Изобретение относитс к вакуумной технике и касаетс , в частности конструировани вакуумных насос с совмещенными ионной откачкой пос ством разр да Пеннинга и поглощением газов пленкой испар емого гет тера. Оно может найти широкое применение в установках термо дерного синтеза, в электронной промышленности при производстве электровакуумных приборов, радиокомпонентов и других изделий, в металлургии пр получении металлов высокой чистоты и в других област х, где дл обеспечени технологического процесса необходим беэмасл ный вакуум. Известен комбинированный магниторазр дный геттерно-ионный насос, содержащий магниторазр дную ступень откачки и испаритель геттера СП. Такой насос имеет сравнительно невысокую быстроту откачки, так как обладает существенными недостатками , ограничивающими эффективHocTib его быстродействи . Размещение р дов карманов и магниторазр дных блоков у корпуса в виде многоугольника, а испарителей геттера в центральной-камере, внутри магнито-разр дной ступени, не позвол ет использовать большую часть внутренней поверхности корпуса и обращенных к ней поверхностей карманов с разр дными блоками между ними дл запылени геттером. 1 Кроме того, насос неудобен в Обслуживании. В вертикальном положении эксплуатаци и обслуживание соса затруднены. Прогрев насоса до жен осуществл тьс при предварител но сн тых магнитах. Магнитные блоки снимаютс со стороны днища вниз через открытые концы полых кармано Это вызывает необходимость при использовании насоса в различных .у тановках и системах предусматриват возможность доступа к днищу насоса Известен также комбинированный магниторазр ДНый геттерно-ионный насос, содержащий герметичный корпус с размещенньпии в нем карманами магнитами, раздел ющими корпус на секторы, в которых устанойлены испарители геттера, а между карманами размещены разр дные блоки с пло кими электродами 2. В этом насосе р ды карманов с магниторазр дными блоками расположены р дами вдоль радиусов, так, чтоплоскость симметрии каждого р да проходит через соответствующий радиус и ось симметрии насоса и углы между плоскост ми симметрии соседних р дов равны, а испарители геттера размещены в секторах, ог раниченных обращенными друг к друг стенками соседних р дов карманов. Несмотр на такую компоновку насоса, не вс сорбционна поверхность , корпуса насоса и карманов одновременно используетс дл откачки . Это следует из того, что в многосекторных насосах с трем и более секторами количество работающих одновременно испарителей меньше,чемчисло секторов . В результате этого поверхность сорбции используетс нерационально . Кроме того, карманы, выступающие внутрь корпуса, сокращает внутренний объем насоса, создава тем-самым сопротивление поступающему через входной патрубок газу. Все эти факторы в совокупности привод т к снижению удельной быстроты откачки. Насос также обладает невысокими эксплуатационными показател ми при установке в различных положени х. Цель изобретени - повышение удельной быстроты откачки и улучшение условий эксплуатации насоса. Поставленна цель достигаетс тем, что в комбинированном магниторазр дном геттерно-ионном насосе, содержащем герметичный корпус с размещенным в нем карманами с магнитами , раздел ющими корпус на секторы, в которых установлены испарители геттера, а между карманами размещены разр дные блоки с плоскими электродами, карманы расположены друг над другом сиМУ1етрично относительно диаметральной плоскости насоса, а поверхности электродов разр дных блоков перпендикул рны оси насоса, -при этомкарманы выполнены сквозными и герметично соединены с корпусом по их торцам. На фиг. 1 изо.бражен насос, разрез; на фиг. 2 - то же, вид сверху. Насос содержит цилиндрический . корпус 1 с днищем, входной патрубок .с флaнцeJ 2 дл присоединени к откачиваемому объему.- В корпусе 1 под фланцем размещены друг над другом полые сквозные карманы 3, продд41ьные оси которых совпадают с плоскостью симметрии и осью насоса. Поверхности карманов 3, обоазующие зазор дл разр дных блоков, перпендикул рны оси насоса. С двух противоположных сторон в корпусе имеютс отверсти , соответствующие ПРОФИЛЮ карманов, которые совместно с герметично присоединенными к корпусу карманами служат дл установки магнитов 4. Карманы - снаружи закрыты магнйтопроводами 5. Между карманами расположены разр дные блоки, состо щие ид чеистого анода б и катодных пластин 7. По обе стороны от карманов внутри корпуса размещены испарители 8. Насос предварительно откачиваетс до давлени 13,3 Па, после чего одновременно включаютс магнитораэр дна ступень и два испарител , расположенные с противоположных сторон карманов.
Поток газа, проход дай через входной патрубок, раздваиваетс на поверхности верхнего кармана и поступает с двух сторон в тразр дные промежутки электродных блоков, а также в области расположени испарителей . В разр дных промежутках .газ откачиваетс за счет ионизации и собирани ионов на катодах а в области между карманг1ми и. стенками корпуса поглощение газа происходит путец захвата его атомами испар емого геттера на лету и химического взаимодействи геттера с молекула- ми газа на стенках. Благодар тому.
что вс внутренн поверхность корпу са используетс дл откачки, а также благодар рациональной - компоновке карманов разр дных блоков удельна быстрота откачки, как показывает расчет, увеличиваетс по сравнению с аналогом и прототипом в 2,5 и 1,6 раза соответственно.
Насос удобен в обслуживании и эксплуатаиуни удобен в работе. Сквоз0 ные карманы позвол ют при прогреве насоса легко снимать и устанавливать магнитные блоки с любой стороны карлчанов Это позвол ет использовать насос в любом положении и не требует наличи больших свобод5 ных пространств -дл его сборки (разборки).