SU1280313A1 - Устройство дл определени размера лазерного луча - Google Patents
Устройство дл определени размера лазерного луча Download PDFInfo
- Publication number
- SU1280313A1 SU1280313A1 SU833796212A SU3796212A SU1280313A1 SU 1280313 A1 SU1280313 A1 SU 1280313A1 SU 833796212 A SU833796212 A SU 833796212A SU 3796212 A SU3796212 A SU 3796212A SU 1280313 A1 SU1280313 A1 SU 1280313A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- laser beam
- modulator
- contrast
- diffraction pattern
- size
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к измерительной технике, области измерений параметров лазерного излучени . Целью изобретени вл етс повьшение производительности и точности определени размеров лазерного луча за счет того, что измер емой величиной вл етс контраст дифракционной картины . Матовый рассеиватель 1, освещаемый измер емым лазерным лучом, формирует вторичный источник света, дифрагирующего на амплитудном модул торе 2. Контраст дифракционной картины определ етс с помощью вращающегос вокруг оптической оси пространственного фильтра 4, выполненного в виде радиальных щелей с угловым рассто нием между ними 45 и расположенного в плоскости изображени с объектива 3, и фотоприемника 5, св занного с электронным блоком регист (О рации. 1 ил.
Description
Изобретение относитс к измерителной технике, в частности к устройствам дл измерений параметров лазерного излучени .
Цель изобретени - повышение производительности И точности определени размеров лазерного луча за счет того, что измер емой величиной вл етс контраст дифракционной картины.
На чертеже показана принципиальна схема предлагаемого устройства.
Устройство содержит размещаемые по ходу измер емого луча матовый рассеиватель 1, установленный перед амплитудным модул тором 2, объектив 3, расположенный за модул тором 2, пространственный фильтр 4, установленный с возможностью вращени вокруг оптической оси устройства, выполненный в виде радиальных щелей с угл вым рассто нием между ними 45 и pacпoлoжeнньri в плоскости изображени , и фотоприемник 5. Модул тор 2 выполнен в виде двумерной периодической структуры круглых отверстий в непрозрачном экране.
Устройство работает следующим образом .
С помощью матового рассеивател , освещаемого измер емым лазерным лучом, создаетс вторичный источник излучени , свет от которого дифрагирует на двумерной периодической структуре круглых отверстий модул тора 2, Контраст картины дифракции рассе нного света, формируемого матовым рассеивателем, определ етс пространственной когерентностью рассе нного излучени , котора , в свою очередь , зависит от поперечного размера измер емого луча и рассто ни ме ду матовым рассеивателем 1 и модул тором 2. Св зь между контрастом V дифракционной картины, размером о источника и рассто нием L между шаговым рассеивателем 1 и модул тором 2 определ етс выражением, цолученРедактор А.Огар
Составитель Ю.Миронов
Техред М.ХоданичКорректор О.Лугова
Заказ 7047/39 Тираж 670Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предпри тие, г. Ужгород, ул. Проектна , 4
0
5
0
5
0
35
0
45
ным на основании теоремы Ван Циттер- та-Уернике1,
р K(V)|,(1)
где K(V) - коэффициент, завис щий от контраста дифракционной картины;
Л - длина волны, d - период двумерной структуры модул тора.
Измерение контраста картины,осуществл ют вращающийс пространственный фильтр 4 и фотоприемник 5.
При вращении пространственного фильтра 4 радиальные щели одновременно пересекают максимумы либо минимумы светового распределени , при этом на фотоприемник 5 падает пульсирующий поток излучени . Измен рассто ние между модул тором 2 и матовым рассеивателем, устанавливают градуи- ровочное значение контраста , а размер сечени лазерного луча определ ют по формуле (1) с соответствующим градуировочным значением. Согласно формуле (1) шкалу рассто ний L можно проградуировать в значени х рото- ра лазерного луча.
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл определени размера лазерного луча, содержащее амплитудный модул тор и фотоприемник, отличающеес тем, что, с целью повышени производительности и точности измерений, оно снабжено ;размещаемыми . по ходу измер емого луча установленным перед модул тором матовым рассеивателем, объективом, расположенным за модул тором, и пространственным фильтром, установленным с возможностью его вращени вокруг радиальных щелей с угловым рассто нием между НИМИ 45 и расположенным в плоскости изображени , модул тор выполнен в виде двумерной периодической структуры круглых отверстий в непрозрачном экране.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833796212A SU1280313A1 (ru) | 1983-10-01 | 1983-10-01 | Устройство дл определени размера лазерного луча |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU833796212A SU1280313A1 (ru) | 1983-10-01 | 1983-10-01 | Устройство дл определени размера лазерного луча |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1280313A1 true SU1280313A1 (ru) | 1986-12-30 |
Family
ID=21140598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU833796212A SU1280313A1 (ru) | 1983-10-01 | 1983-10-01 | Устройство дл определени размера лазерного луча |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1280313A1 (ru) |
-
1983
- 1983-10-01 SU SU833796212A patent/SU1280313A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Хромов А.В. Об измерении диаметров пучков лазерного излучени с помощью решетки. - Оптика и спектро/скопи . Вып.2. 1980, т. 48, с. 330. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3354319A (en) | Optical illumination and sensing system including a plurality of optical fiber means | |
CA2135602C (en) | System and method for monitoring torsional vibrations and operating parameters of rotating shafts | |
US2720810A (en) | Measuring instrument | |
EP0589477A2 (en) | Rotation information detection apparatus | |
JPS626119A (ja) | ロ−タリ−エンコ−ダ− | |
JPH02285214A (ja) | 測長器及びそれに用いるスケール部材 | |
US4542989A (en) | Apparatus for position encoding | |
SU1280313A1 (ru) | Устройство дл определени размера лазерного луча | |
JPS5610201A (en) | Object dimension measuring device | |
US4808807A (en) | Optical focus sensor system | |
SU823852A1 (ru) | Устройство дл измерени размеровэлЕМЕНТОВ HA плОСКиХ Об'ЕКТАХ | |
SU966491A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами | |
JPS62200224A (ja) | 変位測定装置 | |
JPS5612729A (en) | ?alignmening device for ic projection exposure equipment | |
JPS57144446A (en) | Apparatus for spectrochemical analysis | |
SU603841A1 (ru) | Устройство дл измерений размеров изделий | |
SU1523907A1 (ru) | Сферометр | |
SU1504497A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами | |
SU1244295A1 (ru) | Устройство дл измерени азимутального угла | |
SU823273A1 (ru) | Оптико-электронное измерительноеуСТРОйСТВО | |
SU787891A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлимационный датчик крена | |
SU1368630A1 (ru) | Фотоэлектрическое измерительное устройство | |
SU1682933A1 (ru) | Устройство дл измерени угловой скорости объекта | |
SU781891A1 (ru) | Звукосниматель | |
SU1290124A1 (ru) | Фокометр |