SU823852A1 - Устройство дл измерени размеровэлЕМЕНТОВ HA плОСКиХ Об'ЕКТАХ - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к-контрольно-измерительной технике и может быт использовано, в частности, дл  измере ни  размеров элементов на плоских объектах г например размеров элементов топологического рисунка на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах на всех стади х технологического процесса изготовлени . Известно устройство дл  измерени  размеров объектов, содержащее источник света с осветительной системой, направл ющей коллимированный луч а измер емый объект, линзу, осуществл ющую Фурье-преобразование, пространственный фильтр, имеющий механический привод,, компенсирующий световую энергию от измер емого объекта. Размер определ етс  по минимальному сигналу на фотоприемнике и положению механического привода 1. Недост-атком известного устройства  в.л етс  УЗКИЙ диапазон измер емых размеров, ограниченный конструкцией пространст венного фильтра, необходимость расче та и изготовлени  пространственного фильтра, невысока  точность измерени . Обусловленна  конечными размерами прозрачных областей пространственног фильтра и его механического перемещени  . Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому результату  вл етс  устройство дл  измерени  размеров элементов на плоских объект ах, на пример, на фотс йаблонах и полупроводниковых пластинах,. содержащее последовательно расположенные на одной оптической оси источник когерентного света, первую линзу, устанавливаемую на фокусном рассто нии от объекта, вторую линзу, фотоприемник и электронный блок обработки сигнала,пространственный фильтр. Измерительный размер выдел етс  по :минимальному сигналу на фотоприемнике 2 . . Недостатком этого устройства  вл етс  невысока  точность измерени  из-за наложени  Фурье-спектров в области пространственного фильтра от различных элементой контролируемого объекта, необходимость расчета и изготовлени  пространственного фильтра дл  каждого измер емого размера , низка  производительность, св занна  с необходимостью сканиро1вани  восстановленного изображени .t

Claims (1)

1. Устройство для измерения размеров элементов на плоских объектах, например, на фотошаблонах и полупроводниковых пластинах, содержащее последовательно расположенные на одной оптической оси источник когерентного света, первую линзу, устанавливаемую на фокусном расстоянии от объекта, вторую линзу, фотоприемник и электронный блок обработки сигнала; отличающееся тем, что, с целью повышения точности и производительности измерения, оно снабжено зеркалом, установлен|Ным в фокусе второй линзы с вёзмож|ност,ью поворота относительно оптической оси.