SU848761A1 - Вакуумный агрегат - Google Patents

Description

(54) ВАКУУМНЫЙ АГРЕГАТ

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике, а именно к устройству высоковакуумных агрегатов на базе турбомолекул рных вакуумных насосов.

Известны вакуумные агрегаты , содержащие турбомолекул рный и форвакуумный механический насосы с автономными приводами 1.

Недостатком известных агрегатов  вл етс  невысока  экономичность вследствие неэффективного использовани  оборудовани , в частности привода форвакуу1 1ного механического насоса , потребл ема  мощность которого снижаетс  по мере понижени  давлени  в агрегате от атмосферного до соответствующего пуску турбомолекул рного насоса.

Цель изобретени  - повышение зкономичности при выполнении привода турбомолекул рного насоса в виде газовой турбины.

Указанна  цель достигаетс  тем, что агрегат дополнительно содержит установленный на валу привода механического насоса компрессор высокого давлени  с р-зсивером, св занным со входом газовой турбины.

На чертеже представлена схема вакуумного ахрегата.

Вакуумный агрегат содержит турбомолекул рный и форвакуумный механи-. ческий насосы 1 и 2 с автономными приводами 3 и 4. Агрегат дополнительно содержит установленный на валу 5 привода 4 механического насоса 2 компрессор 6 высокого давлени  с ресивером 7, св занным со входом газовой турбины, выполн ющий функции

10 привода J турбомолекул рного насоса 1.

Агрегат работает следующим образом .

Первоначально включаетс  привод 4 форвакуумного механического насоса 2,

15 и полость турбомолекул рного насоса 1 откачиваетс  до давлени  его запуска. При этом по мере понижени  давлени  мощность, потр;эбл ема  приводом 4 форвакуумного насоса 2, сни20 . жаетс . После достижени  в полости турбомолекул рного насоса 1 давлени  запуска компрессор 6 высокого давлени  подключаетс  к валу 5 привода 4 и через ресивер 7 подает сжатый газ

25 на газовую турбину, выполн ющую функцию привода 3 турбомолекул рного насоса 1

Использование привода турбомолекул рного насоса в виде газовой тур30 бины позвол ет более эффективно использовать оборудование, вход щее в состав вакуумного агрэгата, и повысить его экономичность.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Вакуумный агрегат, содержащий турбомолекул рный и форвакуумный механический насосы с автономными приводами , отличающийс  тем, что, с целью повышени  экономичности

   при выполнении привода турбомолекул рного насоса в виде газовой турбины , агрегат дополнительно содержит установленный, на валу привода механического насоса компрессор высокого давлени  с ресивером, св занным со входом газовой турбины.

   Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Вакуумна  техника. Справочные материсшы. М., Реклама, 1975, с. 30,