SU702801A1

SU702801A1 - Optical tensogage

Info

Publication number: SU702801A1
Application number: SU782633824A
Authority: SU
Inventors: Ю.А. Быковский; А.В. Маковкин; В.Л. Смирнов; А.В. Шмалько; В.К. Берзин
Original assignee: Московский Ордена Трудового Красного Знамениинженерно-Физический Институт
Priority date: 1978-06-26
Filing date: 1978-06-26
Publication date: 1981-06-30

Description

(54)ОПТИЧЕСКИЙ ТЕНЗОДАТЧИК(54) OPTICAL SENSOR

1one

Изобретение относитс к тензометрии и может быть тгспользовано дл измерений механических напр жений.The invention relates to strain gauges and can be used for measuring mechanical stresses.

11звестен оптический тензодатчик, содержащий подложку и чувствительный элемент в виде оптического волокна 1.An optical strain gauge is known that contains a substrate and a sensing element in the form of an optical fiber 1.

Основным недостатком этого уЬтройства вл етс его невысока чувствительное ть к напр жени м и деформаци м, а также возникновение депол ризации рзлучени , привод щей к снижению пороговой чувствительности.The main disadvantage of this device is its low sensitivity to stresses and deformations, as well as the occurrence of depolarization of radiation, leading to a decrease in the threshold sensitivity.

Наиболее близким к изобретению вл етс оптический тензодатчик, содержащий подложку и чувствительный элемент в виде тонкопленочного волновода из по. лупроводникового материала по планарной технологщ , в котором приложение напр жений и деформаций приводит к изменеВИЮ параметров излучени ., распростран юJQ щегос по чувствительному злементзЕ 2Т.Closest to the invention is an optical strain gauge comprising a substrate and a sensitive element in the form of a thin-film waveguide from. semiconductor material according to planar technology, in which the application of stresses and deformations leads to a change in the radiation parameters., spreading along the sensitive element 2T.

Недостатками известного устройства вл етс то, что дл преобразовани измене- НИИ параметров излучени в напр жени нThe disadvantages of the known device is that in order to convert the changes of the radiation parameters into voltages

деформации требуютс дополнительные внешние входной пол ркзатор и выходной анализатор, креме того, оно не обладает требуемой чувствительностью, поскольку в планарном тонкопленрчном чувствительгном элементе излучение не удерживаетс в его плоскости, в св зи с чем нагрузку необходимо прикладывать на большой площат псверхностй пленки.deformations require additional external input fields and an output analyzer; additionally, it does not have the required sensitivity, because in a planar thin film sensitive element the radiation is not kept in its plane, therefore the load must be applied to a large area of the film surface.

Целью изобретени вл етс повышение чувствительности и точности измерений.The aim of the invention is to increase the sensitivity and accuracy of measurements.

Это достигаетс тем, что предлагаемый то1зодатчшс снабжен двум волоконными световодами, соединенными с концами чувствительного элемента, изготовленного из монокристаллического полупро-|. водниксжого материала, ориентированного по плоскости (110) и выполненного в виде полоски с нанесенными на ее коншл металлическими покрыти ми.This is achieved by the fact that the proposed design is equipped with two optical fibers connected to the ends of a sensitive element made of a monocrystalline semiconductor |. water-oriented material oriented along the (110) plane and made in the form of a strip with metal coatings applied on its surface.

На чертеже показан описьюаемый оптический тензодатчик.The drawing shows described optical strain gauge.

Он содержит подложку 1 вз материала QotP , на которой размещен чувствиIt contains a substrate 1 of the QotP material, on which is placed

Claims

. places and

Formulas in small and hard-to-reach objects.

containing element in

The optical strain gauge, the substrate, and the sensitive form of a thin-film waveguide made of semiconductor material are distinguished by the fact that, in order to increase the sensitivity and accuracy of measurements, it is equipped with two fiber optical fibers connected to the ends of the sensitive element made of metal. Tall ical co-conductor material oriented along the (110) plane and made in the form of a strip with metal coatings deposited on its ends.