SU1486781A1 - Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии - Google Patents

Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии Download PDF

Info

Publication number
SU1486781A1
SU1486781A1 SU874361645A SU4361645A SU1486781A1 SU 1486781 A1 SU1486781 A1 SU 1486781A1 SU 874361645 A SU874361645 A SU 874361645A SU 4361645 A SU4361645 A SU 4361645A SU 1486781 A1 SU1486781 A1 SU 1486781A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
lens
sub
plates
optical axis
object surface
Prior art date
Application number
SU874361645A
Other languages
English (en)
Inventor
Aleksej N Chernovol
Original Assignee
Aleksej N Chernovol
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Aleksej N Chernovol filed Critical Aleksej N Chernovol
Priority to SU874361645A priority Critical patent/SU1486781A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1486781A1 publication Critical patent/SU1486781A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

<p>Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для исследования деформированного состояния конструкций и их</p> <p>2</p> <p>элементов' когерентно-оптическими методами, а именно методом сдвиговой спекл-интерферометрии. Цель изобретения - повышение точности за счет плавной и независимой регулировки чувствительности з различных направлениях. Устройство содержит лазер, объектив, держатель с фотоматериалом и элемент сдвига изображений. Последний выполнен из четырех прозрачных плоскопараллельных пластик, установленных с возможностью независимого изменения угла наклона каждой пластины к оптической оси объектива. 3 ил.</p> <p>Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для исследования деформированного состояния конструкций и их элементов' когерентно-оптическими методами.</p> <p>Цель изобретения - повышение точности за счет плавной и независимой регулировки чувствительности в различных направленйях.</p> <p>На фиг. 1 представлена схема устройства для измерения деформаций; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 2.</p> <p>Устройство содержит лазер 1, объектив 2, держатель 3 с фотоматериалом, установленные на общем основании (не показано) с исследуемым объектом 4, и элемент 5 для сдвига изображений объекта 4, выполненный из четырех прозрачных плоскопараллельных пластин 6,,, 6<sub>г</sub>, 6 <sub>3</sub> и 6<sub>4</sub>, установленных с возможностью независимого изменения угла наклона каждой пластины к оптической оси объектива путем поворота. Оси поворота пластин расположены в плоскости, перпендикулярной оптической оси объектива 2, и образуют прямоугольник с центром на оптической оси объектива.</p> <p>Устройство работает следующим образом.</p> <p>Перед проведением измерений пластины 6·,-6<sub>4</sub> устанавливают под углами й<sub>%</sub>и При этом каждая пластина перекрывает четвертую часть апертуры объектива и создает сдвиг изображения за счет преломления световых лучей, проходящих через нее. В общем случае сдвиг изображения, создаваемый каждой пластинкой, изображается вектором</p> <p><sup>1</sup> &lt;%Л» ГД® - сдвиги</p> <p>изображения по осям X и Υ соответственно; хи ] - единичные базисные</p> <p>1486781</p> <p>1486781</p> <p>векторы; к - номер пластины. Произвольная пара пластин создает сдвиг</p> <p>^ке<sup>=(</sup>· <sup>ί+(</sup>·</p> <p>Картины интерференционных полос, восстанавливаемых со сдвиговых интерферограмм, описываются соотношением</p> <p>. <sup>311</sup></p> <p><sup>п<sub></sup>5</sub>^э 35’ где η <sub>5</sub> - порядок интерференционной полосы; и - измеряемый параметр; 8 - направление сдвига изображений; ~ величина сдвига в данном направлении. Изменяя величину 'сдвига изображении, можно регулировать чувствительность измерений, причем независимо в каждом направлении .</p> <p>10</p> <p>15</p> <p>После установки и закрепления пластин освещают поверхность объекта 4 с помощью лазера 1. Рассеянное поверхностью/ объекта лазерное излучение фокусируется объективом 2 на поверхности фотоматериала. При этом 25 световые лучи, проходящие через пластины 6<sub>ή</sub>- 6<sub>4</sub>, сдвигаются за счет преломления так, что в одну точку фотоматериала попадает излучение, рассеянное четырьмя различными точками поверхности объекта, положение которых зависит от углов наклона пластин.</p> <p>После двухкратного экспонирования фотоматериал обрабатывают, полученную спекл-интерферограмму подвергают онтическои фильтрации и по восстановленным картинам находят деформации</p> <p>поверхности объекта.</p> <p>Таким образом, устройство обеспечивает одновременную запись сдвиговых интерферограмм с различными и регулируемыми значениями чувствительности в различных направлениях, что позволяет повысить точность измерений при малой их трудоемкости.</p>

Claims (1)

  1. Формула изобретения ( Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии; содержащее лазер для освещения объекта, держатель с фотоматериалом, объектив для проецирования изображения объекта, на фотоматериал и элемент для сдвига изображений объекта, установленный перед объективом, отличающееся тем, что,с целью повышения точности за счет плавной и независимой регулировки чувствительности в различных направлениях, элемент для сдвига изображений выполнен из четырех прозрачных плоскопараллельных пластин, установленных с возможностью независимого изменения угла наклона каждой пластины к оптической оси объектива путем поворота пластин относительно их осей, а оси поворота пластин расположены в плос- . кости, перпендикулярной оптической оси объектива, и образуют прямоугольник с центром на оптической оси объектива.
    1486781
    /- А
    5
    Оси. поворот^
    Вив 6
    Оси повороти
    /
    Фи?,3
SU874361645A 1987-11-04 1987-11-04 Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии SU1486781A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874361645A SU1486781A1 (ru) 1987-11-04 1987-11-04 Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU874361645A SU1486781A1 (ru) 1987-11-04 1987-11-04 Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1486781A1 true SU1486781A1 (ru) 1989-06-15

Family

ID=21348905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU874361645A SU1486781A1 (ru) 1987-11-04 1987-11-04 Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1486781A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5165063A (en) Device for measuring distances using an optical element of large chromatic aberration
Archbold et al. Displacement measurement from double-exposure laser photographs
US3829219A (en) Shearing interferometer
US5062705A (en) Apparatus for evaluating a lens
GB1516536A (en) Measuring apparatus
JPS60235424A (ja) ウエハパターンとこのウエハ上に投影されたマスクパターンとの間のオーバレイ誤差測定装置
US10036630B1 (en) Three-dimensional imaging using a multi-phase projector
US4577940A (en) Moire microscope
KR19990076349A (ko) 반사형 홀로그래픽 광학 소자 특성 측정 시스템
US4125025A (en) Instrument for measuring the amplitude of vibration of a vibrating object
US5075560A (en) Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface
SU1486781A1 (ru) Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии
US7136169B2 (en) Etalon testing system and process
CN212180228U (zh) 一种光栅周期的测量装置
SU1275248A1 (ru) Способ измерени дисторсии оптических систем
US7161684B2 (en) Apparatus for optical system coherence testing
SU823852A1 (ru) Устройство дл измерени размеровэлЕМЕНТОВ HA плОСКиХ Об&#39;ЕКТАХ
RU2042920C1 (ru) Устройство для определения рельефа поверхности объекта
SU1545197A1 (ru) Способ интерференционной резольвометрии
SU1504497A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами
SU802854A1 (ru) Теневое устройство
SU1318974A1 (ru) Устройство дл наблюдени изображений,записанных в виде дифракционных полос с различной угловой ориентацией
SU966491A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами
SU515937A1 (ru) Интерференционный способ измерени клиновидности оптических прозрачных пластин
SU1120160A1 (ru) Способ голографической двухэкспозиционной интерферометрии