SU1486781A1 - Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии - Google Patents
Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии Download PDFInfo
- Publication number
- SU1486781A1 SU1486781A1 SU874361645A SU4361645A SU1486781A1 SU 1486781 A1 SU1486781 A1 SU 1486781A1 SU 874361645 A SU874361645 A SU 874361645A SU 4361645 A SU4361645 A SU 4361645A SU 1486781 A1 SU1486781 A1 SU 1486781A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lens
- sub
- plates
- optical axis
- object surface
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
<p>Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для исследования деформированного состояния конструкций и их</p>
<p>2</p>
<p>элементов' когерентно-оптическими методами, а именно методом сдвиговой спекл-интерферометрии. Цель изобретения - повышение точности за счет плавной и независимой регулировки чувствительности з различных направлениях. Устройство содержит лазер, объектив, держатель с фотоматериалом и элемент сдвига изображений. Последний выполнен из четырех прозрачных плоскопараллельных пластик, установленных с возможностью независимого изменения угла наклона каждой пластины к оптической оси объектива. 3 ил.</p>
<p>Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для исследования деформированного состояния конструкций и их элементов' когерентно-оптическими методами.</p>
<p>Цель изобретения - повышение точности за счет плавной и независимой регулировки чувствительности в различных направленйях.</p>
<p>На фиг. 1 представлена схема устройства для измерения деформаций; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 2.</p>
<p>Устройство содержит лазер 1, объектив 2, держатель 3 с фотоматериалом, установленные на общем основании (не показано) с исследуемым объектом 4, и элемент 5 для сдвига изображений объекта 4, выполненный из четырех прозрачных плоскопараллельных пластин 6,,, 6<sub>г</sub>, 6 <sub>3</sub> и 6<sub>4</sub>, установленных с возможностью независимого изменения угла наклона каждой пластины к оптической оси объектива путем поворота. Оси поворота пластин расположены в плоскости, перпендикулярной оптической оси объектива 2, и образуют прямоугольник с центром на оптической оси объектива.</p>
<p>Устройство работает следующим образом.</p>
<p>Перед проведением измерений пластины 6·,-6<sub>4</sub> устанавливают под углами й<sub>%</sub>и При этом каждая пластина перекрывает четвертую часть апертуры объектива и создает сдвиг изображения за счет преломления световых лучей, проходящих через нее. В общем случае сдвиг изображения, создаваемый каждой пластинкой, изображается вектором</p>
<p><sup>1</sup> <%Л» ГД® - сдвиги</p>
<p>изображения по осям X и Υ соответственно; хи ] - единичные базисные</p>
<p>1486781</p>
<p>1486781</p>
<p>векторы; к - номер пластины. Произвольная пара пластин создает сдвиг</p>
<p>^ке<sup>=(</sup>· <sup>ί+(</sup>·</p>
<p>Картины интерференционных полос, восстанавливаемых со сдвиговых интерферограмм, описываются соотношением</p>
<p>. <sup>311</sup></p>
<p><sup>п<sub></sup>5</sub>^э 35’ где η <sub>5</sub> - порядок интерференционной полосы; и - измеряемый параметр; 8 - направление сдвига изображений; ~ величина сдвига в данном направлении. Изменяя величину 'сдвига изображении, можно регулировать чувствительность измерений, причем независимо в каждом направлении .</p>
<p>10</p>
<p>15</p>
<p>После установки и закрепления пластин освещают поверхность объекта 4 с помощью лазера 1. Рассеянное поверхностью/ объекта лазерное излучение фокусируется объективом 2 на поверхности фотоматериала. При этом 25 световые лучи, проходящие через пластины 6<sub>ή</sub>- 6<sub>4</sub>, сдвигаются за счет преломления так, что в одну точку фотоматериала попадает излучение, рассеянное четырьмя различными точками поверхности объекта, положение которых зависит от углов наклона пластин.</p>
<p>После двухкратного экспонирования фотоматериал обрабатывают, полученную спекл-интерферограмму подвергают онтическои фильтрации и по восстановленным картинам находят деформации</p>
<p>поверхности объекта.</p>
<p>Таким образом, устройство обеспечивает одновременную запись сдвиговых интерферограмм с различными и регулируемыми значениями чувствительности в различных направлениях, что позволяет повысить точность измерений при малой их трудоемкости.</p>
Claims (1)
- Формула изобретения ( Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии; содержащее лазер для освещения объекта, держатель с фотоматериалом, объектив для проецирования изображения объекта, на фотоматериал и элемент для сдвига изображений объекта, установленный перед объективом, отличающееся тем, что,с целью повышения точности за счет плавной и независимой регулировки чувствительности в различных направлениях, элемент для сдвига изображений выполнен из четырех прозрачных плоскопараллельных пластин, установленных с возможностью независимого изменения угла наклона каждой пластины к оптической оси объектива путем поворота пластин относительно их осей, а оси поворота пластин расположены в плос- . кости, перпендикулярной оптической оси объектива, и образуют прямоугольник с центром на оптической оси объектива.1486781/- А5Оси. поворот^Вив 6Оси повороти/Фи?,3
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874361645A SU1486781A1 (ru) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU874361645A SU1486781A1 (ru) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1486781A1 true SU1486781A1 (ru) | 1989-06-15 |
Family
ID=21348905
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU874361645A SU1486781A1 (ru) | 1987-11-04 | 1987-11-04 | Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1486781A1 (ru) |
-
1987
- 1987-11-04 SU SU874361645A patent/SU1486781A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5165063A (en) | Device for measuring distances using an optical element of large chromatic aberration | |
Archbold et al. | Displacement measurement from double-exposure laser photographs | |
US3829219A (en) | Shearing interferometer | |
US5062705A (en) | Apparatus for evaluating a lens | |
GB1516536A (en) | Measuring apparatus | |
JPS60235424A (ja) | ウエハパターンとこのウエハ上に投影されたマスクパターンとの間のオーバレイ誤差測定装置 | |
US10036630B1 (en) | Three-dimensional imaging using a multi-phase projector | |
US4577940A (en) | Moire microscope | |
KR19990076349A (ko) | 반사형 홀로그래픽 광학 소자 특성 측정 시스템 | |
US4125025A (en) | Instrument for measuring the amplitude of vibration of a vibrating object | |
US5075560A (en) | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface | |
SU1486781A1 (ru) | Устройство для измерения деформаций поверхности объекта методом сдвиговой спекл-интерферометрии | |
US7136169B2 (en) | Etalon testing system and process | |
CN212180228U (zh) | 一种光栅周期的测量装置 | |
SU1275248A1 (ru) | Способ измерени дисторсии оптических систем | |
US7161684B2 (en) | Apparatus for optical system coherence testing | |
SU823852A1 (ru) | Устройство дл измерени размеровэлЕМЕНТОВ HA плОСКиХ Об'ЕКТАХ | |
RU2042920C1 (ru) | Устройство для определения рельефа поверхности объекта | |
SU1545197A1 (ru) | Способ интерференционной резольвометрии | |
SU1504497A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами | |
SU802854A1 (ru) | Теневое устройство | |
SU1318974A1 (ru) | Устройство дл наблюдени изображений,записанных в виде дифракционных полос с различной угловой ориентацией | |
SU966491A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами | |
SU515937A1 (ru) | Интерференционный способ измерени клиновидности оптических прозрачных пластин | |
SU1120160A1 (ru) | Способ голографической двухэкспозиционной интерферометрии |