SU1226044A1 - Устройство дл измерени линейных размеров издели - Google Patents
Устройство дл измерени линейных размеров издели Download PDFInfo
- Publication number
- SU1226044A1 SU1226044A1 SU843804747A SU3804747A SU1226044A1 SU 1226044 A1 SU1226044 A1 SU 1226044A1 SU 843804747 A SU843804747 A SU 843804747A SU 3804747 A SU3804747 A SU 3804747A SU 1226044 A1 SU1226044 A1 SU 1226044A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plane
- lens
- product
- projection lens
- distance
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике, а имен- ио к измерению диаметров цилиндрических изделий. Целью изобретени вл етс увеличение диапазона измер емых линейных размеров. Дифрагированный на изделии луч лазера фокуг сируетс Фурье-объективом в плоскость , где расположены фазова решетка и пространственный фильтр, транспортирунициё прос транственный спектр таким образом,чтобы в плоскости изображени , создаваемого проектирующим объективом, возникал р д сдвинутых контурных изображений объекта . Полева диафрагма, помещенна в эту плоскость, выбираетс такого размера, чтобы она пропускала два внутренних контура соседних изобра- 9 жений и лерекрывала остальные. Размер издели определ етс по пространственному спектру прошедпгего через полевую диафрагму .света.1 ил. (Л 1С ю Эд о 4 4i
Description
11226044
Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может быть использовано дл автоматического контрол диаметров .цилиндрических изделий.5
Целью изобретени вл етс расширение диапазона измер емых линейных размеров за.счет мультиплицировани и фильтрации пространственного спектра , дифрагированного на контролируе- Ю мом изделии света.
На чертеже показана схема предлагаемого устройства.
Устройство содержит источник когерентного излучени , например ла- fs зер 1, расширитель 2 пучка и диафрагму 3..
Измер емое изделие обозначено позицией 4. Устройство также содержит Фурье-объектив 5, фазовую решетку 6, 20 пространственно -частотный полосовой фильтр 7, проектирующий объектив 8, полевую диафрагму 9, установленную в плоскости изображени издели , сформированного системой объективов 25 5 и 8, вторую диафрагму 10, фотоприемник 11, электрически соединенный с электронным блоком 12 обработки.
Устройство работает следующим образом .30
Луч лазера 1, пройд расширитель 2 пучка, расшир етс , ограничиваетс по пространству входной диафрагмой 3 и освещает изделие 4. Дифрагированный
А - длина волн1 1 света; F - фокусное рассто ние
Фурье-объектива; L - рассто ние от издели до передней фокальной плоскости Фурье-объ-- ектива;
L - рассто ние от плоскас- ти пространственно- частотного фильтра до передней фокальной . плоскости проектирующего объектива; 1-,рр - период фазовой решетки; f - фокусное рассто ние
проектирующего объектива .
В плоскости считывающей диафрагмы формируетс спектр разностного изображени соответствующего объекту размером , где D - размер контролируемого издели .
Считывание этого спектра осуществл етс фотоприемником 11, электрический сигнал с которого поступает в электронный блок 12, где вычисл етс размер издели .
Claims (1)
- Формула изобретениУстройство дл измерени линейных размеров издели , содержащее источник когерентного излучени и распо- на изделии свет фокусируетс объекти- 35 ложенные по ходу световых лучей расвом 5 в его задней фокальной плоскости , формиру простра.нственньй .спектр издели . Этот спектр, промодулирован- ньй фазовой решеткой 6 и пространственно-частотным фильтром 7, проектируетс объективом 8 в плоскость считывающей диафрагмы 10. При этом в плоскости полевой диафрагмы 9 формируютс световые распределени , имеющие вид множества сдвинутых друг относительно друга контурных изображений контролируемого издели .Размер h полевой диафрагмы 9 выбираетс таким образом, что она пропускает два внутренних контура соседних изображений и перекрывает остальные :/ h m D , . где mFf/( L) - масштабный коэффициент;DO - параметр мультиплицировани ;40ширитель пзгчка, первую диафрагму, располагаемую перед объектом, Фурье- объектив, пространственно-частотный полосовой фильтр, проектирующий объектив , вторую диафрагму, фотоприемник и соединенный с ним электрически электронный блок обработки, отличающеес тем, что, с целью расширени диапазона измерени5 линейных размеров, оно снабжено фазовой решеткой, размещенной перед проектирующим объективом, и полевой диафрагмой, устанавливаемой в плоскости изображени объекта между про50 ектирующим объективом и второй диафрагмой , а полева диаграмма выполнена с размеромЬ )55 где шFf/F2-L L,j - масштабный коэффициент; о 2 р параметр мультиплицировани ;А - длина волн1 1 света; F - фокусное рассто ниеФурье-объектива; L - рассто ние от издели до передней фокальной плоскости Фурье-объ-- ектива;L - рассто ние от плоскас- ти пространственно- частотного фильтра до передней фокальной . плоскости проектирующего объектива; 1-,рр - период фазовой решетки; f - фокусное рассто ниепроектирующего объектива .В плоскости считывающей диафрагмы формируетс спектр разностного изображени соответствующего объекту размером , где D - размер контролируемого издели .Считывание этого спектра осуществл етс фотоприемником 11, электрический сигнал с которого поступает в электронный блок 12, где вычисл етс размер издели .Формула изобретениширитель пзгчка, первую диафрагму, располагаемую перед объектом, Фурье- объектив, пространственно-частотный полосовой фильтр, проектирующий объектив , вторую диафрагму, фотоприемник и соединенный с ним электрически электронный блок обработки, отличающеес тем, что, с целью расширени диапазона измеренилинейных размеров, оно снабжено фазовой решеткой, размещенной перед проектирующим объективом, и полевой диафрагмой, устанавливаемой в плоскости изображени объекта между проектирующим объективом и второй диафрагмой , а полева диаграмма выполнена с размеромЬ )где шFf/F2-L L,j - масштабный коэффициент; о 2 р параметр мультиплицировани ;- длина волны света; период фазовой решетки;фо кусное рассто ние Фурье-объектива;рассто ние от издели до передней фокальной плоскости Фурье-объектива;рассто ние от плоское- ти пространстенно- частотного фильтра до передней фокальной плоскости проектирующего объектива;фокусное рассто ниепр оектирун цего объектива .Составитель Ю.Миронов Редактор О.Юрковецка ТехредН.Бонкало Корректор А.Обручар2110/28Тираж 670 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб.,д.4/5Производственно-полиграфическое предпри тие,г.Ужгород,ул.Проектна ,4Раамер
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843804747A SU1226044A1 (ru) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | Устройство дл измерени линейных размеров издели |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU843804747A SU1226044A1 (ru) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | Устройство дл измерени линейных размеров издели |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1226044A1 true SU1226044A1 (ru) | 1986-04-23 |
Family
ID=21143860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU843804747A SU1226044A1 (ru) | 1984-10-24 | 1984-10-24 | Устройство дл измерени линейных размеров издели |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1226044A1 (ru) |
-
1984
- 1984-10-24 SU SU843804747A patent/SU1226044A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент US № 3851180, кл. G 01 В 7/12, 1978.. Авторское свидетельство СССР № 731278, кл. G 01 В 11/08, 1978. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3829219A (en) | Shearing interferometer | |
| Köpf | Application of speckling for measuring the deflection of laser light by phase objects | |
| US5225918A (en) | Hologram scale, apparatus for making hologram scale, moving member having hologram scale assembled hologram scale and apparatus for making assembled hologram scale | |
| US4174179A (en) | Continuous feed holographic correlator for randomly oriented workpieces | |
| US4149269A (en) | Holographic reading apparatus with an area identification and density reference scan | |
| NL8005258A (nl) | Interferometer. | |
| US20070109556A1 (en) | Methods and Apparatus for Reducing Error in Interferometric Imaging Measurements | |
| JPS58191907A (ja) | 移動量測定方法 | |
| US4113388A (en) | Optical apparatus for determining relative positioning of two members | |
| SU1226044A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных размеров издели | |
| US3539260A (en) | Method and apparatus for automatic alignment of coherent optical spatial frequency filters | |
| US3510223A (en) | Optical cross-correlation and convolution | |
| JPH02206745A (ja) | 屈折率測定用高安定性干渉計 | |
| US4395123A (en) | Interferometric angle monitor | |
| US3232165A (en) | Interferometer having plural slit source | |
| Mallick et al. | Speckle-pattern interferometry applied to the study of phase objects | |
| CN111708258A (zh) | 一种全息光栅扫描光刻曝光量监测装置及调整方法 | |
| JPS6213603B2 (ru) | ||
| GB1570428A (en) | Method of and apparatus for comparing an object with a reference specimen | |
| US4808807A (en) | Optical focus sensor system | |
| GB1598648A (en) | Method of determining a characteristic of an optical component | |
| SU731278A1 (ru) | Устройство дл измерени малых размеров | |
| SU1744452A1 (ru) | Интерферометр дл контрол плоскостности отражающих поверхностей | |
| SU695307A1 (ru) | Мессбауэровский спектрометр с лазерным интерферометром дл абсолютного измерени скорости относительного перемещени | |
| JPS57113342A (en) | Eccentricity measurement |