SU846436A1 - Шагающий конвейер - Google Patents
Шагающий конвейер Download PDFInfo
- Publication number
- SU846436A1 SU846436A1 SU792862913A SU2862913A SU846436A1 SU 846436 A1 SU846436 A1 SU 846436A1 SU 792862913 A SU792862913 A SU 792862913A SU 2862913 A SU2862913 A SU 2862913A SU 846436 A1 SU846436 A1 SU 846436A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- grooves
- pulleys
- plate
- conveyor
- carriers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
(54) ШАГАЩИЙ КОНВЕЙЕР
I
Изобретение относитс к машиностроению , в частности к транспортирующим устройствам, и может быть использовано при перемещении плоских изделий в объеме, ограниченном по высоте , например при транспортировании полупроводниковых пластин между электродами в установках плазмохимического травлени с диодной системой возбуждени разр да.
Известно устройство дл перемещени изделий, вьшолненное в виде шарнирного параллелограмма, одно звено которого неподвижно зак;реплено. При приложении момента сил к одному из незакрепленных звеньев механизм совершает дискретное перемещение изделий на. шаг fl .
Недостаток данного устройства заключаетс в том, что оно обеспечивает перемещени изделий только на равные величины как по вертикали, так и по горизонтали. В то же врем возникает необходимость перемещать
издели на небольшую величину по вертикали и на большую - по горизонтали .
Наиболее близким к предлагаемому вл етс шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, св занных с приводом горизонтального перемещени . Но10 ситель вьтолнен в виде отдельных бгшок а кажда опора оборудована контактирующим с соответствующей балкой двухребордным роликом. При перемещении груза опоры,поднимающие проts дольные балки,, поворачиваютс с помощью привода. Продольные балки поднимаютс вьш1е балок, на которых расположен груз, и приподнимают его. После этого с помощью другого приво20 да перемещаютс в горизонтальной плоскости продольные балки вместе с грузом. Затем груз снова опускаетс на балки, на которых он был распо38 ложен, и продольные балки возвращаютс в исходное положение 2. Недостаток данного устройства заключаетс в сложности конструкции, обусловленной наличием двух раздельных приводов дл вертикального и горизонтального перемещени груза. Кроме того, известный конвейер не обеспечивает высокой производительности ввиду того, что необходимо эре м дл холостого хода конвейера при возврате его в исходное положение. Целью изобретени вл етс упрощение конструкции и повышение производительности . Указанна цель достигаетс тем, что в шкивах выполнены пазы, а неподвижна плита имеет ролики, уста новленные с возможностью взаимодейст ви с пазами при опускаьши носителей На фиг. 1 изображен шагающий кон вейер, общий вид; на фиг. 2 - положе ние конвейера в момент высто обраба тываемого издели на позиции обработ ки{ на фиг. 3 - то же, в момент пере носа обрабатываемого издели на новую позицию. Шаговый конвейер состоит из плиты 1 с вертикальньшм пазами 2, в которых располагаютс оси 3 с закрепленными на них шкивами 4, несущими гибкие движители 5, и подъемными шкивами 6, опирающимис своими пазам на ролики 7. Гибкие движители 6 утоплены в пазу 8 плиты 1 (фиг,1}. Устройство работает следующим образом. Пазы подъемных шкивов (фиг.1 и 2) совпадают с опорными плоскост ми роликов 7. В этом положении гибкие движители 5 утоплены в пазах 8 плиты 1 и обрабатываемое изделие 8 (не показано ) лежит на плоскости неподвижной плиты 1. При включении привода (не показан) пазы подъемных шкивов 6 выход т из зацеплени с роликами 7 (фиг.3), .приподнима гибкие движите ли 5 нал плитой 1 на величину, равну разности глубин пазов подъемных шкивов 6 и пазов 8 плиты 1. При зтом обрабатываемое изделие 9 приподнимаетс над плитой 1 и переноситс на рассто ние, равное разности длины окружности подъемного шкива 6 и части длины окружности паза шкива 6. После совершени одного оборота подъемных шкивов 6 (при совпадении их пазов с роликами 7) гибкие движители 5 утоп тс в пазу 8 плиты 1, и обрабатываемое изделие 9 останавливаетс на новой позиции. Таким образом, конвейер позвол ет осуществить при соответствующем подборе соотношени длины окружности подъемного шкива, глубины паза и диаметра ролика, значительные, например 125 мм, горизонтальные перемещени при весьма малых, например 1-2 мм вертикальных перемещени х обрабатываемого издели . изобретени Формула Шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, св занных с приводом горизонтального перемещени , отличающийс тем, что, с целью упрощени конструкции и повышени производительности, в шкивах выполнены пазы, а неподвижна плита имеет ролики, установленные с возможностью взаимодействи с пазами при опускании носителей. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Артоболевский И.И. Механизмы в современной технике. М., Наука, 1970, Т.1, с.376. 2.Авторское свидетельство СССР № 309883, кл. В 65 G 25/00, 1969 (прототип).
Claims (1)
- 25 Формула изобретенияШагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные 30 на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, связанных с приводом горизонтального перемещения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения 35 производительности, в шкивах выполнены пазы, а неподвижная плита имеет ролики, установленные с возможностью взаимодействия с пазами при опускании носителей.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792862913A SU846436A1 (ru) | 1979-11-15 | 1979-11-15 | Шагающий конвейер |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792862913A SU846436A1 (ru) | 1979-11-15 | 1979-11-15 | Шагающий конвейер |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU846436A1 true SU846436A1 (ru) | 1981-07-15 |
Family
ID=20869358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792862913A SU846436A1 (ru) | 1979-11-15 | 1979-11-15 | Шагающий конвейер |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU846436A1 (ru) |
-
1979
- 1979-11-15 SU SU792862913A patent/SU846436A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0852393A3 (en) | Thermal reaction chamber for semiconductor wafer processing operations | |
KR890011013A (ko) | 웨이퍼 이동 교체 장치 및 방법 | |
KR940017985A (ko) | 기판처리장치와 기판처리장치에 있어서 기판교환장치 및 기판교환방법 | |
US10040643B2 (en) | Container raising/lowering conveyance apparatus | |
DE3370613D1 (en) | Inclined lift for goods conveyance | |
KR940018072A (ko) | 정제의 젤라틴 피복 장치용 건조 시스템 | |
ATE62057T1 (de) | Einrichtung zum handhaben von abstandhalterrahmen. | |
SU846436A1 (ru) | Шагающий конвейер | |
GB1449266A (en) | Load handling mechanism for a storage and retrieval system | |
CA2449719A1 (en) | Linear conveyor system | |
KR970053354A (ko) | Ic 패키지 전송 및 재배치장치 | |
ES367517A1 (es) | Aparato para el desplazamiento de mercancias. | |
KR870011671A (ko) | 웨이퍼 카세트 전달장치 | |
DE3466376D1 (en) | Method and arrangement for conveying articles | |
ES2017014B3 (es) | Dispositivo para transportar y llenar marcos distanciadores de vidrio aislante. | |
SU1299494A3 (ru) | Устройство дл заполнени сло ми пакетов транспортирующего складского стеллажа | |
KR880002449A (ko) | 제과장치 | |
JPH09124109A (ja) | 物品移載装置 | |
US2102308A (en) | Automatic plating conveyer | |
SU1641751A1 (ru) | Устройство дл укладки плоских изделий в стопу | |
SU996295A1 (ru) | Шагающий конвейер | |
KR0167255B1 (ko) | 리드 프레임 이송장치 | |
SU626844A1 (ru) | Устройство дл установки нижнего валка прокатной клети | |
SU1215913A1 (ru) | Механизм ориентации листов | |
SU835896A1 (ru) | Цепной конвейер |