SU885960A1 - Устройство дл фокусировки - Google Patents
Устройство дл фокусировки Download PDFInfo
- Publication number
- SU885960A1 SU885960A1 SU802893008A SU2893008A SU885960A1 SU 885960 A1 SU885960 A1 SU 885960A1 SU 802893008 A SU802893008 A SU 802893008A SU 2893008 A SU2893008 A SU 2893008A SU 885960 A1 SU885960 A1 SU 885960A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- raster
- beam splitter
- focusing
- quarter
- plane
- Prior art date
Links
Landscapes
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ
I
Изобретение относитс к проекционной фотолитографии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Известно устройство дл фокусировки в котором дл формировани разностного сигнала дефокусировки используетс плоскопараллельна пластина из одноосного кристалла с оптической осью, лежащей в плоскости пластины, создающа два изображени щтрихового растра, сдвинутые по глубине. Втора плоскопараллельна пластина из одноосного .кристалла с оптической осью, не лежащей в плоскости пластины , разводит два изображени в поперечном йаправлении, которые попадают на площадки сдвоенного фотоприемника 1.
Недостатком данного устройства вл ет .с то, что сигнал дефокусировки посто нного тока обуславливает ошибки фокусировки , св занные с дрейфом нул усилителей, неодинаковой чувствительностью площадок фотоприемника и т. д.
Известно устройство Дл фокуч:ировки, содержащее последовательно расположенные в основном .световом канале нсточник линейно-пол ризованного света, переключатель пол ризации, штриховой предметный растр, светоделитель, объектив и расположенные в ходе лучей, отраженных от светоделител ; плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла и фотоприемник, в котором изображение растрй формируетс объективом вблизи поверхности кремниевой пластины (или фотопластины). Автоколлимационное изображение растра в обратном ходе лучей, отраженных от кремниевой пластины, строитс вблизи растра. Количество света, пропущенное растром на фотоприемник , определ етс степенью дефокусировки 2.
Основным недостатком данного устройства вл етс пол ризующа способность преломл ющих и отражающих оптических )5 элементов при наклонном падении лучей на поверхность и наличие микроструктуры («спекл зернистость, п тнистоть) в изображении при работе с когерентными источниками света, что вызывает неконтролируемую случайную ошибку фокусировки.
Цель изобретени - повышение точности фокусировки.
Указанна цель достигаетс ,тем, что, в устройство дл фокусировки, содержащее
последовательно расположенные в основном световом канале источник линейно-пол ризованного света, переключатель пол ризации , штриховой предметный растр, светоделитель , объектив и расположенные в ходе лучей, отраженных от светоделител , плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла и фотоприемник, введены анализирующий растр и две фазовые четвертьволновые пластины, причем одна.фа ,зова четвертьволнова пластина расположена в основном световом канале между штриховым предметным растром и светоделителем , втора фазова четвертьволнова пластина находитс в ходе лучей отраженных от светоделител между светоделителем и плоскопараллельной плacfинoй из одноосного кристалла, а анализирующий растр поставлен перед фотоприемником .
На фиг. 1 изображена оптическа схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 - таблица состо ний электрического вектора в различных точках схемы и ориентации оп тических осей основных элементов схем. Устройство дл фокусировки содержит источник I линейно-пол ризованного света, переключатель 2 пол ризации, предметный растр 3, фазовую четвертьволновую пластину 4, светоделитель 5, объектив 6, кремниевую пластину 7, фазовую четвертьволновую пластину 8, плоскопараллельную пластину 9 из одноосного кристалла, анализирующий растр 10 и фотоприемник 11. Устройство работает следующим образом .
Свет от источника линейно-пол ризованного света I после прохождени переключател 2 пол ризации сохран ет направление EI электрического вектора при выключенном состо нии переключател 2 пол ризациии измен ет его на ортогональное EZ при включенном. Ориентаци щтрихов а предметного растра 3 показана на фиг. 2. Перва четвертьволнова пластина 4 измен ет линейные состо ни пол ризации света на правую и левую циркул рные. Объектив 6 формирует неподвижное изображение предметного растра 3 вблизи поверхности кремниевой пластины 7. Изображени растра 3 при работе переключател пол ризации отличаютс только направлением вращени электрического вектора , полностью совпада по всем остальным параметрам. Отразившись от пластины 7, пройд объектив 6 и отразившись от светоделител 5, свет попадает на вторую четвертьволновую пластину 8, котора преобразует правую и левую циркул рные пол ризации в линейные ортогональные. При этом через пластину 9 распростран етс либо О, либо Е волна, так что оптический путь определ етс показател ми преломлени соответственно По и п. Изображени Jj и J предметного растра 3 стро тс на равных рассто ни х по оси Z вблизи
анализирующего растра 10 при сфокусированном положении кремниевой пластины 7 и на разных рассто ни х в общем случае. Таким образом, фотоприемник 11 вырабатывает разностный сигнал фокусировки.
Взаимна ориентировка группы элементов 1, 2, 3 и 4 относительно группы элементов 8, 9 и 10 может быть любой, важна только взаимна ориентировка элементов внутри групп.
Дл упрощени на фиг.. 1 не показано, как измен етс состо ние пол ризации после прохождени элементов 5, 6 и 7 в пр мом и обратном ходе лучей. Каждый из указанных элементов превращ,ает циркул но пол ризованный свет в эллиптически пол ризованный , так что отношение большой и малой осей эллипса измен етс без изменени его ориентации, а после отражени от пластины 7 может измен тьс и ориентаци эллипса в пространстве. Следовательно , на четвертьволновую пластину 8 приходит эллиптически пол ризованный свет с противоположными направлени -ми вращени электрического вектора, но что самое главное - с одинаковыми интенсивност ми дл разных состо ний переключател 2 пол ризации, что устран ет случайную ошибку нул фокусировки. Вли ние спекл-структуры устран етс тем, что плоско-параллельна пластина из одноосного кристалла 9 расположена в выходном плече устройства фокусировки так, что изображение предметного растра .3 на кремниевой пластине 7 дл одного состо ни переключател 2 пол ризации неподвижно относительно изображени дл другого состо ни переключател 2 пол ризации, отлича сь только направлением вращени
электрического вектора.
Таким образом, предлагаемое устройство сохран высокое быстродействие, высокую аппаратурную точность и простоту конструк ции, позвол ет избавитьс от случайной
ошибки измерений, что позвол ет значительно повысить точность фокусировки.
Claims (2)
- Формула изобретени5 Устройство дл фокусировки, содержащее последовательно расположенные в основном световом канале источник линейнопол ризованного света, переключатель пол ризации , штриховой предметный растр, светоделитель, объектив и расположенные в ходе лучей, отраженных от светоделител плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла и фотоприемник, оглычающеес тем, что, с целью повышени точности фокусировки, оно дополнительно снабжено анализирующим растром и двум фазовыми четвертьволновыми пластинами, причем , одна фааова четвертьволнова пластина расположена в основном световом канале между штриховым предметным растром 58 Н светоделителем, втора фазова четвертьволнова пластина расположена в ходе лучей, отраженных от светоделител между светоделителем и плоскопараллельной пластиной из одноосного кристалла, а анализирующий растр расположен перед фотоприемником . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР 712794, кл. G 03 В 3/00, 17.08.78.
- 2.Авторское свидетельство СССР по зае № 2787158/10, кл. G 03 В 3/00, 28.06.79 ототип). По/1Яриза Источник ционнти перкклю сВета 40 тел ь iioSpa eIflocKona , Huf пред ельиц мо{ етнога тина из Ющии ростра JS 30 одноосного растр. Hf ока fluкристапа
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802893008A SU885960A1 (ru) | 1980-03-12 | 1980-03-12 | Устройство дл фокусировки |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU802893008A SU885960A1 (ru) | 1980-03-12 | 1980-03-12 | Устройство дл фокусировки |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU885960A1 true SU885960A1 (ru) | 1981-11-30 |
Family
ID=20882249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU802893008A SU885960A1 (ru) | 1980-03-12 | 1980-03-12 | Устройство дл фокусировки |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU885960A1 (ru) |
-
1980
- 1980-03-12 SU SU802893008A patent/SU885960A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7442908B2 (en) | Method for optically detecting deviations of an image plane of an imaging system from the surface of a substrate | |
CN1916561A (zh) | 用于测量垂直移动的干涉仪 | |
US7106452B2 (en) | Measuring device and measuring method | |
JPH07239212A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2007163479A (ja) | 干渉計 | |
JPS63275912A (ja) | 表面変位検出装置 | |
JPH0455243B2 (ru) | ||
JPH0663867B2 (ja) | 波面状態検出用の干渉装置 | |
US3533702A (en) | Multipurpose optical measuring device for determining the position of an object in two coordinates | |
SU885960A1 (ru) | Устройство дл фокусировки | |
US4033696A (en) | Lens meter | |
TWI658289B (zh) | 調焦調平裝置 | |
SU1727105A1 (ru) | Автоколлимационное устройство | |
JPH01107139A (ja) | パターン検知装置 | |
SU859989A1 (ru) | Устройство дл фокусировки | |
JPH11248418A (ja) | 光波干渉測定方法および装置、およびそれを備えた露光装置 | |
JPH07311009A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2691899B2 (ja) | 干渉計 | |
JP2004340735A (ja) | 波面収差測定装置 | |
SU1268948A1 (ru) | Устройство дл контрол угловых параметров плоскопараллельных пластин | |
JPH09318311A (ja) | 干渉計システム | |
SU1073568A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины и показател преломлени пленки | |
JPS61134022A (ja) | 位置合せ信号検出装置 | |
RU1825971C (ru) | Пол ризационное устройство дл измерени углов скручивани | |
JPH04372834A (ja) | レンズの偏心量測定方法および装置 |