SU859989A1 - Устройство дл фокусировки - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОКУСИРОВКИ Изобретение относитс  к проекционной фотолитографии и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем. Известно проекционное устройство с автоматической фокусировкой, в ко тором дл  фоЕ)Мировани  разностного сигнала .фокусировки используетс  вращающийс  двухтолшинный прозрачны диск, сканирующий по глубине изобра жени  штрихового растра, которое строитс  вблизи плоскости изображен проекционного объектива {). Однако при фокусировании непреры но перемещающейс  подложки быстродействие ограничиваетс  относительно невысокой скоростью вращени  диск , Известно устройство дл  фокусиров ки, содержащее источник линейно-пол  ризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив фотоприемник и плоскопараллельную пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины 2. Однако известное устройство имеет недостаточную точность. . . Цель изобретени  - повьлиениё точности фокусировки и упрощение конструкции устройства. Указанна  цель достигаетс  тем, что в устройство дополнительно введен переключатель пол ризации, имекадий исходное направление вектора пол ризации параллельное или перпендикул рное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно пол ризованного света и штриховым растром. На чертеже представлена схема устройства. Устройство дл  фокусировки содержит источник 1 линейно-пол ризованного света, переключатель 2 пол ризации, светоделитель 3, штриховой растр 4 плоскопараллельную пластину из одноосного кристалла 5, объектив б, подложку 7, коллектив 8 и фотоприемник 9. Устройство работает следующим образом . Свет от источника 1, пройд  пе$ включатель 2 пол ризации, мен ет направление вектора пол ризации на 90, если переключатель включен, сохран ет его направление, или не включен . Оптическа  ось плоскопараллельной пластины из одноосного кристалла 5 ориентирована так, что она лежит в плоскости пластины и параллельна или перпендикул рна исходному направлению вектора пол ризации света.Поэтому в зависимости от положени  вектора пол ризации света через кристаллическую пластину 5 будут распростран тьс  обыкновенна  волна о (вектор пол ризации света перпендикул рен оптической оси кристалла), или необыкновенна  волна е (вектор пол ризации света параллелен оптической оси кристалла). Соответственно, растр 4 изображаетс  поочередно объективом б в двух положени х, разнесенных по глубине, вблизи плоскости изображени  объектива. Мтриховой растр 4 устанавливают так, что в случае идеальной фокусировки его автоколлимационные изображени  10 при одном направлении вектора пол ризации и 11 - при другом положении наход тс  на одинаковом рассто нии и по разные стороны от него самого. Отраженный от подложки 7 световой поток светоделителем 3 и коллективом 8 направл етс  на фотоприемник 9, с которого снимаетс  разностный сигнал дефокусировки . Если подложка 7 дефокусирована в ту или другую сторону, то в одном случае больше сигнал, соответствующий о-волне, а в другом случае больше сигнал, соответствунлций е-волне . В положении идеальной фокусировки разностный сигнал переменной составл ющей не имеет.

J

Предлагаемое устройство позвол ет работать с переменным разностным сигналом высокой частоты и использовать одноплрщадочный фотоприемник. Это в несколько раз повышает точность фокусировки .

Claims (2)

1. Формула изобретени 

   Устройство дл  фокусировки, содержащее источник линейно-пол ризованного света, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив, фотоприемник и плоскопараллельную пластину из оптически одноосного кристалла с оптической осью, параллельной плоскости пластины, отличающеес   тем, что, с целью повышени  точности фокусировки и упрощени  конструкции , в него введен переключатель пол ризации, имеющий исходное направление вектора пол ризации параллельное или перпендикул рное оптической оси плоскопараллельной пластины и расположенный между источником линейно-пол ризованного света и штриховым растром.

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

   0 1. Авторское свидетельство СССР № 406182, кл. G 03 В 3/00, 27.12.71.
2. 2. Авторское свидетельство СССР по за вке 2656481/18-10, кл. G 03 G 3/00, 17.08.78 (прототип).

   10 f 11 6