SU776665A1 - Устройство дл двухсторонней очистки плоских изделий - Google Patents

Description

Устройство содержит моечные элементы 1 и 2 с отверсти ми 3 и покрыти ми 4 из пористого материала, механизм вращени  моечных элементов, имеющий приводы 5, систему подъема 6 (например пневмоцилиндр с рычагом), обеспечивающую подъем и опускание моечного элемента 1, средство дл  размещени  изделий между моечными элементами 1 и 2 - кассету 7, систему подачи 8 моющего раствора, соединенную посредством полых валов 9 и 10 с моечными элементами 1 и 2. Моечный элемент 1 выполнен в виде полого диска, нижний - в виде полого кольца, а покрытие 4 размещено на моечных элементах с зазором. Покрытие 4 нат гивают на моечные элементы 1 и 2 посредством колец 11-14. Кольца 11 и 13 с нат нутым покрытием из пористого материала установлены в проточках, выполненных на боковой поверхности моечных элементов и креп тс  на последних, например, с помощью винтов.

Кассета 7 установлена на центрирующей втулке 15. Диаметр отверстий 3 и их количество на моечных элементах 1 и 2 определ етс  диаметром полых валов 9 и 10 (подвод щих трубопроводов), причем дл  создани  избыточного давлени  в полост х моечных элементов и, следовательно, обеспечени  равномерного нат жени  пористого материала покрыти  4 необходимо, чтобы суммарна  площадь отверстий 3 не превышала площади сечени  подвод щего трубопровода .

Устройство работает следующим образом .

Посредством системы подъема 6 верхний моечный элемент 1 поднимают и на нижний моечный элемент 2 с помощью центрирующей втулки 15 устанавливают кассету 7 с полупроводниковыми пластинами 16, например, кремниевыми, прошедшими операцию химико-механической полировки суспензией. Моечный элемент 1 опускают так, чтобы между покрытием 4 из пористого материала верхнего моечного элемента и пластинами 16 оставалс  небольшой зазор , равный примерно двум толщинам зазора , образованного покрытием 4 и основанием моечного элемента 1 с отверсти ми 3, что составл ет около 2 мм. Включают систему подачи 8 моющего раствора к моечным элементам, котора  закачивает раствор через полые валы 9 и 10 в полости диска i и кольца 2, откуда раствор поступает через отверсти  3 в полости, образованные покрытием 4 и основани ми диска 1 и кольца 2. При этом покрыти  4 нат гиваютс  и образуютс  гидравлические подущки , прижимающие пластины 16 с двух сторон с равной силой. Включают приводы 5, посредством которых диск 1 и кольцо 2 вращаютс  в противоположные стороны с равной скоростью, при этом кассета 7 с

пластинами 16 остаетс  неподвижной в силу того, что силы, действующие на кассету с пластинами с противоположных сторон, равны как по величине, так и по направлеПИЮ . Микроструйки моющего раствора пробиваютс  через поры покрыти  4, очищают с обеих сторон поверхность пластин и унос т загр знени  из зоны очистки. По окончании процесса очистки приводы вращени  5 и систему 8 подачи моющего раствора отключают, диск 1 поднимают носредством системы подъема 6, кольцо 2 вместе с кассетой 7 и пластинами 16 извлекают из устройства. Далее цикл повтор етс .

Покрытие выбираетс  таким, чтобы моющий раствор проходил через нее под давлением . Хорошие результаты в отношении качества очистки получены на замше галантерейной искусственной, а также на батисте .

Предлагаемое устройство позвол ет значительно повысить эффективность очистки путем совмещени  в единой конструкции

механического и гидравлического способов очистки. При движении покрыти  из пористого материала по поверхности пластины загр знени  истираютс  и сразу же унос тс  микроструйками моющего раствора

(например, деионизованной воды), пробивающимис  под давлением сквозь пористость покрыти . Это исключает загр знение покрыти  и соответственно вторичное загр знение полупроводниковой пластины.

Необходимое давление, создаваемое на пластину со стороны гидравлической подушки и определ емое теплом и степенью загр знени  пластины, позвол ет создать близкие к идеальным услови  дл  быстрой

и полной очистки любых пластин. Выполнение нижнего моечного элемента в виде нолого кольца и применение центрирующей втулки дл  установки кассеты с обрабатываемыми пластинами позвол ет использовать нижний моечный элемент в качестве транспортного столика и обеспечить возможность его быстрого съема, что в конечном итоге способствует повышению производительности устройства.

Claims (2)

1. Устройство двусторонней очистки плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащее параллельно расположенные один над другим моечные элементы, имеющие на обращенных одна к другой сторонах отверсти  и покрытие из пористого материала, механизм вращени  моечных элементов и средство дл  размещени  изделий между моечными элементами, верхний из которых выполнен в виде полого диска, отличающеес  тем, что, с целью повышени  эффективности очистки, нижний моечный элемент выполнен в виде полого кольца, в котором установлено средство дл  размещени  деталей, а покрытие из пористого материала размещено на моечных элементах с зазором.

2. Устройство по п. I, отличающеес   тем, что моечные элементы име;от концентрично и с зазором установленные два

ггг

776665

кольца дл  зажима между ними покрыти  из пористого материала.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Патент США № 3946454 кл. 15-77, 1976.

2.Авторское свидетельство СССР № 630013 кл. В 08В 3/02, 1974 (прототип).