SU941924A2 - Импульсное регулирующее устройство - Google Patents

Description

Изобретение относитй  к автоматикe а именно к устройствам автоцатического регулировани  техноло :щ$9ких .. параметров.

По основному авт,св. 75043Ь известно импульсное регулирующее устройство , используемое дл  автоматического регулировани  технологических параметров объектов с переменными динамическими характеристиками . Устройство содержит последорательно соединенные форсирующий блок, генератор, импульсов, реверсивный счетчик, исполнительный элемент , нагревательный - элемент, выход которого соединен со входомобъекта регулировани / выход которого св зан через датчик температуры со входом блока сравнени , соответствующий вход которого соединен с выходом задатчика, а выходы - с управл кнцими входами реверсивного счетчика , а также датчик состо ни  нагревательного элемента и регул тор частоты, выход которого подключен к соответствующему входу генератора импульсов, вход - к выходу форсирукщего блока и к выходу датчика сосI та ни  нагревательного элемента, вход которого соединен с соответствуювдим выходом нагревательного элемента Щ.

Недостатком этого устройства  вл етс  невозможность его устойчивой работы в режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра с периодом, соизмеримым с посто нной объекта- регулировани , под воздействием внешнего периодического возмущени  применительно к объектам, динамические характеристики которых измен ютс  в аироком диапазоне. Действительно, дл  осуществлени  режима симметричных периодических колебаний регулируемого параметра, часто используемого дл  интенсификации технологических процессов, обычно производ т периодическое ступенчатое с посто нной амплитудой изменение выходного сигнала задатчика. Подбира  параметры настройки регул тора частоты и форсирующего блока, можнэ добитьс  устойчивой работы устройства в этом режиме с периодом, равным периоду изменени  сигнала задатчика, в узком диапазоне изменени  динамических характеристик объекта регулировани . При изменений же динамических характеристик

объекта в более широкс диапазоне это устройство не обеспечивает устойчивой работы в режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра.

Цепь изобретени  - обеспечение устойчивости работы в .режиме симметричных периодических колебаний регулируемого параметра с периодом, соизмеримым с посто нной объекта регулировани , под воздействием внешнего периодического возмущени  применительно к объектам регулировани  с гюременными динамическими характеристиками .

Поставленна  цель достигаетс  тем что импульсное регулирующее устройство содержит последовательно соеди1енные второй регул тор частоты, второй генератор импульсов и делитель частоты, выход которого св зан с входом задатчика, причем вход второго регул тора частоты св зан с соответствующим выходом датчика состо ни  нагревательного элемента.

На чертеже представлена структурна  схема импульсного регулирующего устройства дл  автоматического регулировани  температуры подложки, динамические характеристики которой измен ютс  в течение технологического процесса.

Устройство содержит датчик 1 температуры и задатчик 2, .подключенные к входу блока 3 сравнени . Блок 3 сравнени  состоит из последовательно соединенных сумматора 4 и нуль-органа 5. Выходы нуль-органа 5 и первого генератора импульсов б подключены соответственно к управл ющим и синзфонизирующему входам реверсивного счетчика 7. Выход реверсивного счетчика; 7 подключен к последовательно соединенным исполиительному з лёмёЛ-, ту 8 и нагревательному элементу 9. Нагревательный элемент 9 подключен к объекту 10 регулировани  и датчику 11 состо ни  нагревательного элементаи Выход последнего подключен к входваи первого регул тора 12 частоты , фо| е1чрующего блока 13 и вЭтэрого регул фйра 14 частоты. В|лходы первого регул тора 12 частоты и форсирующего блока 13 подключены к соответствующим входам первого генератора 16 имйульсов, а выход второго регул тора 14 частоты - к последовател нэ соединенным второму генератору 15 илпульсов и делителю 16 частоты. Выход последнего подключен к задатчику 2.

На входе сумматора 4 происходит алгебраическое суммирование сигналов от-датчика 1 температу и .задатчика 2. В зависимости от зиака сумма сигнёшов нуль-ор ан 5 вьадает сигнал : Прибавить или ДУбаа ть , на управл ющиё ходы реверсив1ного счет1чйка 7 . адпульсов, Реверсивньий счет ,чик 7 импульсов управл ет работой исполнительного элемента 8. Последний воздействует на нагревательный элемент 9, а нагревательный элемент на регулируемый параметр объекта регулировани  10 - температуру подло ек . С выхода первого генератора б импульсов на синхронизирукэдий. вход реверсивного счетчика импульсов 7 поступают однопол рные импульсы. Форси рук ций блок 13 предназначен дл  повышени  быстродействи  импульсного регулирующего устройства в целом. Выходные однопол рные импульсы второго генератора импульсов 15 поступают на вход делител  16 частоты. С выхода делител  частоты 16 импульсы, период следовани  которых равен требуемому периоду симметричных периодических колебаний температуры подложек , поступают на вход задатчика 2 и осуществл ют ступенчатое изменение выходного сигнала задатчика 2 с тем же периодом. Амплитуда выходного сиг .нала задатчика 2 измен етс  в пределах , соответствуклцих требуемым пределам изменени  амплитуды симметрич«ах периодических колебаний температуры подложки. В зависимости от величины тока нагревательного элемента 9,  вл ющегос  однозначной функцией динамических характеристик объета 10 регулировани , производитс  коррекци  частоты как первого 6, так и второго 15 генераторов импульсов.

Подбира  параметры первого регул тора 12 частоты, форсирующего блока 13 и второго регул тора 14 частоты , при наладке можно обеспечить устойчивость работы устройства в режиме симметричных периодических колебаний температуры подложки в течение всего технологического процесса .

Испытани  показывают, что предложенное устройство обеспечивает устойчивую работу в режиме симметричнее периодических колебаний температуры подложек и позвол ет интенсифицировать технологический процесс

Claims (1)

1. Авторское свидетельство СССР 750433,.,кл. {).1/1 19П1 ({прототип)