SU667805A1 - Устройство дл контрол неровностей поверхности по способу светового сечени - Google Patents
Устройство дл контрол неровностей поверхности по способу светового сечениInfo
- Publication number
- SU667805A1 SU667805A1 SU762322108A SU2322108A SU667805A1 SU 667805 A1 SU667805 A1 SU 667805A1 SU 762322108 A SU762322108 A SU 762322108A SU 2322108 A SU2322108 A SU 2322108A SU 667805 A1 SU667805 A1 SU 667805A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- roughness
- investigating
- mark
- section method
- light section
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области технических измерений в машиностроении, конкретно к контролю формы рабочей поверхности фильер.
Известно устройство дл контрол неровностей поверхности, содержащее осветитель ,, марку с контрастными элементами, систему проецировани 1. Контроль фкльер сопр жен со значительными трудност ми, устройство недостаточно универсально:
Известны устройства дл контрол неровностей поверхности по методу светового сечени , содержащее осветитель, маркуЁПзй де пластинки с контрастными ЭлемёйТаШ, систему проецировани марки в плоскость измерени и систему наб/1юдени изображени в этой плоскости 2. В подобных устройствах ось системы проецировани марки лежит в плоскости измерени , что не позвол ет использовать их дл контрол внутренних поверхностей, например рабочей поверхности фильер.
Цель изобретени контроль внутренних поверхностей вращени в сечени х, перпендикул рных оси издели .
Дл этого элементы марки выполнены в виде радиально расположенных лший.
а система наблюдени снабжена соединительным элементом, например кубиком с полупрозрачной диагональной плоскостью, ввод щим в систему и направл ющим вдоль ее оси пучки изображени марки. Это позвол ет просматривать и измер ть полости изделий.
-На фиг. 1 изображена оптическа схема; на фиг. 2 - изображени линий марки.
Устройство содержит осветитель 1, марку 2, систему 3 проецировани марки в плосКОСТЬ измерени , сйстему 4 наблюдени изображени в этой плоскости и кубик 5 с полупрозрачной диагональю. Пучки от освещенных элементов марки 2 направл ютс соединительным кубиком 5 вдоль оси системы 4. Изображени линий марки, сфокусированные в плоскости измерени , пересека сь с поверхностью издели , образуют в точке пересечени световые п тна, имеющие сужени . Наблюда через систему 4 положение этих сужений, суд т о форме провер емой поверхности . Несмотр на дискретность такой проверки , устройство обеспечивает точность производительность контрол .
Claims (2)
1.Авторское свидетельство СССР № 201667, кл. G 01 В 9/04, 06.07.65.
2.Карташев А. И. Шероховатость поверхности и методы ее изменени . М., Машгиз , 1964, с. 62-63.
. У
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762322108A SU667805A1 (ru) | 1976-02-10 | 1976-02-10 | Устройство дл контрол неровностей поверхности по способу светового сечени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU762322108A SU667805A1 (ru) | 1976-02-10 | 1976-02-10 | Устройство дл контрол неровностей поверхности по способу светового сечени |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU667805A1 true SU667805A1 (ru) | 1979-06-15 |
Family
ID=20648150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762322108A SU667805A1 (ru) | 1976-02-10 | 1976-02-10 | Устройство дл контрол неровностей поверхности по способу светового сечени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU667805A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4960332A (en) * | 1987-07-06 | 1990-10-02 | Vertikum Magas-Es Melyepitmenyjavito Kisszovetkezet | Apparatus for geometrical testing of spherical bodies, in particular steel balls |
-
1976
- 1976-02-10 SU SU762322108A patent/SU667805A1/ru active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4960332A (en) * | 1987-07-06 | 1990-10-02 | Vertikum Magas-Es Melyepitmenyjavito Kisszovetkezet | Apparatus for geometrical testing of spherical bodies, in particular steel balls |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10165935B2 (en) | Measuring head of an endoscopic device and process for inspecting and measuring an object | |
| US4147052A (en) | Hardness tester | |
| JPH0533525B2 (ru) | ||
| JPH076948A (ja) | 半導体ウエハー製造中のオーバーレイ位置ずれ測定方法 | |
| US10001405B2 (en) | Measurement device for obtaining amplitude information of an object | |
| CN105890547B (zh) | 三维轮廓测量仪 | |
| SU667805A1 (ru) | Устройство дл контрол неровностей поверхности по способу светового сечени | |
| US20200249585A1 (en) | Moiré target and method for using the same in measuring misregistration of semiconductor devices | |
| US4222669A (en) | Interferometer for determining the shape of an object | |
| US5075560A (en) | Moire distance measurements using a grating printed on or attached to a surface | |
| JP2022523492A (ja) | モアレターゲット及びそれを用い半導体デバイスの位置ずれを計測する方法 | |
| US1816112A (en) | Signaling or indicating device | |
| DE102005007243A1 (de) | Formerfassung von reflektierenden Oberflächen durch codierte Lichtmuster in Echtzeit | |
| SU1366876A1 (ru) | Способ бесконтактного контрол взаимного положени смежных поверхностей двух объектов и устройство дл его осуществлени | |
| Sharma et al. | Multiaperture speckle shearing arrangements for stress analysis | |
| DE19620419A1 (de) | Verfahren zur berührungslosen und markierungsfreien Messung von Verschiebungen | |
| Patorski et al. | Optical alignment using Fourier imaging phenomenon and Moire technique | |
| JPS62150110A (ja) | レ−ザスペツクル歪計測装置 | |
| SU624272A2 (ru) | Устройство дл контрол параметров скольжени плавающей магнитной головки | |
| RU2042920C1 (ru) | Устройство для определения рельефа поверхности объекта | |
| RU2060456C1 (ru) | Триангуляционный способ измерения отклонения объекта | |
| JP2569718Y2 (ja) | レンズメータの被検レンズ光学中心位置表示装置 | |
| SU1541478A1 (ru) | Визирна марка | |
| SU711442A2 (ru) | Устройство дл измерени градиентов показател преломлени | |
| Luxmoore et al. | Applications of the moiré effect |