SU846436A1 - Шагающий конвейер - Google Patents

Шагающий конвейер Download PDF

Info

Publication number
SU846436A1
SU846436A1 SU792862913A SU2862913A SU846436A1 SU 846436 A1 SU846436 A1 SU 846436A1 SU 792862913 A SU792862913 A SU 792862913A SU 2862913 A SU2862913 A SU 2862913A SU 846436 A1 SU846436 A1 SU 846436A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
grooves
pulleys
plate
conveyor
carriers
Prior art date
Application number
SU792862913A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Николаевич Федоров
Родион Владимирович Пуховицкий
Original Assignee
Предприятие П/Я Р-6707
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я Р-6707 filed Critical Предприятие П/Я Р-6707
Priority to SU792862913A priority Critical patent/SU846436A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU846436A1 publication Critical patent/SU846436A1/ru

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

(54) ШАГАЩИЙ КОНВЕЙЕР
I
Изобретение относитс  к машиностроению , в частности к транспортирующим устройствам, и может быть использовано при перемещении плоских изделий в объеме, ограниченном по высоте , например при транспортировании полупроводниковых пластин между электродами в установках плазмохимического травлени  с диодной системой возбуждени  разр да.
Известно устройство дл  перемещени  изделий, вьшолненное в виде шарнирного параллелограмма, одно звено которого неподвижно зак;реплено. При приложении момента сил к одному из незакрепленных звеньев механизм совершает дискретное перемещение изделий на. шаг fl .
Недостаток данного устройства заключаетс  в том, что оно обеспечивает перемещени  изделий только на равные величины как по вертикали, так и по горизонтали. В то же врем  возникает необходимость перемещать
издели  на небольшую величину по вертикали и на большую - по горизонтали .
Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, св занных с приводом горизонтального перемещени . Но10 ситель вьтолнен в виде отдельных бгшок а кажда  опора оборудована контактирующим с соответствующей балкой двухребордным роликом. При перемещении груза опоры,поднимающие проts дольные балки,, поворачиваютс  с помощью привода. Продольные балки поднимаютс  вьш1е балок, на которых расположен груз, и приподнимают его. После этого с помощью другого приво20 да перемещаютс  в горизонтальной плоскости продольные балки вместе с грузом. Затем груз снова опускаетс  на балки, на которых он был распо38 ложен, и продольные балки возвращаютс  в исходное положение 2. Недостаток данного устройства заключаетс  в сложности конструкции, обусловленной наличием двух раздельных приводов дл  вертикального и горизонтального перемещени  груза. Кроме того, известный конвейер не обеспечивает высокой производительности ввиду того, что необходимо эре м  дл  холостого хода конвейера при возврате его в исходное положение. Целью изобретени   вл етс  упрощение конструкции и повышение производительности . Указанна  цель достигаетс  тем, что в шкивах выполнены пазы, а неподвижна  плита имеет ролики, уста новленные с возможностью взаимодейст ви  с пазами при опускаьши носителей На фиг. 1 изображен шагающий кон вейер, общий вид; на фиг. 2 - положе ние конвейера в момент высто  обраба тываемого издели  на позиции обработ ки{ на фиг. 3 - то же, в момент пере носа обрабатываемого издели  на новую позицию. Шаговый конвейер состоит из плиты 1 с вертикальньшм пазами 2, в которых располагаютс  оси 3 с закрепленными на них шкивами 4, несущими гибкие движители 5, и подъемными шкивами 6, опирающимис  своими пазам на ролики 7. Гибкие движители 6 утоплены в пазу 8 плиты 1 (фиг,1}. Устройство работает следующим образом. Пазы подъемных шкивов (фиг.1 и 2) совпадают с опорными плоскост ми роликов 7. В этом положении гибкие движители 5 утоплены в пазах 8 плиты 1 и обрабатываемое изделие 8 (не показано ) лежит на плоскости неподвижной плиты 1. При включении привода (не показан) пазы подъемных шкивов 6 выход т из зацеплени  с роликами 7 (фиг.3), .приподнима  гибкие движите ли 5 нал плитой 1 на величину, равну разности глубин пазов подъемных шкивов 6 и пазов 8 плиты 1. При зтом обрабатываемое изделие 9 приподнимаетс  над плитой 1 и переноситс  на рассто ние, равное разности длины окружности подъемного шкива 6 и части длины окружности паза шкива 6. После совершени  одного оборота подъемных шкивов 6 (при совпадении их пазов с роликами 7) гибкие движители 5 утоп тс  в пазу 8 плиты 1, и обрабатываемое изделие 9 останавливаетс  на новой позиции. Таким образом, конвейер позвол ет осуществить при соответствующем подборе соотношени  длины окружности подъемного шкива, глубины паза и диаметра ролика, значительные, например 125 мм, горизонтальные перемещени  при весьма малых, например 1-2 мм вертикальных перемещени х обрабатываемого издели . изобретени  Формула Шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, св занных с приводом горизонтального перемещени , отличающийс  тем, что, с целью упрощени  конструкции и повышени  производительности, в шкивах выполнены пазы, а неподвижна  плита имеет ролики, установленные с возможностью взаимодействи  с пазами при опускании носителей. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Артоболевский И.И. Механизмы в современной технике. М., Наука, 1970, Т.1, с.376. 2.Авторское свидетельство СССР № 309883, кл. В 65 G 25/00, 1969 (прототип).

Claims (1)

  1. 25 Формула изобретения
    Шагающий конвейер, содержащий неподвижную плиту с пазами, в которых размещены носители, расположенные 30 на подвижных в вертикальной плоскости шкивах, связанных с приводом горизонтального перемещения, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения 35 производительности, в шкивах выполнены пазы, а неподвижная плита имеет ролики, установленные с возможностью взаимодействия с пазами при опускании носителей.
SU792862913A 1979-11-15 1979-11-15 Шагающий конвейер SU846436A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792862913A SU846436A1 (ru) 1979-11-15 1979-11-15 Шагающий конвейер

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792862913A SU846436A1 (ru) 1979-11-15 1979-11-15 Шагающий конвейер

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU846436A1 true SU846436A1 (ru) 1981-07-15

Family

ID=20869358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792862913A SU846436A1 (ru) 1979-11-15 1979-11-15 Шагающий конвейер

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU846436A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0852393A3 (en) Thermal reaction chamber for semiconductor wafer processing operations
KR890011013A (ko) 웨이퍼 이동 교체 장치 및 방법
KR940017985A (ko) 기판처리장치와 기판처리장치에 있어서 기판교환장치 및 기판교환방법
US10040643B2 (en) Container raising/lowering conveyance apparatus
DE3370613D1 (en) Inclined lift for goods conveyance
KR940018072A (ko) 정제의 젤라틴 피복 장치용 건조 시스템
ATE62057T1 (de) Einrichtung zum handhaben von abstandhalterrahmen.
SU846436A1 (ru) Шагающий конвейер
GB1449266A (en) Load handling mechanism for a storage and retrieval system
CA2449719A1 (en) Linear conveyor system
KR970053354A (ko) Ic 패키지 전송 및 재배치장치
ES367517A1 (es) Aparato para el desplazamiento de mercancias.
KR870011671A (ko) 웨이퍼 카세트 전달장치
DE3466376D1 (en) Method and arrangement for conveying articles
ES2017014B3 (es) Dispositivo para transportar y llenar marcos distanciadores de vidrio aislante.
SU1299494A3 (ru) Устройство дл заполнени сло ми пакетов транспортирующего складского стеллажа
KR880002449A (ko) 제과장치
JPH09124109A (ja) 物品移載装置
US2102308A (en) Automatic plating conveyer
SU1641751A1 (ru) Устройство дл укладки плоских изделий в стопу
SU996295A1 (ru) Шагающий конвейер
KR0167255B1 (ko) 리드 프레임 이송장치
SU626844A1 (ru) Устройство дл установки нижнего валка прокатной клети
SU1215913A1 (ru) Механизм ориентации листов
SU835896A1 (ru) Цепной конвейер