SU717074A1 - Коричный эфир поли- - оксиэтилметакрилата в качестве фоторезиста и способ его получени - Google Patents

Description

(54) КОРИЧНЫЙ ЭФИР ПОЛИ-/-ОКСИЭТИЛМЕТАКРИЛАТА В КАЧЕСТВЕ ФОТОРЕЗИСТА И СПОСОБ ЕГО ПОЛУЧЕНИЯ таковые возможны).межмолекул рной переэтерификации и в результате потере растворимости у продукта.; Нетехнрлогичность известного cnocoisa св зана также с использованием в качестве акцептора НС1 токсичного растворител  - пиридина, следы которого могут быть удалены из полимера только после дополнительных обработок . Целью насто щего изобрётёнй   вл  етс  устранение отмеченных вьвие недостатков , т.е. повышение температуры разм гчени  и увеличение термической стабильности полимёрЬв, а так ;же сокращение времени синтеза пред .лагае№1Х полимерных эфиров и повышение технологичности способа, полу- . чени  полимеров. Эта цель достигаетс  тем, что в качестве материала дл  термостойкого Фоторезиста пЬедиага- . етс  коричный эфир поли- -оксиэтилметакрилата формулы: ., йн, , еЛ / 3000-4000 о- сиг-сн5-о-&-ен«ен Ука;занный полимер получают э фикацйей 4-5%-ного раствора поли- -оксиэтилметакрилата с характеристической В зкостью 1,8-2,4 дл/г в диметйлацетамиде при ZS-SO C хлорангидрйдом коричной кислоты При мол рг вом отнр аении хлорангидрида коричной кислоты к поли-й-оксиэтилметакрилату 1:1,05-1,10. . Прим ер 1. 14,3 г (О,,11 моль) поли- -оксиэтилметакрилата с характе ристической в зкостью 2,,4 ДЛ/г раствор ют в 36.5 мл диметилацетамида, добавл ют по капл м в течение 0,5 ч при перемешивании 16,7 г (0,1 моль) хлорангидрида коричной кислоть. i eакционную смесь перемешивают в течение 1,5 ч при температуре и фильтруют.. Коричный эфир высаживают 2л 5%-ного водного раствора бикарбоната натри , прокФлвают водой и сушат. Выход 24,5 г. . Полимер идентифицирован методом ЙК-спектроскопии..Содержание коричных эфирных групп в нем, определенное по данным элементарного анализа и методом УФ--спбктрбскВпйЙ 1Гри 280 нм в pkcTBOpe хлороформа, сЬстав л ло 96%. Характеристическа  в зкост образца в диоксане равна 2,4 дл/г, что соответствует степени полимеризации 4000. Коричный эфир поли- -оксиэтилметакрилата с СПт40рО растворим в ацетоне , диоксане, хлороформе, нераство рим в воде, серном эфире, петролейном эфире. . П р.и м е р 2. 15 г (0,12 моль) поли-у&-оксизтилметакрилата с характерк .стической в зкостью 1,8 дл/г раствор ют в 300 мл диметилацетамида и этерифицируют 18,5 г (0,11 моль) хлорангидрида коричной кислоты при . Дальнейша  обработка и выделение полимера производились в услови х примера 1. Выход 25,2 г полимера, содержащего 98% коричных эфирных групп и имеющего характеристическую в зкость 1,6 дл/г, что соответствует степени полимеризации 3000. Дл  срашнени  по фоточувствитель|1Ости , по температуре разм гчени  и теплостойкости из полимеров, полу ,ченны4с предлагаемым способом, и из промышленного образца коричного эфира поливинилового с равным содержанием коричных групп были приготовлены в идентичных услови х пленки из pacTJBOpa в хлороформе. Пленки, высушенные до посто нного веса, облучали лампой ПРК-2. Через, определенгале промежутки времени облучени  определ ли УФ-спектроскопически оптическую плотность в области 2вО нм ( ) пропорциональную концентрации непрореагировавших коричных групп и относили найденную величину К оптической плотности у пленок до облучени  ( ). Кроме Того, в пленках , подвергнутых облучению в течение 1 ч, было определено весовое количество расторимой фракции путем экстракции хлороформом. Данные приведены в таблЛ.Таблица 10,70 0,65 0,43 20,72 0,67 0,46 ксричПВС .0,80 0,72 0,53. Таким образом, видно, что предлагаемый полимерный материал обладает на 15-21 % более высокой-светочувствительностью , -чем известный материал . Дл  испытани  термической, стабильности вышеописанные пленки были ПОД-Вергнуты нагреванию на воздухе в течение суток при . Результаты приведены в табЛ.2. . Изменени  в пленках характеризовались ИК-спектросКопическими, колоиметрическими и гравиметрическими етодами.. Дл  определени  температур азм гчени  были получены ермомехаические кривые каждого из полимеров. В ИК-спектрах пленок из известного коричного эфира поливинилового спирта после прогрева пленки заметно ушир етс  и становитс  более интенсивной полоса поглощени  в области 17001750 см , соответствующа  накоплению различных карбонилсодержащих структур, по вл етс  широка  полоса в области 1250 , котора  свидетельствует об образовании С-О-св зей. В ИК-спектрах пленок из полимеров, полученных предлагаемым способом изменени  полсе прогрева отсутствуют, что свидетельствует о термической стабильности полимеров. . . Т а б л И ц а 2

0., 01

беСцвеТ 130 ный Полимер, полученный в примере 2 0,01 бесцветный Коричный коричне- 10 эфир ПВС ннй ., Таким образом, предлагаемые пол меры при температуре до Термостабильны , устойчивы к термоокис лительнрй деструкции и имеют более высокую температуру разм гчени , Пpeдлaгae лыe полимеры MofyT най широкое применение в качестве фото резиста, хара ктеризующегос  более высокой светочувствительностью, те мостабильностью и устойчивостью к термоокислительной деструкции по фавнению со стандартными, известными коричными эфирами ПВС.

гЛ   зооо- 4000

25

Claims (2)

1. О-CHg-CHr-O-C-CH СН Способ получени  предлагаемых полимеров значительно более технологичен , так как, во-первых, позвол ет сократить врем  и снизить температуру процесса этерификации, и во-вторых, - благодар  использованию в качестве акцептора НС1 диметилацётамида , вещества не имеющего недостатков пиридина - токсичности, трудности отделени  от полимера, способности вызывать межмолекул рную переэтерификацию сложных эфиров, привод щую к потере растворимости у продукта. Формула изобретени  1. Коричный эфир поли-/ь-оксизтилметакрилата общей формулы: в качестве фоторезиста
2. 2.Способ получени  соединени  . по П.1, зakлючaющййc  в том, что 4-5%-ные растворил поли-/3-оксиэтилмета1Грилата в диметилацетгшиде этерифицир пот хлорангадридом неличной кислоты при 25-30с и мол рном отношений хлЬрангидаида со ричной кислоты к поли-е -оксиэти м€ такрилату 1:1,05.-,10. 3,Способ получени  соединени  по п,1, характеризующийс  тем, что дл . этерификации используют поли- -оксиэтилметакрилат с характеристической в зкостью 1,8-2,4 дл/г. Источникиинформации, прин тые во внимание пр|И экспертизе 1. Патент США № 2690966, кл. 96-115, опублик. 1954 (прототип)