SU943920A1 - Комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный насос - Google Patents

Description

1

изобретение относитс  к вакуумной технике, в частности к конструкци м вакуумных насосов, сочетающих ионную откачку с помощью разр да Пеннинга и испарение геттера,и может найти широкое .прр1менение в технике физического эксперимента , в установках дл  нанесени  тонких пленок, в электровакуумном производстве и во многих других област х, где необходим высокий и сверхвысокий безмасл ный вакуум.

Известен комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный насос, содержащий герметичный корпус, испаритель - геттера и магниторазр дную ступень откачки Т.

В этом насосе.внутри магниторазр дной ступени вокруг испарител  размещена сорбционна  поверхность в виде двух профилированных цилиндров, охлаждаемых хладагентом. При .таком исполнении насоса ни поверхность карманов , ни внутренн   поверхность корпуса не запыл ютс  геттером иcп;Jрител . Исключаетс  также возможность осаждени  испар ющегос  геттера на катодных пластинах и аноде, где происходит ионна  откачка и химическое поглощение газа.

Кроме того, дл  обеспечени  хорошего доступа откачиваемого газа к  чейкам магниторазр дных блоков ох10 лаждаемый экран вокруг испарител  необходимо размещать на значительном рассто нии от магниторазр дной ступени , что приводит к необходимости 5 уменьшать поверхность экрана. Это, в свою очередь, обуславливает снижение быстроты откачки за счет хймсорбции.

Claims (2)

1. Известен таюхе комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный на20 сос, содержащий корпус, в котором размещены испйрители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разр дные блоки 2. 3 Ввиду того, мто карманы и разр д ные блоки размещены секци ми по периметру многоугольника вблизи корпу са насоса, а испарители геттера расположены в центральной камере, внутри магниторазр дной ступени, на против входного отверсти , больша  часть внутренней поверхности корпус а также поверхности карманов и разр дных блоков, обращенные к корпусу не,запыл ютс  геттером испарителей, что  вл етс  причиной пониженной быстроты откачки. Целью изобретени   вл етс  повышение быстроты откачки насоса„ Указанна  цель достигаетс  тем, что в комбинированном магниторазр дном геттерно-ионном насосе,содер жащем корпус, в котором размещены испарители геттера и карманы с магнитами , между которыми установлены разр дные блоки, карманы расположены р дами вдоль радиусов, так что плоскость сим летрии каждого р да проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскост ми симметрии соседних р дов равны, а испарители гетте ра размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенка ми соседних р дов карманов-. На чертеже схематически изображе Один из вариантов предлагаемого насоса , вид сверху. Насос сЬдержит цилиндрический корпус 1 с днищем, входной патрубок с фланцем 2 дл  подсоединени  к откачиваемому объему. Внутри корпуса 1 под фланцем 2 перпендикул рно днищу и параллельно оси входного патрубка размещены герметичные карманы 3, в которых установлены ма1- ниты 4, а между карманами внутри насоса расположены электродные блок состо щие из  чеистого анОда 5 и катодных пластин 6. В секторах, огр ниченных .карманами с магниторазр дн ми блоками и внутренней поверхность корпуса 1, расположены испарители 7 геттера. Откачивающее действие насоса характеризуетс  ионной откачкой магни торазр дных блоков и сорбцией газов пленками геттера, сублимирующегос  с испарител  и напыл ющегос  на 0 внутренние поверхности элементов насоса. При работе насоса газ, поступа  через входное отверстие и распредел псь по внутреннему объему насоса, попадает к  чейкам магниторазр дных блоков, где подвергаетс  ионизации электронами. Положительные ионы бомбардируют катоды 6 и внедр ютс  в них.В то же врем  с испарителей 7 испар етс  геттер, который запыл ет с двух противоположных сторон поверхности карманов и электродов, а также напыл етс  на открытую поверхность корпуса насоса. Благодар  этому прочнее замуровываютс  внедрившиес  в катоды частицы инертных газов, а также эффективнее откачиваютс  активные газы, так как увеличиваетс  поверхность сорбции Расчет пока;зывает , что быстрота откачки насоса по сравнению с прототипом увеличиваетс  при равном количестве работающих испарителей в 1,5 раза. Описанный насос эффективен и в случае работы на переменную газовую на-рузку . Формула изобретени  Магниторазр дный геттерно-ионный насос, содержащий корпус, в котором размещены испарители геттера и карманы с магнитами, между которыми установлены разр дные блоки, о т л и ч а ю.щ и и с   тем, что, с целью повышени  скорости откачки, карманы расположены р дами вдоль радиусов, при этом плоскость симметрии каждого р да проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскост ми симметрии соседних р дов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ограниченных обращенными друг к другу стенками соседних р дов карманов. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № , кл. И 01 J /41/00, 1972.
2. 2.Ахманов Ш.А. и др. Комбинированные электроразр дные геттерноионные вакуумные насосы. Обзорна  информаци , серх ХМ-6. , ЦИНТИХИМнефтемаш , 1979, с. 33 (прототип).