SU953453A1 - Способ определени толщины покрыти - Google Patents

Способ определени толщины покрыти Download PDF

Info

Publication number
SU953453A1
SU953453A1 SU813262248A SU3262248A SU953453A1 SU 953453 A1 SU953453 A1 SU 953453A1 SU 813262248 A SU813262248 A SU 813262248A SU 3262248 A SU3262248 A SU 3262248A SU 953453 A1 SU953453 A1 SU 953453A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
coating
substrate
thickness
degree
interaction
Prior art date
Application number
SU813262248A
Other languages
English (en)
Inventor
Виталий Александрович Агеев
Александр Тихонович Градюшко
Владимир Дмитриевич Егоров
Михаил Иванович Неделько
Владимир Яковлевич Бартенев
Владимир Степанович Банников
Original Assignee
Витебское отделение Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Витебское отделение Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР filed Critical Витебское отделение Института физики твердого тела и полупроводников АН БССР
Priority to SU813262248A priority Critical patent/SU953453A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU953453A1 publication Critical patent/SU953453A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

(St) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ТОЛи1ИНЫ ПОКРЫТИЯ
Изобретение относитс  к ультразв ковой контрольно-измерительной технике , в частности дл  измерени  и контрол  толщины покрытий, и может быть использовано в любой отрасли машиностроени . Наиболее близким по технической сущности к изобретению  вл етс  способ определени  толщины покрыти , заключающийс  в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохро матическим световым потоком, вы вл ют степень взаимодействи  его с покрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами дл  образцового покрыти  и подложки и по результатам сравнени  определ ют толщину 1, Способ основан на использовании свойства монохроматического линейнопол ризованного пот.ока измен ть степень и вид пол ризации на границе воздух-слой стекл нна  подложка - слой Недостатком указанного способа  вл етс  требование оптической прозрачности подложки и, следовательно, ограниченность возможностей способа. Кроме того, точность способа существл .ено зависит от точности измерени  показателей преломлени  подложки. Цель изобретени  - повышение производительности и расширение диапазона определ емых толщин. Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу определени  толщины покрыти , заключающемус  в том, что на исследуемое покрытие воздействуют монохроматическим световым потоком, вы вл ют степень взаимодействи  его спокрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами дл  образцового покрыти  и подложки и по результатам сравнени  определ ют толщину, световой поток модулируют переменной частотой, а степень взаимодействи  его вы вл ют по отклонению изменени  амплитуды акусти

Claims (1)

  1. Формула изобретения
    Способ определения толщины покрытия, заключающийся в том, что на ис' следуемое покрытие воздействуют монохроматическим световым потоком, выявляют степень взаимодействия его с покрытием и подложкой, сравнивают с теми же параметрами для образцового покрытия и подложки и по результатам сравнения определяют толщину, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности и расширения диапазона определяемых толщин, световой поток модулируют переменной частотой, а степень взаимодействия его выявляют по отклонению изменения амплитуды акустического сигнала от линейной зависимости
SU813262248A 1981-01-28 1981-01-28 Способ определени толщины покрыти SU953453A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813262248A SU953453A1 (ru) 1981-01-28 1981-01-28 Способ определени толщины покрыти

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU813262248A SU953453A1 (ru) 1981-01-28 1981-01-28 Способ определени толщины покрыти

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU953453A1 true SU953453A1 (ru) 1982-08-23

Family

ID=20948324

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU813262248A SU953453A1 (ru) 1981-01-28 1981-01-28 Способ определени толщины покрыти

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU953453A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220107178A1 (en) * 2019-02-20 2022-04-07 Stefan Böttger Method and Apparatus for Determining a Layer Thickness of a Layer Applied to a Substrate

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20220107178A1 (en) * 2019-02-20 2022-04-07 Stefan Böttger Method and Apparatus for Determining a Layer Thickness of a Layer Applied to a Substrate

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE75847T1 (de) Verfahren zum bestimmen der dicke von schichten, seine anwendung zum bestimmen gewisser wechselwirkungen und mittel zur realisierung dieses verfahrens.
Stein Measurement of birefringence of biaxially oriented films
EP0592690A4 (en) METHOD FOR IDENTIFYING AN OPTICAL LINE.
JPS639161B2 (ru)
DE68911659D1 (de) Verfahren zur Dünnschichtdickenmessung.
US4647205A (en) Method and interferometer for the measurement of short distances
SU953453A1 (ru) Способ определени толщины покрыти
DE60105791D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der phasendifferenz zwischen intensitätsmodulierten optischen signalen
SU1283573A1 (ru) Способ определени динамических характеристик автоматического автоколлиматора
SU1193459A1 (ru) Способ определени параметров диэлектрической пленки
SU1672294A1 (ru) Способ определени микротвердости металлических покрытий, полученных испарением в вакууме
JPS58113804A (ja) 膜厚制御方法
Hane et al. Tilt-insensitive film thickness measurement using a double twin-path interferometer
JPS614905A (ja) 線幅測定方法
SU1654754A1 (ru) Устройство формировани зондирующих пучков лазерного доплеровского измерител скорости и расхода
SU1430732A2 (ru) Мера толщины пленок
SU1179105A1 (ru) Способ контрол шероховатости полированной поверхности
JPS6468663A (en) Optical measuring instrument
SU948906A1 (ru) Способ измерени остаточных напр жений в стекле
SU1612201A1 (ru) Способ измерени величины зазора между прозрачными диэлектрическими поверхност ми
SU1280311A1 (ru) Способ измерени толщины тонких пленок,нанесенных на подложку
SU1711005A2 (ru) Устройство дл измерени параметров вращающихс объектов
SU905623A1 (ru) Контрольный образец толщины покрыти
SU550528A1 (ru) Способ измерени контактных напр жений в издели х
SU1308829A1 (ru) Способ определени толщины кристаллической пластины