SU706563A1 - Электродуговой испаритель геттера - Google Patents

Description

(54) ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ ГЕТТЕРА

I

Изобретение, относитс  к вакуумной технике и, в частности, к электродуговым испарител м плазменных сорбционных вакуумных насосов, предназначенных Дл  получени  и поддержани  высокого в электрофизических установках.

Известен электродуговой испаритель геттера , содержащий .катод, установлен ный на охлаждаемом основании и отделеннбш от пускового электрода изол тором, и токоподвод , расположенный по оси испарител  1.

Известный испаритель работает следующим образом.

Возбуждение дуги производитс  с помощью пускового электрода, отдёйенногЬ 6т катода и соединенного с помощью токоввода с источником пускового напр жени . При подаче высоковольтного импульса на пусковой электрод происходит электрический пробой по поверхности изол тора в зазоре гйёЖду пусковым электродом и катодом . Продукты эрозии пускового электрода и ИзбТГЯГСгра образуют предварительную плазму, достаточную дл  возникновени  основного К,угового разр да между катодом и охл аЖДаемым анодом испарител .

Однако, при достаточном запасе геттера , определ емой заданным сроком службы, действительный срок службы такого испарител  определ етс  доЛгове15ностью пускового электрода, подвергающегос  в процессе работы значительным термоциклически.м напр жени м и эрозии. Кроме того, при испарении геттера происходит постепенное частичное запыление поверхности изол тора пускового электрода парамигеттера, образующими токопровод щую пленку, котора  при достижении определенной толнхины приводит к закорачиванию катода и пускового электрода и преп тствует возбуждению основной дуги.

Все эти факторы ограничивают срок службы , снижают надежность и привод т к необходимости демонтажа испарител  дл  замены пускового электрода. При этом происходит нарушение вакуума в откачиваемой системе, что  вл етс  недопустимым в процессе эксплуатации большинства электрофизических установок.

Целью изобретени   вл етс  повыщение срока службы ненадежности электродугового испарител .

Указанна цель достигаетс  тем, что катод вы1К) в виде отдельных равноудаленЧ1ЫХ от токоподвода элементов, а пусковой электрод - в виде втулок, размещенных коакеиально последним, причем токоподвод устапрвлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом, поочередно взаимодействующим с втулками.

На фиг. 1 изображен описываемый электродуговой испаритель; на фиг. 2 - то же, вид сверху.

Электродугозой испаритель геттера содержит катод, установлсппый на .охлаждаемом основании 1 и отделенный изол тором 2 от пускового электролта, и токоподвод 3, рЁсноложенный по оси испарител . Катод выполнен в виде отдельных равноудаленных от токоподвода 3 элементов 4, 5, 6,7, апусковой электрод - в виде втулок 8, размеТцёнТГЫх коаксиально последним, причем токоподвод 3 установлен с возможностью поворота и снабженпружинным контактом 9, поочередно взаимодействующим с втулками 8,.

В процессе работы испарител  по окончании срока службы элемента 4 токоподвод 3 поворачиваетс  и, с помощью пружинного контакта 9 входит в электрический конТакт с пусковым электродом следующего элемента 5 и так далее вплоть до окончани  срока службы последнего элемента в блоке.

В результате процесс испарени  геттера поддерживаетс  практически непрерывным до полного расхода первоначального расхода геттера в испарителе. Количество катодных элементов в блоке может быть различным и ограничиваетс  лишь задапным сроком службы испарител  и его габаритами .

В св зи с этим обеспечиваетс  бесперебойность работы, что особенно важно при работе термо дерных и лазерных установок, а также ускорителей различного назначени .

Бесперебойность работы в течение всего заданного срока службы позвол ет полностью исключить объем работ, св занный с повторением циклов откачки системы с иснользованием дорогосто щих откачных средств вследствие нарушени  высокого вакуума при частом демонтаже испарителей.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Электродуговой испаритель геттера, содержащий катод, установленный на охлаждаемом основании и отделенный от пускового электрода изол тором, и токоподвод, расположенный по оси испарител , отличающийс  тем, что, с целью увеличени  долговечности и повышени  надежности, катод выполнен в виде отдельных равноудаленных от токоподвода элементов, а пусковой электрод - в виде втулок, размещенных коаксиально последним, причем, токоподвод устаповлен с возможностью поворота и снабжен пружинным контактом, поочередно взаимодействующим с втулками.

   Источники информации, прин тые во внимание при экснертизе . 1. Авторское свидетельство СССР № 528386, кл. F 04 В 37/02, 1975.