SU1088092A1 - Магниторазр дное откачное устройство - Google Patents

Description

2. Устройство по п.1, отличающеес  тем, что дополнительный электрод выполнен в виде параллельных пластин.

t088092

3. Устройство по п.1, о т л ичающеес  тем, что дополнительный электрод вьтолнен в виде полой спирали. .

Изобретение относитс  к вакуумно технике, в частности к магнитораз- р дным откачным устройствам, работа щим по принципу разр даПеннинга, и может найти применение дл  откачки электронных трубок, масс-спектромет ров, электронньж микроскопов и других приборов, дл  работы которых необходим безмасл ный высокий и сверхвысокий вакуум. Известно магниторазр дное откачное устройство, содержащее  чеистый анод и плоские катоды из геттерного материала Недостатком этого устройства  вл етс  невысока  быстрота действи  по активным и инертным газам, обусловленна  тем, что при бомбардировке нонами катодов и распылении последних происходит обратное вьщеление ранее внедренных и сорбированных частиц газа. Известно также магниторазр дное откачное устройство, содержащее герметичньй корпус с размещенными в нем пластинчатьми катодами,расположенным ме вду ними  чеистым анодом , кажда   чейка которого выполнена из двух соосных цилиндров,смещенных один относительно другого в осевом направлении, и дополнителыЛп электродом, электрически coeдинeнны с катодами. , Ячейки сочетаютс  с дополнительным электродом 2 . Однако в Устройстве поверхность дополнительного электрода, образующа  места вспомогательной откачки газов, ограничена. Увеличение при этом длины дополнительного электрод нецелесообразно, так как приводит к уменьшению размеров промежутков между катодами и элементами дополнительного электрода и, как следствие , к снижению прозрачности конструкции дл  газов и геттера. Кроме того, в анодно-катодной структуре известного устройства  чейки окружены коллекторами, которые изолируют разр дные пучки  чеек и исключают их вли ние друг на друга, а следовательно , и на быстроту ионной откачки. В известном магниторазр дном устройстве площадь «анода неэффективно используетс  дл  откачки ввиду того, что между, нужными поверхност ми коллекторов при заданных диаметрах анодных  чеек образуютс  неактивные зоны, которые не могут служить в качестве  чеек, и разр д в них не заго раетс . Поскольку дол  этих зон в аноде значительна, быстрота откачки с единицы площади анода устройства невькока. Цель изобретени  - повышение скорости откачки газов. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в магниторазр дном откачном устройстве, содержащем герметичньй корпус с размещенными в нем пластинчатыми катодами, расположенным межд}, ними  чеистым анодом, кажда   чейка которого выполнена в виде двух сооснык цилиндров, смещенных один относительно другого в осевом направлении, и дополнительньм электродом, элект- . рически соединенным с катодами,  чейки анода размещены равноудаленШхЕми друг от друга р дами, в каждом из которых соседние  чейки соприкасаютс , а дополнительный электрод размещен между р дами  чеек. При этом дополнительный электрод выполнен в параллельных пластин . При этом дополнительный.электрод .выполнен в В1зде попой спирали. На фиг. t изображен наиболее пред почтительньй вариант магннторазр дного откачного устройства с дополнительным электродом в виде пластин, разрез} на фиг.2 - продольное сечение катодно-анодного блока. Магниторазр дное откачное устрой ство содержит герметичный корпус 1 с размещенными в нем пластинчатыми катодами 2, расположенный между ним  чеистый анод 3 в виде параллельных р дов  чеек. Р ды  чеек равноудалены друг от друга. Кажда   чейка выполнена из двух одинаковых по диаметру цилиндров 4, расположенных на некотором рассто нии друг от дру га в осевом направлении. Ц илиндры  чеек в р дах соприкасаютс , а край ние креп тс  к рамке 5, обеспечивающей жесткость конструкции. Между р дами  чеек перпендикул р но катодам 2 размещены пластины 6 дополнительного электрода, которые двум  концами креп тс  к катоду 2 и наход тс  с ним в электрическом контакте. Как и катод, пластины 6 выполнены из геттерного материала. Устройство работает следующим образом. Между катодами 2 и анодом 3 прик ладываетс  высокое электрическое напр жение, а в осевом направлении  чеек - магнитное поле. В результате действи  скрещенных электрического и магнитного полей в  чейках возбуждаетс  тлеющий разр д в виде разр дных пучков.Разр дные пучки вырабатывают электроны которые при взаимодействии с частицами нейтрального газа ионизируют их, образу  положительные ионы.Одна часть ионов, генерируемых разр дными пупками, поступает на катоды 2, а друга  прит гиваетс  пластинами 6 дополнительного электрода. Вследствие ионной бомбардировки с катода и дополнительного электрода расПып ет с  геттер, которым покрываютс  поверхности анодных цилиндров 4 и пластин 6, причем к последним части цы геттера попадают с двух сторон ч рез пространство между цилиндрами вдоль каждого р да  чеек и химически св зывают на этих поверхност х нейтральные компоненты активных газов , и прочно замуровьшают ионы газа , внедрившиес  в дополнительный электрод. В то же врем  распыл емый с катодов 2 геттер имеет свободный доступ и осаждаетс  на прилегающие к катодам участки пластин 61. наход  щиес  вне зоны попадани  ионов и не .подвергающиес  практически ионной бомбардировке. С этих участков обра ное вьщеление ранее св занных там частиц газа не происходит. Вс  двухсторонн   поверхность дополнительного электрода таким образом становитс  рабочей и эффективной в откачке активных газов, а также инертных, удал емых только посредством ионизации . Площадь этой поверхности по сравнению с аналогичной дл  известного устройства увеличиваетс  в 1,9 раз. Так как скорость поглощени  газов пропорциональна площади поверхности , она увеличиваетс  во столько же раз. Облада  повышенной газопроницаемостью анодно-катодного блока, предлагаема  конструкци  магниторазр дного устройства обеспечивает свободное распространение поступающего газа через зазоры между част ми  чеек из одной  чейки в другую, :что способствует более равномерному распределению нагрузки на все анодные  чейки. В результате разр дом охватываетс  больший объем разр дного промежутка и повьппаетс  интенсивность разр да, определ юща  собой быстроту откачки устройства. Размещение дополнительного электрода в промежутках между равноудаленными друг от друга р дами соприкасающихс   чеек позвол ет исключить в аноде неактивные зоны и увеличить за счет этого число центрообразований разр дных пучков,обуславливающих в совокупности с процессами ионизации и геттерировани  повышение быстроты откачки по сравнению с прототипом в 1,6 раза. Кроме того вьшолнение дополнительного электрода в виде полой спи- :рап:и с хладагентом в ее полости спообствует также снижению предельного остаточного давлени  вследствие увеличени  сорбционной емкости спирали и уменьшени  десорбции газа с ее поверхности . Таким образом, высока  быстрота откачки устройства достигаетс  одновременным усилением процессов ионного удалени  и химического поглощени  asoB за счет увеличени  действующей площади анодно-катодного элемента в сочетании с повьшгенной прозрачностью электродной к геттеру и га ЗУ, что определ етс  расположением анодных  чеек относительно дополнительного электрода и формой последнего .

Ф14г.2

Claims (3)

1., МАГНИТОРАЗРЯДНОЕ ОТКАЧНОЕ УСТРОЙСТВО, содержащее герметичный корпус с размещенными в нем пластин чатыми катодами, расположенным между ними ячеистым анодом, каждая ячейка которого выполнена в виде двух соосных цилиндров, смещенных один·относительно другого в осевом направлении, и дополнительным электродом, электрически соединенным с катодами, отличающееся тем, что, с целью повышения скорости откачки, ячейки анода размещены равноудаленными друг от друга рядами, в каждом из которых соседние ячейки соприкасаются, а дополнительный электрод размещен между рядами ячеек.

2. Устройство по п. Г, отличающееся тем, что дополнительный электрод выполнен в виде параллельных пластин.

3. Устройство поп.1, отличающееся тем, что дополнительный электрод выполнен в виде полой спирали. .