SU760177A1

SU760177A1 - Интегральная магнитная головка 1

Info

Publication number: SU760177A1
Application number: SU782606474A
Authority: SU
Inventors: Vladimir A Labunov; Vladimir G Glotov; Anatolij P Kazantsev; Viktor F Surganov; Vladimir A Ilyukhin; Irina S Simeonova
Original assignee: Vladimir A Labunov; Vladimir G Glotov; Anatolij P Kazantsev; Viktor F Surganov; Vladimir A Ilyukhin; Irina S Simeonova
Priority date: 1978-04-18
Filing date: 1978-04-18
Publication date: 1980-08-30

Description

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к магнитной записи, и может быть использовано в производстве магнитных головок

Известна интегральная магнитная головка, содержащая две магнитные пленки и расположенный между ними и изолированный от них двумя диэлектрическими слоями проводящий слой, образующий одновитковую обмотку головки М· Это устройство получают нанесением магнитныхдиэлектрических и проводящего слоев.

Однако такая головка характеризу-ется высокими значениями токов эапи- 15 си и низкой величиной воспроизводимого сигнала.

Наиболее близкой по технической сущности является интегральная магнитная головка, содержащая два полу-20 сердечника, первый из которых выполнен плоским, состоящих из чередующихся магнитных и разделительных диэлектрических слоев, и расположенную между полусердечниками многовитковую 25 обмотку £2] .

Так как конфигурация полусердеч₍ника, расположенного на подложке,

представляет собой резкую ступеньку

для вышележащих витков обмотки, по- 30

2

следние на краях этого полусердечника имеют разрывы и утоныиения,причем диэлектрические слои в этих местах также разрываются, в результате чего витки замыкаются между собой и на магнитопровод. Кроме того., лежащий выше полусердечник, состоящий из чередующихся магнитных и разделительных диэлектрических слоев, содержит разрывы этих слоев в местах их перегибов через многослойную часть обмотки, толщина которой в несколько раз превышает толщины этих магнитных й диэлектрических слоев.

Цель изобретения - повышения надежности работы интегральной магнитной головки.

Поставленная цель достигается тем, что в головку введены слои алюминия, расположенные под магнитными слоями обоих полусердечников, а также слои ‘ пористого и плотного -оксида алюминия и замыкающие магнитные слои, при этом второй полусердечник, разделительные диэлектрические слои и обмотка, на витках которой размещен слой плотного оксида алюминия, выполнены плоскими, замыкающие магнитные слои расположены по геометрической оси обмотки между магнитными слоями полусер760177

3

денников,' а слои пористого оксида алюминия размещены по всей площади обмотки между разделительными'диэлектрическими слоями, за исключением участков полусердечников, и между витками"обмотки.

На фиг. 1 показана предлагаемая магнитная головка; на фиг. 2-10 - головка в стадиях ее изготовления.

Интегральная магнитная головка (фиг. 1) содержит П-обраэный многослойный магнитный сердечник и плоскую многовитковую спиральную обмотку. Сердечник головки образован магнитными слоями 1-6 и замыкающими магнитными слоями 7-11, причем в состав первого полусердечника входят магнитные слои 1, 2, 3 и замыкающие магнитные слои 7 и 8, а в состав второго - магнитные слои 4, 5, б й замыкающие магнитные слои 10, 11. Замыкающий магнитный слой 9 магнитно связывает между собой первый и второй полусердечники головки. Спиральная обмотка го’ловки образована слоем алюминия 12, причем часть обмотки расположена между первым и вторым полусердечниками, а ее геометрическая ось проходит через магнитный слой 9. Витки обмотки закрыты сверху диэлектрическим слоем 13 плотного оксида алюминия, а в промежутках между витками расположен диэлектрический слой 14 пористого окси-* да алюминия. Кроме ^τογο,β соста® головки входят диэлектрические слои 1520 пористого оксида алюминия, разделительные слои 21-26. и слои 27-32 алюминия. При этом слои 27-32 алюминия расположены непосредственно под магнитными слоями 1-6 соответственно, а слои 15-20 пористого оксида окружают соответствующие пары слой алюминия-магнитный слой 27 и 1; 28 й 2;

29 и 3» 30 и 4; 31 и 5; 32 и 6; и образуют с ними комбинированные слои с планарной поверхностью, на которых соответственно расположёны разделительныедиэлектрические слои 21-2 6.

Вся конструкция головки расположена на подложке 33. в данном техническом решёНИи для реализации головкй приме*йены слои алюминия и его оксидов.Однако вместо алюминия могут быть использованы другие вентильные металлы,

Предлагаемую головку изготавливают методами интегральной технологии.

На подложку 33 (фиг. 2) осаждают слой вентильного металла 27 и создают на нем маску фоторезистора 34, закрывая участок слоя 27 по рисункумагнитного слоя 1. Открытый участок слоя '2γ анодируют на всю' толщину' с образованием слоя 15 пористого оксида вентильного металла (фиг. 3), снимают фоторезист 34 и на'слой вентильного металла 27 осаждают магнитный слой 1 (фиг. 4) до поверхности слоя 15, добиваясь таким образом планарной по4

верхности первого комбинированного слоя, на которую наносят разделительный диэлектрический слой 21 (фиг. 5). Все перечисленные выше операции повторяют для получения каждого комбинированного слоя.

Перед нанесением каждого магнитного слоя в последующих комбинированных слоях на поверхности слоя вентильного металла й окружающего его слоя анодного пористого оксида этого вентильного металла создают маску фоторезиста 35 (фиг. 6), через которую травят окно в нижележащем слое вентильного металла (например, 28) и разделительном диэлектрическом слое 21, в которое осаждают замыкающий магнитный слой 7 до поверхности слоя вентильного металла 28 (фиг. 7).

Для получения обмотки головки на поверхность разделительного диэлектрического слоя 23 (фиг. 8) наносят слой вентильного металла 12, создают на нем маску Фоторезиста 36, оставляя открытым участок слоя 12 с рисунком спиральной обмотки, и открытые участки слоя 12 анодируют с образованием защитного слоя 13 плотного оксида этого вентильного металла. Снимают Фоторезист 36, закрывают маской Фоторезиста 37 места контактных площадок

и К₂ и не защищенные участки слоя 12 анодируют на всю толщину с образованием межвиткового изолирующего слоя 14 пористого оксида вентильного металла (Фиг. 9),снимают Фоторезист 37.

При получении первого 'комбинированного слоя второго полусердечника перед нанесением магнитного слоя в нижележащих слоях 30, 14 и 23 вытравливают ^бкно (Фиг . 10) ,в которое осаждают магнитный слой 9 до поверхности слоя 30. ’

Применение данной ПМГ для записи и воспроизведения информации, выгодно отличает ее от известных головок, так как полностью исключает разрывы обмотки и слоев магнитопровода. Кроме того, все элементы головки (обмотка и многослойный сердечник) полностью заключены в защитные слои оксидов вентильного’·металла, обладающих высокой механической прочностью й износостойкостью.

Claims

Формула изобретения *

Интегральная магнитная головка, содержащая два полусердечника, первый из которых выполнен плоским, состоящих из чередующихся магнитных и разделительных диэлектрических слоев, и расположенную между полусердечниками многовитковую обмотку', отличающаяся тем, что, с целью повьигения надежности работы головки, в нее введены слои алюминия, расположенные под магнитными слоями обоих

5

760177

6

полусердечников, а также слои пористого и плотного оксида алюминия и замыкающие магнитные слои, при этом второй полусердечник, разделительные диэлектрические слои и обмотка, на витках которой размещен слой плотного оксида алюминия, выполнены плоскими, замыкающие магнитные слои расположены по геометрической оси обмотки между магнитными слоями полусердечников, а слои пористого оксида алюмтиия размещены по всей площади

обмотки между разделительными диэлектрическими слоями, за исключением участков полусердечников и между витками обмотки.