Download PDFInfo
- Publication number
- SU988854A1 SU988854A1 SU813303132A SU3303132A SU988854A1 SU 988854 A1 SU988854 A1 SU 988854A1 SU 813303132 A SU813303132 A SU 813303132A SU 3303132 A SU3303132 A SU 3303132A SU 988854 A1 SU988854 A1 SU 988854A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lead zirconate
- fluoride ions
- etchant
- titanate system
- ferroelectric ceramic
- Prior art date
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
1 . Изобретение относитс к составамone . This invention relates to formulations.
травителей, примен емых обработ ки изделий из керамики на основе твердых растворов цирконата-титаната свинца (ЦТС), и в частности к составам , предназначен «э1м дл удалени (стравливани ) поверхностных слоев керамического материала дл формировани требуемого рельефа поверхности изделий.etchants used to treat ceramics based on solid solutions of lead zirconate titanate (PZT), and in particular to compositions, are designed to remove (etch) the surface layers of the ceramic material to form the desired surface relief of the products.
Известен травитель сегнетокерамики системы ЦТС, состо и й из концентрированней серной. Ю1слоты и сульфата аммони Cl.The etcher of the PZT ferroelectric ceramics, the state of the most concentrated sulfuric, is known. Amounts and ammonium sulfate Cl.
Недостатком этого травител вл етс о азование на поверхности керамики сло нерастворимых продуктов взаимодействи и прекращение процесса травлени через 15-20 с, после погружени керамической пластины в трав щий раствор.The disadvantage of this etchant is that a layer of insoluble products of interaction is stopped on the surface of ceramics and the process of etching is stopped 15-20 seconds after immersing the ceramic plate in the etching solution.
Наиболее близким по составу компонентов к изо етению вл етс травитель, представл ющий смесь концентрированных азотной и фторис оводородной кислот (14,29 и 22,0 моль/л соответственно) с концентрацией смешанного раствора по ННОз моль/л и по HF 17,9 моль/лС23.The closest in composition to the components is an etchant, which is a mixture of concentrated nitric and hydrofluoric acids (14.29 and 22.0 mol / l, respectively) with a mixed solution concentration according to NNOz mol / l and HF 17.9 mol / lS23.
5 Недостатком этого травител вл етс то, что его действие на сегне-. тозлектрическую керамику ЦТС сводитс к нарушению поверхностного сло материала на слубину до 5 мкм, в ос10 новном по межкристаллитным границам, после чего процесс травлени прек-, раи аетс за счет образовани сло нерастворимых гц одуктов.5 The disadvantage of this picker is that its effect on segne-. The PZT electrical ceramics is reduced to breaking the surface layer of the material per slab to 5 µm, mainly along the intercrystalline boundaries, after which the etching process is canceled due to the formation of a layer of insoluble Hz products.
Целью изобретени вл етс обес15 печение регулируемой скорости травлени при одновременном получении протравленной поверхности, свободной от продуктов травлени .The aim of the invention is to provide an adjustable etching rate while simultaneously obtaining an etched surface free from etching products.
Поставленна цель достигаетс The goal is achieved
тем, что травитель содержит азотную кислоту, фторид-ионы и воду при следующем соотношении компонентов, . моль/л: the fact that the etchant contains nitric acid, fluoride ions and water in the following ratio of components,. mol / l:
Азотна кислота 0,50-9,20 горид-ионы0,03-3,00Nitric acid 0.50–9.20 Goride ions 0.03–3.00
ВодаОстальноеWaterEverything
При этом травитель содержит фторидионы в виде фтористоводородной кислоты или ее аммонийной или щелочной соли ,This etchant contains fluoride in the form of hydrofluoric acid or its ammonium or alkali salt,
В полиэтиленовый сосуд емкостью 1 л .помещают от 31 ,50 см до 657,80 см азотной кислоты (ГОСТ ) сIn a polyethylene vessel with a capacity of 1 liter. Place from 31, 50 cm to 657.80 cm of nitric acid (GOST) with
концентрацией 1,29 , от 1,3 13,00 см фтористоводородной кислоты (РЭТУ ) с крнцентрацией 22,kO моль/л или навески фторидов аммони , натри или кали (ГОСТ 4518-60, if 63-66, 522-65, соответственно ) в количестве 1,11-111,11 г, 1,26-125,97 г и 1,,27 г сбответственно и доливают дистиллированнуюa concentration of 1.29, from 1.3 to 13.00 cm of hydrofluoric acid (RETU) with a concentration of 22, kO mol / l or a sample of ammonium, sodium or potassium fluoride (GOST 4518-60, if 63-66, 522-65, respectively ) in the amount of 1.11-111.11 g, 1.26-125.97 g and 1,, 27 g, respectively, and topped up with distilled
воду до 1 л. В травитель при 22 ±2°С помещают образец сегнетокерамикиwater up to 1 l. A sample of ferroelectric ceramics is placed in an etchant at 22 ± 2 ° С
системы ЦТС, выполненный а виде пластины с размерами 20,0x15,Ох хр,2 мм с большими гран ми, имеющиги ми 13 класс чистоты обработки поверхности . После выдержки в травителе пластину ополаскивают дистиллированной водой и высушивают.PZT systems, made in the form of a plate with dimensions of 20.0x15, Ox xp, 2 mm with large edges, having 13th class of surface finish. After soaking in the etchant, the plate is rinsed with distilled water and dried.
Варианты состава и характеристики предлагаемого травитёл и прототипа г1риведены в таблице.Variants of the composition and characteristics of the proposed protivitel and prototype are given in the table.
Использование предлагаемого травитёл позвол ет получать требуемый рельеф поверхности сегнетокерамического материала ЦТС без применени специального оборудовани (программных лазерных скрайберных установок) „ что значительно упрощает технологический процесс изготовлени изделий из сегнетоэлектрической керамики, таких как модул торы света, элементы пам ти и т.д. Фсчэмула изобретени 1. Травитель сегнетоэлектрической керамики системы цирконатлтитанат свинца, содержащий азотную кислоту, фторид-ионы- и воду, о т л и ч а ющ и и с тем, что, с целью обеспечени регулируемой скорости травлени при одновременном получении протравленной поверхности, свободной от продуктов травлени , он содержит азотную кислоту, фторид-ионы и воду при следующем соотношении ком понентов, моль/л: Азотна кислота0,50-9,20 Фторид-ионы0, ВодаОстальное 6 2. Травитель по п. 1, о т л и ч аю щ и и с тем, что он содержит фторид-ионы в виде фтористоводородной кислоты или ее аммонийной или щелочной соли. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Fumiko Hayashi, Yutaka Hayashi, Jamec D. Meindl Chemical etching of pfezo-electric ceramics Bull. Electrotechnlcal Lab, 1976, v. 40, N. i-S, p. 177-180. 2. Пол ризаци пьезокерамики. Под ред. Фесенко Е. Г. Ростов-на-Дону , Изд-во Ростовского университета, ЭбВ, с. Й-15 (прототип).The use of the proposed etcher allows to obtain the required surface relief of the PZT ferroceramic material without the use of special equipment (software laser scribing devices), which greatly simplifies the technological process of manufacturing products made of ferroelectric ceramics, such as light modulators, memory elements, etc. The invention of the invention 1. Lead ferroelectric ceramics of the lead zirconate titanate system containing nitric acid, fluoride ions and water, is so that, in order to provide an adjustable etching rate while simultaneously obtaining the etched surface free of pickling products, it contains nitric acid, fluoride ions and water in the following ratio of components, mol / l: Nitric acid 0.50-9.20. Fluoride ions 0, Water Else 6 2. Etchant according to claim 1, about t l and h Ayu ni and and the fact that it contains fluoride ions in the form of ft Hydrogen acid or its ammonium or alkali salt. Sources of information taken into account in the examination 1. Fumiko Hayashi, Yutaka Hayashi, Jamec D. Meindl Chemical etching of pfezo-electric ceramics Bull. Electrotechnlcal Lab, 1976, v. 40, N. i-S, p. 177-180. 2. Polisation of piezoelectric ceramics. Ed. Fesenko EG Rostov-on-Don, Rostov University Press, EbV, p. Y-15 (prototype).
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813303132A SU988854A1 (en) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Etching liquor for ferroelectric ceramic of the lead zirconate-titanate system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813303132A SU988854A1 (en) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Etching liquor for ferroelectric ceramic of the lead zirconate-titanate system |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU988854A1 true SU988854A1 (en) | 1983-01-15 |
Family
ID=20963749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813303132A SU988854A1 (en) | 1981-04-14 | 1981-04-14 | Etching liquor for ferroelectric ceramic of the lead zirconate-titanate system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU988854A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2674118C1 (en) * | 2017-10-20 | 2018-12-04 | Акционерное общество "Ангстрем" (АО "Ангстрем") | Selective barium titanate etchant |
-
1981
- 1981-04-14 SU SU813303132A patent/SU988854A1/en active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2674118C1 (en) * | 2017-10-20 | 2018-12-04 | Акционерное общество "Ангстрем" (АО "Ангстрем") | Selective barium titanate etchant |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0159579A3 (en) | Soluble surfactant additives for ammonium fluoride/hydrofluoric acid oxide etchant solutions | |
| EP0273467A3 (en) | Solid detergent composition, reusable cleaning pad containing same and method of manufacture | |
| EP0844650A3 (en) | Method of etching SiO2 and process of cleaning silicon wafers using dilute chemical etchants and a megasonic field | |
| US5695661A (en) | Silicon dioxide etch process which protects metal | |
| SU988854A1 (en) | Etching liquor for ferroelectric ceramic of the lead zirconate-titanate system | |
| KR20120041785A (en) | Microprocessing treatment agent and microprocessing treatment method using same | |
| GB1469013A (en) | Etching semiconductor slices | |
| SU722865A1 (en) | Pickling solution | |
| US6893578B1 (en) | Selective etchant for oxide sacrificial material in semiconductor device fabrication | |
| JPS57166337A (en) | Preparation of glass for preventing reflection | |
| SU715609A1 (en) | Solution for pickling crystalline quartz piezoelements | |
| ES2034969T3 (en) | A METHOD TO PURIFY A SUGAR PHOSPHATE OR ITS ALKALINE METAL SALT. | |
| JPH0311093B2 (en) | ||
| FR2196604A5 (en) | ||
| SU1059033A1 (en) | Polishing pickling solution for indium antimonide | |
| JPH0697153A (en) | Etching liquid and etching method | |
| SU708877A1 (en) | Solution for activating semiconductor structures | |
| SU990892A1 (en) | Method for etching single crystals of lithium metaniobate | |
| SU628161A1 (en) | Solution for etching glass crystal materials | |
| JPS55138235A (en) | Manufacture of titanic etching solution and semiconductor device using this etching solution | |
| JPS6038022B2 (en) | etching liquid | |
| SU1458429A1 (en) | Composition for etching copper | |
| SU1511228A1 (en) | Etching composition | |
| JPS5474689A (en) | Semiconductor laser device and its manufacture | |
| JPS56152970A (en) | Etching device |