SU947974A1 - Контактное устройство дл контрол интегральных схем на подложке - Google Patents

Description

Указанна  цель достигеетс  тем, что контактное устройство дл  контро л  интегральных схем на подложке, содержащее блок позиционировани  подложки, контактируюиий узел с зондами , микроскоп, соединительную печатную плату дл  соединени  измери тельных цепей с зондами, снабжено узлом задани  программы контрол , содержащим диэлектрическую пластину с отверсти ми и упругими контактами, и широкополосными преобразовател ми, размещенными на соединительной плате котора  расположена между контактирующим узлом и узлом задани  программы контрол , при этом одна из попарно соединенных площадок соединиельной платал соединена с широкопоосным преобразователем ц одним коном упругого контакта узла задани  рограммы контрол , а друга  - с ондом, причем другие концы упруих контактов ;кестко закреплены в тверсти х диэлектрической пластиы и соединены между собой.

На фиг.1 показано предлагаемое устройство, вид сбоку; на фиг.2 то же, вид сверху.

Контактное устройство содержит блок 1 позиционировани  дл  перемещени  контролируемой микросхемы, основание 2, соединительную плату -3, контактирующий узел 4 с зондами 5, микроскоп б (дл  настройки зондов на контактные площадки микpocxeMti ) , узел 7 задани  программы контрол  микросхемы, диэлектрическую пластину 8 узла задани  программы контрол , прижимные фиксаторы 9, широкополосные преобразователи 1C, состо щие из высокочастотного акTHBHoio пробника 11, коммутирующих и согласующих элементов 12, эквивалента нагрузки 13 микросхем, высокочастотного соединител  14, низкочастотного соединител  15, упругие контакты 16, контактную печатную площадку 17, соединенную с зондом 5, и контактную печатную площадку 18, соединенную с широкополосным преобразователем 10, перемычки 19, печатные проводники 20, отверсти  21 в диэлектрической пластине 8, полупроводниковую пластину 22.

/Устройство работает следующим o6jta3OM.

После подключени  устройства через высокочастотные 14 и низкочастотные 15 соединители к измерителю не показан) параметров микросхем и установки на соединительную плату 3 узла 7 задани  програмки контрол  с соответствующей программой измерени  выводов микросхемы, испытательные сигналы от измерител  через широкополосные преобразователи 10

подаютс  по печатным проводникам 20на узел 7 задани  программы контрол . В зависимости от назначени  измерительной цепи испытательный сигнал через соответствующую печатную 5 контактную площадку 18, соединительную плату 3, контактирующий с ней упругий контакт 16, перемычку 19 (дл  примера на фиг.1 показан случай ближайшего расположени  измерительной цепи и зонда), второй упругий контакт 16 и контактную печатную

площадку 17 поступает на соответствующий зонд 5 {входной, выходной, питани  или корпус| контактирующего

5 узла 4.

Особенностью предлагаемого устройства  вл етс  расположение вблизи зондов специальных узлов - широкополосных преобразователей 10, воспринимающих информацию с контактных площадок микросхемы через зонды и осуществл ющих непосредственно вблизи зондов подключение необходимых 5 измерительных цепей к измерителю, а также их согласование. Измерительна  информаци  о динамических параметрах контролируемых микросхем от преобразователей 10 подаетс  че3Q рез высокочастотный разъем 14 и радиочастотные кабели в измеритель .

Широкополосные преобразователи 10 представл ют собой широкополосные коммутируюише и согласующие узлы.

содержащие высокочастотный активный

пробник 11, коммутирующие и согласуюгдае элементы 12 (высокочастотные реле, согласующие широкополосные резиcтopы , эквивалент нагрузки 13 микросхем , высокочастотные 14 и низкочастотные 15 соединители, подключающие в зависимости от функционального назначени  зонда по командам от измерител  соответствукодие элементы и

цепи, подающие через зоны на контактные площадки MHKpocxeNM на прддржке н Сходимые исгитательные сигналы и снимающие выходные сигналы с B JXOдов микросхемы.

Переход к изменению параметров . другого типа интегральных схем ( где; контактные площадки имеют уже дгэугие функциональное назначение и расположение J осуществл етс  узлом 7 заДани  программы контрол . На узле 7 задани  програм /1Ы контрол  установлены соответствующие перемычки 19 таким образом, чтобы каждый зонд 5 контактирующего узла 4, контактные

площадки 17, 18 и входна  измерительна  цепь измерител  соответствовали своему функциональному назначению.

Узел 7 задани  программа ко11трол  микросхем состоит из диэлектрической пластины 8, упругих контактов 16, о , верстий 21 и перемычек 19. Упругие контакты 16 устаночленн на диэлектрической пластине таким образом, чт одни их концы проход т в отверстие 21 в диэлектрической пластине 8 и контактирурэт с печатными контактным Ш1ош,алками 17 или 18, выполненными на соединительной плате 3, другие закреплены в отверсти х 21 и соединены между собой перемычками 19 в зарисимости от типа контролируемой микросхемы. Применение в предлагаемом устройстве узла 7 задани  прогр va контрол  указанной конструкции позвол ет оперативно и без приложени  большого усили  к зондам 5 { и соединительной штате з) при установ . ке и сн тии програлданого узла 7 измен ть программу контрол  в зависимости от назначени  выводов микросхем , обеспечив при этом необходиму точность и возможность поломки контактирукадих зондов 5 {при повороте прижимных фиксаторов 9) узел 7 без приложени  усили  ( за счет подпружинивани  контактов выходит из контактировани  с соединительной платой 3 и легко снимаетс . Расположение узла 7 задани  программы контрол  и широкополосных прео разователей 10 вблизи зондов 5, а такке взаимодействие указанных узлов с зондами 5 и испытательной платой 3 дало возможность существенно уменьшить длину линий св зи, улучшить согласование и соответственно, существенно уменьшить искажени  подаваемых испытательных и снимаемых с контролируемой микросхеки широкополосных сигналов, что позволило

П

IS

а

Claims (2)

1. Ф1и1 повысить точность измерений динамических параметров микросхем на подложке . Формула изобретени  Контактное устройство дл  контрол  интегральных схем на подложке, содержащее блок позиционировани  подложки, контактирующий узел с зондами , микроскоп, соединительную печатную плату дл  соединени  измерительных цепей с зондами, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности контрол  динамических параметров, оно снабжено узлом задани  програмкы контрол , содержащим диэлектрическую пластину с отверсти ми и упругими контактами, и широкополосными преобразовател ми, размещенными на соединительной плате, котора  расположена между контактирующим узлом и узлом задани  програмл« контрол , при этом одна из попарно соединенных контактных плс цадок соединительной платы, соединена с широкополосным.преобразователем и одним концом упругого контакта узла задани  программы контрол , а друга  - с зондом, причем другие концы упругих контактов жестко закреплены в отверсти х диэлектрической пластины и соединены между собой. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР 274232, кл. Н 05 К 1/04, 1970.
2. 2.Патент США № 3849728, л. 324-158, 1974 (прототип).