(Sk) СПОСОБ ОБРАБОТКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ Изобретение относитс к технологии изготовлени электровакуумных приборов (ЭВП) , в которой предусмотрена или целесообразна обработка откачиваемого прибора с напуском водорода в откачиваемый прибор. Така обработка позвол ет провес ти дополйительную финишную очистку внутренних поверхностей прибора от загр знений, что приводит к повышению стабильности параметров (в первую очередь параметров катода на сроке службы). Кроме того, обработка прибора с напуском водорода позвол ет в р де случаев сократить вре м обезгаживани приборов на посту. Известны способы обработки ЭВП с напуском водорода в откачную систему , когда всэдород напускаетс непрерывно разбавл атмосферу откачиваемых газов, или порци ми Г21, периодически вымыва выдел ю щиес газы. ПРИБОРОВ Эти способы широко распространены , но они не обеспечивают достаточную воспроизводимость эмиссионных параметров катодов, поскольку напускаемый водород расходуетс , главным образом, на очистку откачной системы и лишь частично на очистку откачиваемого прибора, при этом продукты реакции (вод ные пары, летучие окислы) могут попадать на обрабатываемый катод Известны способы обработки ЭВП путем пропускани из источника водорода сквозь прибор на этапе откачки Прибор специально приспособлен дл такой технологии, имеет два штенгелй: сквозь один из них водород вводитс в прибор, сквозь другой откачиваетс , очища таким образом сначала поверхности прибора, а затем уже поверхности откачной системы З Воспроизводимость эмиссионных параметров катодов обрабатываемых приборов возрастает, но на уровне вы38 соких параметров она остаетс недостаточной , т.е. полностью очистить прибор удаетс не всегда. .u3 того наличие дзух штенгелей увеличивает габариты прибора и соответстЕенно, снижает (Троцент выхода их по герме тичностИ; укелимивает стоимость прибора , расход waгериалов и т„До Дл осушествлени этого способа необходим с ткачные посты со специальной конструкцией гребенки 3 имеющей по два гнезда под каждый откачиваемый прибо штангели от прибора удлинены и изог нуты, что увеличивает сопротивление вакуумпровода и, соответственно, удл н ет врем откачки. Затруднена также напайка и отпайка прибора на посту Приборы, имеющие только один штенгель , обрабатывать известным способом нельз Целью изобретени вл етс повы шение стабильности эмиссионных параметров прибора и упрощение технологии откачки. Поставленна цель достигаетс те что согласно способу обработки ЭБП путем пропускани водорода из источ ника водорода сквозь прибор на этапе откачки источник водорода ввод т в прикатодное пространство прибора и вывод т из него после окончани обработки. Предлагаемый способ осуществл ет с на крупногабаритных приборах,тех нологи изготовлени которых преду„:-;атривает бесштенгнельную (камерi-:y;o; откачку,; ввод генератор водо pO;4d ,:. прикатодное пространство об psoav.iir.raro прибора, которое наход -Г|С ,; ,ме .:ду катодом и ближайшим электродом от него, а затем извлекай генератор после окончани обработки . Осус:.:. :-.;ггь .;;:гд.пагаемый способ мож;:- Idiu.o .:.: ;;.о;;.ством предварител кого насыщени деталей катодного узла водородом, который, выдел сь при термической обработке узла, спо co6ctByeT очистке прибора в целом. Однако такое решение не всегда опти мально из-за плохой управл емости процессом и трудност ми контрол (в детал х узла трудно запасти коли чество водорода, достаточное дл обработки прибссд, :Jдeлeниe водоро во времени спадза/ не обеспечива необходимого режу-ма очистки, а после окончани сб::;зботки неизвестно СКОЛЬКО водорода еще осталось в детал х узла). Наиболее предпочтительным вл етс такое осуществление предлагаемого способа, когда водород впускают в прикатодное пространство через открытый конец трубки, соединенной с источником водорода, которую ввод т в прибор на период обработки через откачной штенгель и вывод т после проведени обработки В данном способе значимость операций , очистки поверхностей различна и последовательна - сначала и в большой степени очищаетс прикатодное пространство, затем и в меньшей степени - другие электроды и оболочка прибора и наконец - вакуум-провод откачной системы. При использовании напуска водорода сквозь трубку удалось обрабатывать с лучшим качеством приборы, имеющие всего один штенгель, т.е распространить технологию с потоком водорода на приборы, дл которых така технологи не предназначена. Таким образом , несущественно изменив скорость откачки (заполнением части пространства штенгел ), можно расширить номенклатуру приборов, обрабатываемых по прогрессивной технологии, а в приборах , испс)льзующих ее, снизить габариты и улучшить качество, удалив второй (ставший ненужным) штенгель„ Выполнение требовани - впускать водород в прибор именно через открытый конец трубки, позвол ет легко управл ть потоком водорода, расположив нагреваемый диффузионный натекатель за пределами гнезда гребенки. Пример. Предлагаемый способ опробовалс на модернизированном откачном постуо .Суть модернизации заключаетс в использовании водородного натекател , состо щего из трубки, открытым концом вводимой в прибор, а другим укрепленной на основании нагреваемого элемента., сквозь который пропускаетс сетевой водород Посредством сильфона трубка может перемещатьс внутри штенгел откачиваемого прибора Способ осуществл етс в следующей последовательности Устанавливают прибор на пост При этом трубка натекател находитс внутри гнезда гребенки и не мешает напайке Длина штенгел прибора выбираетс (Sk) METHOD FOR TREATING ELECTRIC AND VOLUME PRODUCTS The invention relates to a technology for the manufacture of electrovacuum devices (EVE), in which it is intended or expedient to process the pumped device with hydrogen inlet in the pumped device. Such processing allows to carry out additional finishing cleaning of the internal surfaces of the device from contamination, which leads to an increase in the stability of the parameters (first of all, the cathode parameters on the service life). In addition, the treatment of the device with hydrogen overlap makes it possible in a number of cases to shorten the out-of-dusting time of devices at the post. There are known methods for processing EEC with hydrogen inlet into the pumping system, when the hydrogen inlet is continuously diluted with the atmosphere of the evacuated gases, or in portions of G21, periodically washing out the emitted gases. INSTRUMENTS These methods are widespread, but they do not provide sufficient reproducibility of the emission parameters of cathodes, since the injected hydrogen is spent mainly on cleaning the pumping system and only partially on cleaning the pumped-out device, while the reaction products (water vapor, volatile oxides) can get to the processed cathode. There are known methods for processing EEC by passing hydrogen from a source through the device at the pumping stage. The device is specially adapted for this technology, it has two rods th: through one of them hydrogen is introduced into the device, through the other it is pumped out, thus cleaning the surfaces of the device first, and then the surfaces of the pumping system H. The reproducibility of the emission parameters of the cathodes of the devices being processed increases, but at the level of high parameters it remains insufficient, i.e. . It is not always possible to completely clean the device. .u3 additionally, the presence of Dzuh shtrigel increases the dimensions of the device and, accordingly, reduces (Threefold of their output per hermeticity; heightens the cost of the device, the consumption of waders and t "Before you need this method with weaver posts with a special comb design 3 having two sockets for each the pumped out device of the barbell is extended from the device and curved, which increases the resistance of the vacuum line and, accordingly, extends the pumping time. Also soldering and desoldering the device at the station is difficult Devices having only one piece The aim of the invention is to increase the stability of the emission parameters of the device and simplify the pumping technology. The goal is that according to the method of processing EBP by passing hydrogen from a hydrogen source through the device during the pumping stage, a hydrogen source is introduced into the near-cathode space of the device and withdrawn from it after the end of processing. The proposed method implements with on large-sized devices, the manufacturing techniques of which are foreseen: -; the tunneling chamber (chamberi-: y; o; pumping out; input generator water pO; 4d,:. Prikatodnoy space about psoav.iir.raro device, which is -G | S,; , me.: do the cathode and the nearest electrode from it, and then remove the generator after the end of processing. Osus:.:. : -; gg. ;;: gd.pagayemy method we can;: - Idiu.o.:.: ;;. about ;;. prefixing the details of the cathode assembly with hydrogen, which is released during the heat treatment of the node, co6ctByeT cleaning device as a whole. However, such a solution is not always optimal due to poor process control and control difficulties (it is difficult to stock up in the parts of the unit the amount of hydrogen sufficient to process the equipment: D decrease in hydrogen in the time of the fall-off / not providing the necessary cleaning mode, but after the end of a sat. ::; it is not known how much hydrogen is left in the parts of the node). The most preferred is such an implementation of the proposed method, when hydrogen is admitted into the cathode space through the open end of a tube connected to a source of hydrogen, which is introduced into the device for the period of treatment through the exhaust roll and removed after processing. In this method, the significance of surface cleaning operations different and consistent - the cathode space is first and to a large extent cleaned, then to a lesser extent the other electrodes and the device shell and finally the vacuum wire d pumping system. When using hydrogen overlap through the tube, it was possible to process with better quality instruments having only one pingel, that is, to extend the technology with a stream of hydrogen to instruments for which this technology was not intended. Thus, by slightly changing the pumping speed (filling part of the space of the spacer), you can expand the range of devices processed by advanced technology, and in devices that use it, reduce the size and improve the quality by removing the second (unnecessary) Admitting hydrogen into the device through the open end of the tube allows the flow of hydrogen to be easily controlled by placing the heated diffusion leak outside the comb socket. Example. The proposed method was tested on a modernized pumping post. The essence of the modernization is the use of a hydrogen generator consisting of a tube with an open end inserted into the device and another strengthened on the basis of the heated element. Through the network hydrogen is passed through the bellows. The tube can be moved inside the stengel of the pump being pumped. The method is carried out in the following sequence. Install the device to the post. At the same time, the leak tube is inside the comb slot and not eshaet tipped device is selected length tubulation
такой, чтобы при вдвинутой трубке ее открытый конец попадал в прикатодную область прибора. Включают насосы и провод т откачку по заданному режиму. Сжимают сильфон и ввод т трубку своим открытым концом внутрь .прибора, в его прикатодную область. Включают нагрев натекател водорода и устанавливают поток (в нашем случае контроль его осуществл етс по заранее проградуированной зависимости потока от мощности нагрева). Осуществл ют обработку прибора (с прогревом под печью, обезгаживанием электродов, активированием и т.д.) согласно технологической карте на прибор. Разжимают сильфон , удал трубку из прибора и штенгел „ Производ т отпай прибора с поста .such that when the tube is pushed in, its open end falls into the cathode area of the instrument. The pumps are turned on and pumped out according to the set mode. The bellows is compressed and the tube is inserted with its open end inside the instrument into its cathode area. The heating of the hydrogen stream is switched on and the flow is established (in our case, it is monitored according to a pre-calibrated dependence of the flow on the heating power). The device is processed (with heating under the furnace, degassing of the electrodes, activation, etc.) according to the technological map to the device. Unclamp the bellows, remove the tube from the instrument and the pingee. Disconnect the instrument from the post.
Предлагаемый способ позвол ет повысить воспроизводимость эмиссирнных параметров от прибора к прибору и увеличить их срок службы при отборе тока повышенной плотностиоThe proposed method allows to increase the reproducibility of emissive parameters from the instrument to the instrument and to increase their service life when current is taken of increased density.