SU813132A1 - Устройство дл автоматического нанесени диэлЕКТРичЕСКиХ СлОЕВ - Google Patents
Устройство дл автоматического нанесени диэлЕКТРичЕСКиХ СлОЕВ Download PDFInfo
- Publication number
- SU813132A1 SU813132A1 SU742053987A SU2053987A SU813132A1 SU 813132 A1 SU813132 A1 SU 813132A1 SU 742053987 A SU742053987 A SU 742053987A SU 2053987 A SU2053987 A SU 2053987A SU 813132 A1 SU813132 A1 SU 813132A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- dielectric layers
- automatic application
- layers
- vacuum
- light filters
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(54) УСТРОЙСТВО дл АВТОМАТИЧЕСКОГО НАНЕСЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СЛОЕВ
призмы 6, соединительный вал 7, фоторегистрирующий блок 8.
Устройство работает следующим образом.
В процессе нанесени слоев держатель 3 образцов совместно с призмами 6 вращаетс вокруг вертикальной оси вакуумной установки 1.Благодар тому, что обеспечено синхронное вращение держател образцов и призм, пучок света будет непрерывно проходить через один и тот же рабочий образец. Посредством расположенных на держателе образцов (не показано) оправы с образцами вращаютс относительно держател с такой скоростью, чтобы отношение числа их оборотов было бы иррациональным числом. Это обеспечивает равномерну ТОЛЩИНУ напыл емого сло по поверхности всех образцов.
Изобретение позвол ет повысить точность контрол толщин слоев в прцессе изготовлени интерференционных светофильтров, а также устранить паразитную модул цию.
Claims (2)
1.Королев Ф.А. и др. Многослойные интерференционные диэлектрические светофильтры дл видимой и близкой
инфракрасной области спектра. Инжeнep- но-физический журнал, т, 3, 1960, 1, с. 55-61.
2.Кушпиль В.И. и др. Установка контрол толгчины слоев при их
нанесении в вакууме. Измерительна техника, 1970, № 7, с, 24-25.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU742053987A SU813132A1 (ru) | 1974-08-13 | 1974-08-13 | Устройство дл автоматического нанесени диэлЕКТРичЕСКиХ СлОЕВ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU742053987A SU813132A1 (ru) | 1974-08-13 | 1974-08-13 | Устройство дл автоматического нанесени диэлЕКТРичЕСКиХ СлОЕВ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU813132A1 true SU813132A1 (ru) | 1981-03-15 |
Family
ID=20594222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU742053987A SU813132A1 (ru) | 1974-08-13 | 1974-08-13 | Устройство дл автоматического нанесени диэлЕКТРичЕСКиХ СлОЕВ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU813132A1 (ru) |
-
1974
- 1974-08-13 SU SU742053987A patent/SU813132A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5760910A (en) | Optical filter for spectroscopic measurement and method of producing the optical filter | |
| JPS5844961B2 (ja) | 膜厚制御または監視装置 | |
| US2410720A (en) | Lens coating apparatus | |
| US3620814A (en) | Continuous measurement of the thickness of hot thin films | |
| DE69326928T2 (de) | Verfahren zur Messung des Brechungsindexes einer dünnen Schicht | |
| DE2245488A1 (de) | Fuehlanordnung fuer ein chemolumineszenzgeraet | |
| SU813132A1 (ru) | Устройство дл автоматического нанесени диэлЕКТРичЕСКиХ СлОЕВ | |
| US2771055A (en) | Apparatus for coating optical interference layers | |
| US2388105A (en) | Spectrograph | |
| DE102005008889B4 (de) | Optisches Monitoringsystem für Beschichtungsprozesse | |
| US2472605A (en) | Method of depositing optical interference coatings | |
| US2936732A (en) | Production of optical filters | |
| JPS6423103A (en) | Layer thickness measuring apparatus | |
| US2766653A (en) | Radiant energy transmission and reflection analyzer with adjustable filter | |
| US3799800A (en) | Coating method utilizing two coating materials | |
| SU456246A1 (ru) | Устройство дл измерени толщины покрытий | |
| DE2829999B2 (de) | Spiegelreflex-Einrichtung | |
| US2928310A (en) | Device for determining color | |
| US3673420A (en) | Thickness control system for multi-layer optical thin film work | |
| SU807054A1 (ru) | Устройство дл контрол толщиныСлОЕВ МНОгОСлОйНыХ пОКРыТий | |
| JPS61296305A (ja) | 多層膜干渉フイルタの製造方法 | |
| SU553565A1 (ru) | Способ изготовлени полосового контрастного диэлектрического пропускающего оптического фильтра | |
| US1902109A (en) | Method of and apparatus for quantitative spectrum analysis | |
| SU1415057A1 (ru) | Способ фотометрического контрол многослойных покрытий | |
| SU444833A1 (ru) | Устройство дл нанесени покрытий в вакууме |