SU953453A1 - Способ определени толщины покрыти - Google Patents
Способ определени толщины покрыти Download PDFInfo
- Publication number
- SU953453A1 SU953453A1 SU813262248A SU3262248A SU953453A1 SU 953453 A1 SU953453 A1 SU 953453A1 SU 813262248 A SU813262248 A SU 813262248A SU 3262248 A SU3262248 A SU 3262248A SU 953453 A1 SU953453 A1 SU 953453A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- coating
- substrate
- thickness
- degree
- interaction
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
(St) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛи1ИНЫ ПОКРЫТИЯ
Изобретение относитс к ультразв ковой контрольно-измерительной технике , в частности дл измерени и контрол толщины покрытий, и может быть использовано в любой отрасли машиностроени . Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс способ определени толщины покрыти , заключающийс в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохро матическим световым потоком, вы вл ют степень взаимодействи его с покрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами дл образцового покрыти и подложки и по результатам сравнени определ ют толщину 1, Способ основан на использовании свойства монохроматического линейнопол ризованного пот.ока измен ть степень и вид пол ризации на границе воздух-слой стекл нна подложка - слой Недостатком указанного способа вл етс требование оптической прозрачности подложки и, следовательно, ограниченность возможностей способа. Кроме того, точность способа существл .ено зависит от точности измерени показателей преломлени подложки. Цель изобретени - повышение производительности и расширение диапазона определ емых толщин. Поставленна цель достигаетс тем, что согласно способу определени толщины покрыти , заключающемус в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохроматическим световым потоком, вы вл ют степень взаимодействи его спокрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами дл образцового покрыти и подложки и по результатам сравнени определ ют толщину, световой поток модулируют переменной частотой, а степень взаимодействи его вы вл ют по отклонению изменени амплитуды акусти
Claims (1)
- Формула изобретенияСпособ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на ис' следуемое покрытие воздействуют монохроматическим световым потоком, выявляют степень взаимодействия его с покрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами для образцового покрытия и подложки и по результатам сравнения определяют толщину, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и расширения диапазона определяемых толщин, световой поток модулируют переменной частотой, а степень взаимодействия его выявляют по отклонению изменения амплитуды акустического сигнала от линейной зависимости
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813262248A SU953453A1 (ru) | 1981-01-28 | 1981-01-28 | Способ определени толщины покрыти |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU813262248A SU953453A1 (ru) | 1981-01-28 | 1981-01-28 | Способ определени толщины покрыти |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU953453A1 true SU953453A1 (ru) | 1982-08-23 |
Family
ID=20948324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU813262248A SU953453A1 (ru) | 1981-01-28 | 1981-01-28 | Способ определени толщины покрыти |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU953453A1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220107178A1 (en) * | 2019-02-20 | 2022-04-07 | Stefan Böttger | Method and Apparatus for Determining a Layer Thickness of a Layer Applied to a Substrate |
-
1981
- 1981-01-28 SU SU813262248A patent/SU953453A1/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220107178A1 (en) * | 2019-02-20 | 2022-04-07 | Stefan Böttger | Method and Apparatus for Determining a Layer Thickness of a Layer Applied to a Substrate |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE75847T1 (de) | Verfahren zum bestimmen der dicke von schichten, seine anwendung zum bestimmen gewisser wechselwirkungen und mittel zur realisierung dieses verfahrens. | |
Stein | Measurement of birefringence of biaxially oriented films | |
EP0592690A4 (en) | METHOD FOR IDENTIFYING AN OPTICAL LINE. | |
JPS639161B2 (ru) | ||
DE68911659D1 (de) | Verfahren zur Dünnschichtdickenmessung. | |
US4647205A (en) | Method and interferometer for the measurement of short distances | |
SU953453A1 (ru) | Способ определени толщины покрыти | |
DE60105791D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung der phasendifferenz zwischen intensitätsmodulierten optischen signalen | |
SU1283573A1 (ru) | Способ определени динамических характеристик автоматического автоколлиматора | |
SU1193459A1 (ru) | Способ определени параметров диэлектрической пленки | |
SU1672294A1 (ru) | Способ определени микротвердости металлических покрытий, полученных испарением в вакууме | |
JPS58113804A (ja) | 膜厚制御方法 | |
Hane et al. | Tilt-insensitive film thickness measurement using a double twin-path interferometer | |
JPS614905A (ja) | 線幅測定方法 | |
SU1654754A1 (ru) | Устройство формировани зондирующих пучков лазерного доплеровского измерител скорости и расхода | |
SU1430732A2 (ru) | Мера толщины пленок | |
SU1179105A1 (ru) | Способ контрол шероховатости полированной поверхности | |
JPS6468663A (en) | Optical measuring instrument | |
SU948906A1 (ru) | Способ измерени остаточных напр жений в стекле | |
SU1612201A1 (ru) | Способ измерени величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхност ми | |
SU1280311A1 (ru) | Способ измерени толщины тонких пленок,нанесенных на подложку | |
SU1711005A2 (ru) | Устройство дл измерени параметров вращающихс объектов | |
SU905623A1 (ru) | Контрольный образец толщины покрыти | |
SU550528A1 (ru) | Способ измерени контактных напр жений в издели х | |
SU1308829A1 (ru) | Способ определени толщины кристаллической пластины |