SU672673A1 - Магниторазр дный насос - Google Patents
Магниторазр дный насосInfo
- Publication number
- SU672673A1 SU672673A1 SU772561321A SU2561321A SU672673A1 SU 672673 A1 SU672673 A1 SU 672673A1 SU 772561321 A SU772561321 A SU 772561321A SU 2561321 A SU2561321 A SU 2561321A SU 672673 A1 SU672673 A1 SU 672673A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- anode
- discharge pump
- magnetic discharge
- plates
- rows
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
Изобретение относитс к вакуумной технике , в частности к средствам создани вакуума. Известны магниторазр дные насосы, содержащие плоские катоды из геттерного материала и анод, выполненньш в виде взаимно перпендикул рньк р дов проволок,образующих чейки 1 Недостаток таких насосов заключаетс в том, что разр дные пучки чеек расплываютс по аноду в результате слабой продольной концентрации ра р да в них, что снижает зффективность ионизирующих столкновений электронов и нейтральных частиц газа. Также известны магниторазр дные насосы, содержащие герметичный корпус, внутри которого расположены катоды и анод, выполненный в виде р дов гараллельных пластин 2. В таких Насосах чейки анода образуют малопроницаемую структуру Дл распыл емого с катода геттера. В результате количество геттерного материала, которое способен пропустить чеистый .анод, оказьгоаетс недостаточным дл покрыти на противоположном катоде внедрибщихс в него ионов и часть газа при ионной бомбардировке катода выдел етс в откачиваемый объем . Цель изобретени - повышение быстроты откачки путем расцшрени сферы дeйcfви распьш емого геттерного матфнапа. Поставленна цель достигаетс тем, что соседние р ды параллельных ппастин смещены один относительно другого и скреплены между собой стержнем проход щим перпендикул рно пласти-нам . Р ды параллельных пластин смещены один относительно другого на половину рассто ни между пластинами. На фиг, 1 показана анодно-катодна система насоса, шперечньп разрез; на фиг. 2 - анод, насоса. Насос содержит плоские катоды 1, выполненные из геттерного материала, анод 2 и магнитную систему (не 1Юказана). Анод соетавлен из параллельных пластин 3, установленных р дами с определенным рассто нием между пластинами. Пластины прилегающих р дов смещены одна относительно другой на половину рассто ни между ними и скреплены
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772561321A SU672673A1 (ru) | 1977-12-28 | 1977-12-28 | Магниторазр дный насос |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772561321A SU672673A1 (ru) | 1977-12-28 | 1977-12-28 | Магниторазр дный насос |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU672673A1 true SU672673A1 (ru) | 1979-07-05 |
Family
ID=20740791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU772561321A SU672673A1 (ru) | 1977-12-28 | 1977-12-28 | Магниторазр дный насос |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU672673A1 (ru) |
-
1977
- 1977-12-28 SU SU772561321A patent/SU672673A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB1420061A (en) | Sputtering method and apparatus | |
| SE8700017L (sv) | Jonplasmaelektrokanon | |
| US3460745A (en) | Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell | |
| CN100369178C (zh) | 具有次级磁场的离子泵 | |
| US5899666A (en) | Ion drag vacuum pump | |
| SU672673A1 (ru) | Магниторазр дный насос | |
| DE3370896D1 (en) | Flat electron beam tube with a gas discharge as an electron source | |
| US3540812A (en) | Sputter ion pump | |
| US3535055A (en) | Cold-cathode discharge ion pump | |
| US3542488A (en) | Method and apparatus for producing alloyed getter films in sputter-ion pumps | |
| US3176906A (en) | Ion pump | |
| US3353054A (en) | Penning type vacuum pumps | |
| US3118077A (en) | Ionic vacuum pumps | |
| US3307774A (en) | Vacuum ion pump | |
| US3327930A (en) | Ionic getter pump electrode | |
| US3332606A (en) | Penning type vacuum pumps | |
| GB1182725A (en) | Vacuum Pumps Employing Ion Beams | |
| US3364370A (en) | Tubular cell anode for sputter ion pumps | |
| SU943920A1 (ru) | Комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный насос | |
| SU1088092A1 (ru) | Магниторазр дное откачное устройство | |
| RU76164U1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
| US3510712A (en) | Electron orbiting getter vacuum pump employing a time varying magnetic field | |
| US3510711A (en) | Multiple cell electron orbiting getter vacuum pump | |
| US3532917A (en) | Getter ion pump employing high frequency electric field between two electrodes one of which is secondary emissive | |
| SU642797A1 (ru) | Магниторазр дный насос |